一种高效多晶硅表面处理装置的制作方法

文档序号:11650289阅读:187来源:国知局

本实用新型涉及一种多晶硅加工装置,特别涉及一种高效多晶硅表面处理装置。



背景技术:

在多晶硅铸锭加工工艺过程中,多晶硅铸锭表面会粘有氮化硅等杂质,由于铸锭生产中的分凝与扩散作用,部分杂质甚至会渗透到多晶硅铸锭表面的表层,在对多晶硅铸锭开方后,会形成大量的多晶硅锭边料,多晶硅锭边料一般均要回收,为了提高回收率,一般都要对多晶硅锭边料的表面进行清理,将其表面及表层所含的杂质去除。

目前,现有技术往往是利用喷砂或者人工打磨的方法预处理,加工效率低下,加工质量无法保证,且粉尘严重,污染环境。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种高效多晶硅表面处理装置。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

本实用新型一种高效多晶硅表面处理装置,包括主体和支撑架,所述主体的内部设置有伺服电机a、伺服电机b和伺服电机c,所述伺服电机a通过同步带连接输送带,所述伺服电机b通过同步带连接砂轮带a,所述伺服电机c通过同步带连接砂轮带b,所述砂轮带a的顶部设置有砂轮带c,所述砂轮带b的顶部设置有砂轮带d,所述砂轮带a和砂轮带c之间设置有若干除尘管道,所述砂轮带b和砂轮带d之间设置有若干除尘管道,所述主体的一侧设置有支撑架,所述支撑架通过微调气缸a连接支架b,所述支撑架通过微调气缸b连接支架c。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述支架b的内部设置有伺服电机d,所述伺服电机d通过同步带连接砂轮带c,所述支架c的内部设置有伺服电机e,所述伺服电机e通过同步带连接砂轮带d。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述伺服电机a的一侧设置有总电源,所述总电源的一侧设置有PLC可编程控制器,所述PLC可编程控制器与伺服电机a、伺服电机b、伺服电机c、伺服电机d、伺服电机e、总电源、微调气缸a、微调气缸b均电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述砂轮带a和输送带之间设置有衔接板,所述砂轮带a和砂轮带b之间设置有衔接板。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述主体的底部设置有防滑底座。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

本实用新型通过砂轮带a和砂轮带c以相反的方向运转,打磨多晶硅,砂轮带的表面打磨加工效率远高于传统的刷毛机和喷丸机,而且本实用新型采用的是上下表面同时加工的方式,极大地提高了工作效率,砂轮带b和砂轮带d对多晶硅进行再次加工,进一步提高多晶硅表面打磨加工的质量,同时在打磨加工处设置有除尘管道,减少环境污染,本实用新型加工效率极高,加工质量可靠,绿色环保。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的整体结构示意图;

图中:1、主体;2、防滑底座;3、总电源;4、伺服电机a;5、伺服电机b;6、伺服电机c;7、PLC可编程控制器;8、同步带;9、输送带a;10、支架a;11、砂轮带a;12、砂轮带b;13、衔接板;14、除尘管道;15、支撑架;16、微调气缸a;17、微调气缸b;18、砂轮带c;19、砂轮带d;20、支架b;21、支架c;22、伺服电机d;23、伺服电机e。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1所示,本实用新型提供一种高效多晶硅表面处理装置,包括主体1和支撑架15,主体1的内部设置有伺服电机a4、伺服电机b5和伺服电机c6,伺服电机a4通过同步带8连接输送带9,伺服电机b5通过同步带8连接砂轮带a11,伺服电机c6通过同步带8连接砂轮带b12,砂轮带a11的顶部设置有砂轮带c18,砂轮带b12的顶部设置有砂轮带d19,砂轮带a11和砂轮带c18之间设置有若干除尘管道14,砂轮带b12和砂轮带d19之间设置有若干除尘管道14,主体1的一侧设置有支撑架15,支撑架15通过微调气缸a16连接支架b20,支撑架15通过微调气缸b17连接支架c21。

进一步的,支架b20的内部设置有伺服电机d22,伺服电机d22通过同步带8连接砂轮带c18,支架c21的内部设置有伺服电机e23,伺服电机e23通过同步带8连接砂轮带d19,电力驱动,大大提高了工作效率。

伺服电机a4的一侧设置有总电源3,总电源3的一侧设置有PLC可编程控制器7,PLC可编程控制器7与伺服电机a4、伺服电机b5、伺服电机c6、伺服电机d22、伺服电机e23、总电源3、微调气缸a16、微调气缸b17均电性连接,PLC可编程控制器7可通过编程控制设备的运行,使得设备得以高精度运行和打磨多晶硅,提高设备加工质量和效率。

砂轮带a11和输送带9之间设置有衔接板13,砂轮带a11和砂轮带b12之间设置有衔接板13,衔接板13能够确保大小不一的多晶硅均能从输送带9进入砂轮带a11和砂轮带b12,从而顺利进行表面处理。

主体1的底部设置有防滑底座2,防滑底座2有助于设备的平稳运行,确保设备的加工质量。

具体的,打开总电源3,然后打开除尘管道14,将多晶硅放置在输送带9上,多晶硅经过衔接板13进入砂轮带a11,PLC可编程控制器7控制微调气缸a16伸长,让砂轮带c18贴近多晶硅,并让砂轮带a11和砂轮带c18以相反的方向运转,打磨多晶硅,然后PLC可编程控制器7控制微调气缸a16缩短,砂轮带a11将多晶硅输送至砂轮带b12,让砂轮带b12和砂轮带d19再对多晶硅的表面进行打磨,打磨的粉尘碎屑均被除尘管道14吸收,然后砂轮带b12将多晶硅输送出主体1。

本实用新型通过砂轮带a11和砂轮带c18以相反的方向运转,打磨多晶硅,砂轮带的表面打磨加工效率远高于传统的刷毛机和喷丸机,而且本实用新型采用的是上下表面同时加工的方式,极大地提高了工作效率,砂轮带b12和砂轮带d19对多晶硅进行再次加工,进一步提高多晶硅表面打磨加工的质量,同时在打磨加工处设置有若干除尘管道14,减少环境污染,本实用新型加工效率极高,加工质量可靠,绿色环保。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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