一种低咬铜型的剥锡液的制作方法

文档序号:11147230阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低咬铜型的剥锡液,其特征在于:它由含量为以下质量百分数的组分组成:

无机酸化合物 10%~60%;

护铜剂 0.01%~2.0%;

剥锡加速剂 5.0%~20%

介面活性剂 0.01%~1.0%;

水 余量;

所述物质都以纯物质的质量计算。

2.根据权利要求1所述的一种低咬铜型的剥锡液,其特征在于:它由含量为以下质量百分数的组分组成:

无机酸化合物 30%~50%;

护铜剂 0.05%~1.0%;

剥锡加速剂 7.0%~12.5%

介面活性剂 0.05%~0.5%;

水 余量;

所述物质都以纯物质的质量计算。

3.根据权利要求1所述的一种低咬铜型的剥锡液,其特征在于:所述的无机酸化合物是作为酸性环境的来源,用作抗蚀层金属锡的剥除剂,可以是无机酸化合物中其在水溶液中完全电离的强酸,如硝酸,或盐酸,或硫酸、高氯酸、氢溴酸其中的一种或两种以上的混合。

4.根据权利要求1所述的一种低咬铜型的剥锡液,其特征在于:所述的护铜剂,在强酸性环境下保护铜层不受咬蚀或微量咬蚀;合适的护铜剂是唑类及酚类化合物,唑类可以是二唑、三唑、四唑或者唑类的衍生物,酚类可以是一元酚和多元酚及酚类衍生物;合适的唑类及酚类化合物可有效抑制工作液对电镀铜层的侵蚀及渗蚀,合适的唑类是苯并三氮唑(BTA)、咪唑、苯并咪唑、甲基苯并三氮唑(TTA);合适的酚类是苯酚、间苯二酚、间氨基苯酚、硝基酚,以及氨基磺酸,合适的护铜剂可以是以上化合物的一种或两种混合。

5.根据权利要求1所述的一种低咬铜型的剥锡液,其特征在于:所述的剥锡加速剂主要是无机酸的铁盐化合物;可以是硝酸铁、硫酸铁溴化铁、氯化铁中的一种或两种以上混合。

6.根据权利要求1所述的一种低咬铜型的剥锡液,其特征在于:

所述的介面活性剂主要是加速铜锡合金的腐蚀,合适的试剂是氯化钠、碘化钾、氯化钾、碘化钠中的一种或者两种以上混合。

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