技术总结
本实用新型涉及布气装置。所述布气装置包括基板，第一密封板；第一布气板，第二密封板，第二布气板，所述基板设置有第一气体通道和第二气体通道，所述第一进气口与所述第一气体通道连通，所述第一气体通道设置所述前表面；所述第二气体通道与第二进气口连通，所述第二气体通道设置在所述后表面；自第一进气口进入的气体经第一气体通道、第三气体通道或者两者的组合均分为多路后，自第一出气口流出；自第二进气口进入的气体经第二气体通道、第四气体通道或者两者的组合均分为多路后，自第二出气口流出。与现有技术相比，本实用新型旋转阴极通过采用错位分布式二元布气设计，能够实现工艺气体沿靶材长度方向分布的均匀性，同时结构紧凑。
技术研发人员：郭江涛
受保护的技术使用者：斡兹真空科技（上海）有限公司
文档号码：201621144631
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.05.10