技术总结
一种调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件，包括：行星双转子气压传动装置、关节式辅助施压机构和抛光盘，其特点在于所述的抛光盘的背面刻有同心圆沟槽，所述的关节式辅助施压机构由固定基座、活动关节和测力计组成。在光学元件边缘区域抛光过程中，通过该抛光组件对光学元件边缘区域压强分布进行调节，从而改变边缘区域材料去除量分布、达到抑制边缘效应的效果；另外，借助关节式辅助施压机构可有效减小振动幅度，从而提高抛光过程的可确定性。
技术研发人员：吴丽翔;魏朝阳;邵建达;刘振通
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
文档号码：201610836440
技术研发日：2016.09.21
技术公布日：2017.01.11