技术总结
本发明公开了一种三工位循环离子束抛光装置及加工方法，属于精密光学技术领域。抛光装置包括主真空室、主真空室门、矩形阀、推车、副真空室、副真空室门，主真空室中设有通向副真空室的主室导轨；副真空室为矩形，长度为三个工位，其长度方向与主室导轨垂直，并在该方向上设有副室导轨；副室导轨上设有工位移动平台，工位移动平台上设有与主室导轨衔接的左车导轨和右车导轨；左车导轨上设有左工件移动车及左夹具，右车导轨上设有右工件移动车及右夹具。本发明使得多块工件能够循环加工，主真空室可以连续不断的进行抛光加工，实现工件的连续换料、送料操作，大大提升了离子束抛光加工效率。
技术研发人员：邓翔宇
受保护的技术使用者：成都森蓝光学仪器有限公司
文档号码：201610705265
技术研发日：2016.08.23
技术公布日：2017.02.22