技术总结
本发明属于薄膜制备技术领域，具体为一种用于高温薄膜沉积的加热装置。本发明的加热装置包括两个电极组；电流I通过电极从金属衬底基带的两个边缘导入到金属衬底基带上，并在其上流动；金属衬底基带(具有较高电阻率的哈氏合金等)在自身电阻的作用下发热达到YBCO生长所需的温度，而沉积区处于两个电极组之间。本发明装置原理、结构简单；加热迅速，能效高；可用于带状的金属衬底或其上制备有(导电或绝缘的)缓冲层的带状金属衬底的加热；通过消除电极与基带间因接触不良导致的放电，该加热方式可以实现单面或双面YBCO长带材的连续卷绕制备。
技术研发人员：陶伯万;刘青;赵瑞鹏;张宇希;李言荣
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201610881886
技术研发日：2016.10.10
技术公布日：2017.03.22