1.一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,包括:
形成氧化铟薄膜的步骤;
形成氧化锡薄膜的步骤;以及
交替形成氧化铟薄膜的步骤和氧化锡薄膜的步骤,判断是否重复了第三预设次数,是则制程完成;否则,重新执行形成氧化铟薄膜和氧化锡薄膜的步骤;
其中,形成氧化铟薄膜的步骤为重复第一预设次数形成氧化铟层的过程以得到氧化铟薄膜;形成氧化锡薄膜的步骤为重复第二预设次数形成氧化锡层的过程以得到氧化锡薄膜;
其中,形成氧化铟层的过程包括:在原子层沉积装置中持续通入预设时间的铟前驱体,完成通入后停留预设时间,通入惰性气体吹扫,持续通入预设时间的氧前驱体,完成通入后停留预设时间,通入惰性气体吹扫;
形成氧化锡层的过程包括:在原子层沉积装置中持续通入预设时间的锡前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫,持续通入预设时间的氧前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫。
2.如权利要求1所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述铟前驱体包括三甲基铟、环戊二烯铟和氯化铟的至少一种;所述锡前驱体包括四(二甲胺基)锡和四氯化锡的至少一种;所述氧前驱体包括水、臭氧和氧气中的至少一种;所述惰性气体包括氩气和氦气的至少一种。
3.如权利要求2所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述铟前驱体、锡前驱体以及氧前驱体的持续通入预设时间均在0.01s至0.02s之间;所述所述铟前驱体、锡前驱体以及氧前驱体通入的速率在5ml/min至30ml/min之间。
4.如权利要求2所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述铟前驱体、锡前驱体以及氧前驱体的停留预设时间在2s至10s之间。
5.如权利要求3所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述铟前驱体为三甲基铟,所述锡前驱体为四(二甲胺基)锡,所述氧前驱体为氧气;
所述三甲基铟的持续通入预设时间设置为0.02s;所述四(二甲胺基)锡的持续通入预设时间设置为0.01s;所述氧气的持续通入预设时间设置为0.02s。
6.如权利要求4所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述铟前驱体为三甲基铟,所述锡前驱体为四(二甲胺基)锡,所述氧前驱体为氧气;
在所述形成氧化铟层的过程中,所述三甲基铟的停留预设时间设置为5s;所述氧前驱体为氧气,所述氧气的停留预设时间为3s;在所述形成氧化锡层的过程中,所述锡前驱体为所述四(二甲胺基)锡,所述四(二甲胺基)锡的停留时间为5s,所述氧前驱体为氧气,所述氧气的停留预设时间为5s。
7.如权利要求2所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述原子层沉积装置的工作温度在150摄氏度至250摄氏度之间;所述原子层沉积装置的工作压强在0.01托至0.5托之间。
8.如权利要求2所述的一种铟锡氧化物薄膜的制作方法,其特征在于,所述形成氧化铟薄膜的步骤包括重复90次形成氧化铟层的步骤以形成氧化硅薄膜;所述形成氧化锡薄膜的步骤包括在氧化铟薄膜的上方重复10次形成氧化锡层的步骤以形成氧化铝薄膜;所述第三预设次数为5次;
所述形成氧化铟层的过程包括:在原子层沉积装置中通入0.02s的三甲基铟,停留5s的时间,通入10s时间的惰性气体吹扫,通入0.02s的氧气,停留3s的时间,通入10s时间的惰性气体吹扫;
所述形成氧化锡层的过程包括:在原子层沉积装置中通入0.01s的四(二甲胺基)锡,停留5s的时间,通入10s时间的惰性气体吹扫,通入0.02s的氧气,停留5s的时间,通入5s时间的惰性气体吹扫;
其中,所述三甲基铟、四(二甲胺基)锡以及氧气通入的速率设置为20ml/min。
9.一种显示面板,其特征在于,包括使用如上述权利要求1至8任意一项所述的铟锡氧化物薄膜的制作方法制作得到的铟锡氧化物薄膜,所述显示面板还包括:
阵列基板;
彩膜基板,与所述阵列基板对应设置;以及
液晶层,设置在所述阵列基板与彩膜基板之间;
其中,所述铟锡氧化物薄膜设置在所述阵列基板和/或所述彩膜基板上。
10.一种显示装置,包括如权利要求9所述的显示面板以及驱动所述显示面板的驱动电路。