1.一种超高真空催化装置，其特征在于，包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置、以及用于检测催化产物的四极质谱仪；超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连通，催化装置的出口端与四极质谱仪进口端连通。
2.根据权利要求1所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述催化装置包括催化装置本体、加热装置、样品底座以及外部加热电源，所述外部电源位于所述催化装置本体外部，所述样品底座设于所述催化装置本体内，所述加热装置的一端与所述样品底座连接，所述加热装置的另一端与所述外部加热电源连接。
3.根据权利要求2所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述催化装置还包括外部电源仪表以及用于测量团簇电学特性的电输运测量装置，所述外部电源仪表设于所述催化装置本体外部，所述电输运测量装置的一端与所述样品底座连接，所述电输运测量装置的另一端与所述外部电源仪表连接。
4.根据权利要求1所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述超高真空传样装置包括传递杆、沉积室，所述传递杆与所述沉积室连通。
5.根据权利要求4所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述传递杆包括第一伸缩杆、第二伸缩杆、衬底夹、所述第一伸缩杆的一端封闭，另一端套设于所述第二伸缩杆的一端，所述第二伸缩杆的另一端与所述衬底夹连接。
6.根据权利要求5所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述传递杆还包括衬底片，所述衬底片与所述衬底夹活动连接。
7.根据权利要求4所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述沉积室还包括用于观测团簇沉积的观察窗、沉积腔，所述观察窗设于所述沉积腔的外部。
8.根据权利要求1所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述超高真空催化装置还包括插板阀，所述插板阀位于所述催化装置和所述超高真空传样装置之间。
9.根据权利要求1所述的超高真空催化装置，其特征在于，所述超高真空催化装置还包括流量计，所述流量计设置于所述催化装置的气体入口处。
10.一种团簇沉积设备，其特征在于，包括团簇产生装置、质量检测装置以及如权利要求1-9任意一项所述的超高真空催化装置。