1.平面阴极，包括阳极、靶材及中心磁铁；其特征在于，还包括磁铁基座和环形磁铁，所述环形磁铁环绕所述中心磁铁设置；所述环形磁铁和所述中心磁铁设置于所述磁铁基座上；
所述靶材与所述磁铁基座接触；
还包括垫片；所述垫片设置于所述靶材与所述磁铁基座之间。
2.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于，所述垫片为环形。
3.根据权利要求1或2所述的平面阴极，其特征在于，所述磁铁基座设置有容纳槽，所述垫片设置于所述容纳槽内。
4.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于，所述垫片为导磁垫片。
5.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于，所述垫片为导热垫片。
6.根据权利要求1所述的平面阴极，其特征在于，所述靶材与所述磁铁基座可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的平面阴极，其特征在于，还包括压环，所述压环压靠在所述靶材边缘，螺钉穿过所述压环与所述磁铁基座螺纹连接。