技术总结
本实用新型提供抛光用压力缓冲垫及抛光装置,涉及抛光技术领域。涉及抛光用压力缓冲垫,包括压力缓冲垫,压力缓冲垫一面设置有胶层,压力缓冲垫的另一面间隔设置有多个压力传导区域;压力缓冲垫通过胶层与抛光盘或抛光磨头固定。涉及抛光装置,设置有上述的抛光用压力缓冲垫,该压力缓冲垫可以与抛光盘粘贴,也可以与抛光磨头粘贴;压力缓冲垫设置在抛光盘与抛光磨头之间即可,用于两者之间的压力传导;待抛光晶圆设置在抛光盘下方的模板里。采用本实用新型的技术方案,可以贴在压力盘的背面,通过缓冲垫的厚度变化来分配上面承受的压力,使晶圆能够较为均匀的压在大盘上,从而使抛光顺利进行。
技术研发人员:冯光建;夏秋良
受保护的技术使用者:苏州新美光纳米科技有限公司
技术研发日:2017.12.14
技术公布日:2018.08.31