1.一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：包括基片架（1）、基片架驱动装置（2）和扫描小车（3），所述基片架（1）包括底板（11）和用于承载基片盘的装片层（12），所述装片层（12）安装于底板（11）上，且与底板（11）之间具有一定间距，所述基片架（1）具有从上至下依次设置的装片工位、待卸片工位和卸片完成工位，所述基片架驱动装置（2）可驱动基片架（1）在装片工位、待卸片工位和卸片完成工位之间切换，所述扫描小车（3）可与装片层（12）对接，并承接和转运装片层（12）上的基片盘。
2.根据权利要求1所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述基片架（1）、基片架驱动装置（2）和扫描小车（3）均位于所述生产型磁控溅射系统的工艺腔室（4）内，所述工艺腔室（4）的上方设有与工艺腔室（4）连通的预真空室（5），所述基片架驱动装置（2）驱动基片架（1）从工艺腔室（4）上升至预真空室（5）时，所述底板（11）可隔断预真空室（5）与工艺腔室（4）。
3.根据权利要求2所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述基片装载扫描机构还包括用于驱动扫描小车（3）移动的传动机构（6），所述传动机构（6）包括驱动电机（61）、主传动带（62）、主动轴（63）、从动轴（64）、次传动带（65），所述驱动电机（61）的输出端设有主动轮（66），所述主动轴（63）上设有主从动轮（67）、次从动轮（68），所述主传动带（62）绕设于主动轮（66）和主从动轮（67）上，所述从动轴（64）上设有从动轮（69），所述次传动带（65）绕设于次从动轮（68）和从动轮（69）上，所述扫描小车（3）固定在次传动带（65）上。
4.根据权利要求3所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述主动轴（63）一端位于工艺腔室（4）内，另一端位于工艺腔室（4）外，所述主从动轮（67）安装于主动轴（63）位于工艺腔室（4）外的一端，所述次从动轮（68）安装于主动轴（63）位于工艺腔室（4）内的一端，所述从动轴（64）一端位于工艺腔室（4）内，另一端位于工艺腔室（4）外，所述从动轮（69）安装于从动轴（64）位于工艺腔室（4）内的一端。
5.根据权利要求4所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述基片装载扫描机构还包括位置检测装置（7），所述位置检测装置（7）包括指示传动带（71）、多个位置传感器（72）、位置指示板（73）、直线导轨（74），所述主动轴（63）位于工艺腔室（4）外的一端设有指示主动轮（75），所述从动轴（64）位于工艺腔室（4）外的一端设有指示从动轮（76），所述指示传动带（71）绕设于指示主动轮（75）和指示从动轮（76）上，所述位置指示板（73）固定于指示传动带（71）上，所述直线导轨（74）固定于工艺腔室（4）外侧，所述多个位置传感器（72）对应扫描小车（3）在工艺腔室（4）内的移动位置设置，所述位置指示板（73）与直线导轨（74）的滑块连接，并可随指示传动带（71）的移动指向不同位置处的位置传感器（72）。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述基片架（1）还包括可承接扫描小车（3）上基片盘的卸片层（13），所述卸片层（13）位于底板（11）与装片层（12）之间，所述装片工位、待卸片工位之间还包括扫面小车卸片工位。
7.根据权利要求6所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述工艺腔室（4）内设有导向杆（8），所述基片架（1）的底板（11）上设有可沿导向杆（8）滚动的升降导向轮（14），所述导向杆（8）对应装片工位、扫面小车卸片工位、待卸片工位和卸片完成工位分别设有工位检测传感器（80）。
8.根据权利要求7所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述升降导向轮（14）设置两个，所述导向杆（8）夹设于两个升降导向轮（14）之间。
9.根据权利要求1至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述扫描小车（3）包括可与装片层（12）对接并承接装片层（12）上基片盘的U型台板（31）。
10.根据权利要求3至5任意一项所述的用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：所述工艺腔室（4）底部设有小车导轨（9），所述扫描小车（3）两侧设有可在小车导轨（9）上移动的滚轮组件，所述滚轮组件包括两个导向轮（32）和一个平面轮（33），所述两个导向轮（32）位于扫描小车（3）靠近次传动带（65）的一侧，所述平面轮（33）位于扫描小车（3）的另一侧。