银溅射靶材组件的生产工艺的制作方法

文档序号:12714480阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种银溅射靶材组件的生产方法,其特征在于:包括以下步骤:

(一)浇铸:

(1)打开中频炉电源,将功率调至10~15kw,预热10~15分钟,将称好重量的银板原料放入中频炉中,调至银板融化所需功率,加热直到银板完全融化;

(2)在出炉前,将浇铸模具预加热处理;

(3)将浇铸模具固定好,将融化的银水缓慢浇入模具内,浇铸成银锭,稍冷至银锭表面全部凝结,打开模具,取出银锭;

(二)挤压:

(4)打开挤压机电源,设定好锭块厚度尺寸;

(5)取浇铸好的银锭趁热放入挤压机中,开动挤压机,将银锭挤成所需的尺寸和形状;(三)抛光:

(6)将挤压后的银锭放上车床,按程序切削银锭表面,直至其表面平整光洁;

(四)组件:

(7)冲压:将抛光好的银锭放上冲压机,在指定位置冲出若干个大小一致的孔洞,为安装背板做准备;

(8)安装背板:将铼板或铜板裁切成圆片,用专用螺丝固定在冲压好的银锭上;

(五)包装。

2.根据权利要求1所述的银溅射靶材组件的生产方法,其特征在于:采用纯度99.99%以上的银板材原料,或通过湿法冶金将银废料提纯至99.99%的纯银;采用高纯铼板材或铜板材作为背板。

3.根据权利要求1所述的银溅射靶材组件的生产方法,其特征在于:所述步骤(1)中,中频炉电源功率调至36~40kw,加热20分钟使银板完全融化。

4.根据权利要求1所述的银溅射靶材组件的生产方法,其特征在于:所述步骤(3)中,浇铸的银锭的尺寸为直径127mm,厚度80mm;所述步骤(5)中,挤压的锭块厚度尺寸为75~78mm;所述步骤(6)中抛光后银锭的尺寸为直径130mm,厚度70~75mm。

5.根据权利要求1所述的银溅射靶材组件的生产方法,其特征在于:所述步骤(8)中,铼板或铜板裁切成直径150mm,厚度2.5mm的圆片。

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