技术特征：
技术总结
本发明公开一种化学气相沉膜装置，其中，该化学气相沉膜装置包括制程腔体、传递腔体、承载腔体、用于对所述传递腔体进行抽真空的第一真空泵以及用于对所述承载腔体进行抽真空的第二真空泵，所述传递腔体与所述第二真空泵还通过连通管路连接。本发明充分利用对承载腔体进行抽真空的第二真空泵，通过在传递腔体与第二真空泵之间增设连通管路进行连接，以使得第一真空泵与第二真空泵能够同时对传递腔体进行抽真空，可以加快对传递腔体进行抽真空的速度，因而，缩短了保养后进行抽真空的时间，以提早实现复机。同时采用第一真空泵与第二真空泵对传递腔体进行抽真空，可以减少抽真空时间。
技术研发人员：温俊斌
受保护的技术使用者：惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司
技术研发日：2017.05.02
技术公布日：2017.09.08