技术总结
本实用新型涉及材料制备设备领域，具体而言，涉及一种超高真空催化装置以及团簇沉积设备。一种超高真空催化装置包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置以及用于检测催化产物的四极质谱仪。超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连通，催化装置的出口端与四极质谱仪进口端连通。该装置能够在真空环境下对团簇的气相催化性能进行实时检测，能够获得洁净团簇粒子的真实催化性能并对其催化机理进行研究。
技术研发人员：张勤芳;王保林;樊乐乐;朱雷;王珏;孟强强;侯贵华;罗改霞
受保护的技术使用者：盐城工学院
文档号码：201621376464
技术研发日：2016.12.14
技术公布日：2017.08.04