由于通过增加载运气体提高压力，因此通过在气体喷涂器内更有效地喷涂气体形成均匀的薄膜。
【附图说明】
[0031]图1是显示根据本发明的一个示例性实施例的气体喷涂器的立体图；
[0032]图2是沿图1的1-1剖面线截得的横截面图；
[0033]图3是沿图1的I1-1I剖面线截得的横截面图；
[0034]图4是图1的气体喷涂器的仰视图；
[0035]图5是示意性地显示根据本发明的一个示例性实施例的具有气体喷涂器的薄膜沉积设备的剖视图；
[0036]图6是显示根据本发明的一个示例性实施例的具有八个气体注入输入件的气体喷涂器的模拟结果的视图；
[0037]图7是显示根据本发明的一个示例性实施例的具有十六个气体注入输入件的气体喷涂器的模拟结果的视图；
[0038]图8是显示根据图6的本发明示例性实施例的具有八个气体注入输入件的气体喷涂器形成的薄膜的模拟厚度结果的视图；以及
[0039]图9是显示根据图7的本发明示例性实施例的具有十六个气体注入输入件的气体喷涂器形成的薄膜的模拟厚度结果的视图。
【具体实施方式】
[0040]本发明在下文中参照附图更充分地说明，附图中显示了本发明的示例实施例。然而，本发明可以具体表现为许多不同的形式且不应该被认为局限于在此陈述的示例实施例。相反地，这些示例实施例被提供使本公开内容全面且完整，并且将充分地将本发明的保护范围传达给本领域的技术人员。在附图中，层和区域的尺寸以及相对尺寸为了清楚可以被放大。
[0041]将会理解的是虽然术语第一、第二、第三等在此可以用于描述各种元件、部件、区域、层和/或区段，但是这些元件、部件和/或区段不应该受到这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件、部件、区域、层或区段与另一个区域、层或区段。因此，以下说明的第一元件、部件或区段可以被称为第二元件、部件或区段而不背离本发明的教导。
[0042]在此使用的术语仅用于说明具体的示例实施例，而不意指限制本发明。除非上下文另外的清楚地指出，否则在此使用的单数形式“一”、“一个”和“所述”意指同样包括复数形式。进一步明白的是术语“包含”和/或“包括”在用于本说明书中时说明指出的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但是不排除存在或增加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组合。
[0043]除非另外限定，否则在此使用的所有术语(包括技术和学术术语)具有本发明所属领域的技术人员通常理解的相同含义。进一步明白的是除非在此明确限定，否则例如通常使用的词典限定的术语应该被理解为具有与其在相关技术的上下文中的含义相同的含义，而不会被理解为理想化或过度形式化的含义。
[0044]为了方便起见，相同的附图标记用于切割已回火的基板的设备和传统设备的相同或相似的元件。
[0045]在下文中将参照附图详细说明本发明的优选实施例。
[0046]图1是显示根据本发明的一个示例性实施例的气体喷涂器的立体图。图2是沿图1的1-1剖面线截得的横截面图，图3是沿图1的I1-1I剖面线截得的横截面图，以及图4是图1的气体喷涂器的仰视图。
[0047]参照图1-4，根据本发明的一个示例性实施例的气体喷涂器100包括上板110和底板 120。
[0048]上板110包括多个第一气体注入输入件111。在此，多个第一气体注入输入件111可以相对于彼此对称地对准。当多个第一气体注入输入件对称地对准时，喷射在基板顶部上的气体被均匀地喷涂，另外，稍后将说明的管连接结构130和140可以更有效地连接到多个第一气体注入输入件。例如，上板110可以由诸如SUS的材料形成。
[0049]底板120连接到上板以在所述底板与所述上板之间形成扩散空间⑶S，并且所述底板包括多个第一气体喷涂孔123，所述多个第一气体喷涂孔用于将现有的气体喷涂在扩散空间⑶S中，所述气体通过多个第一气体注入输入件111注入。例如，多个第一气体喷涂孔123可以布置成矩阵形式。另外，底板120可以与上板类似地由诸如SUS的材料形成。
[0050]底板120可以通过第二螺钉180连接到上板110。第二螺钉180连接到上板110和底板120的外侧。
[0051]底板120包括两个板，第一板121和第二板122，所述两个板通过第一螺钉170互相连接。第一板121包括具有相对较大直径的第一孔121a，第二板122包括具有相对较小直径的第二孔122a，并且第一孔121a和第二孔122a互相连接以形成第一气体喷涂孔123。
[0052]这样，当气体经由直径逐渐减小的第一气体喷涂孔123被从扩散空间⑶S喷涂到底板120的反应空间的底部时，气体喷涂流量增加。
[0053]这样，当底板120形成有两个板(第一板121和第二板122)时，容易完成具有逐渐增加的直径的第一气体喷涂孔的处理，并且当底板的尺寸由于要处理的基板的尺寸增加而增加时，底板的中心部分的偏斜减小。然而，与本发明的所述示例性实施例不同，上板120也可以以单板形成。另外，第一孔121a和第二孔122a的直径在长度上可以相同。
[0054]另外，气体喷涂器100可以还包括用于将外部气体注射到多个第一气体注入输入件的第一管连接结构130。在此，从注入外部气体的第一输入件130到第一管连接结构130的多个第一气体注入输入件111的距离具有相同的结构。
[0055]换句话说，第一管连接结构包括被注入外部气体的输入件131，从第一输入件到多个第一输出件121的距离在长度上是相同的。因此，注入第一输入件131的气体同时到达多个第一输出件132，气体在多个点处注入扩散空间GDS，因此沉积相对薄的膜。
[0056]另外，气体喷涂器还包括连接在上板110的上表面上的第一连接构件150，以连接上板110和第一管连接结构130，第一连接构件150可以将多个第一气体注入输入件111连接到单个第一管连接结构130的输出件132。
[0057]为此，第一连接构件150可以例如具有杆形，并且包括形成到杆形的水平方向的第一水平孔151和连接到第一水平孔151的垂直孔152。第一水平孔151连接到第一管连接结构130的第一输出件132，多个垂直孔152连接第一水平孔151和多个第一气体注入输入件111。
[0058]例如，第一连接构件150可以使用SUS形成并通过螺钉连接到上板110的上表面。
[0059]同时，在要处理的基板上形成薄膜的过程中，在一些情况下，各种源气体被喷涂到要处理的基板的上表面。然而，在遇到各种源气体时出现反应，并且在一些情况下由于在这样的两种气体注入到气体扩散空间GDS时彼此发生反应，因此单独喷涂到气体喷涂器的底部与要处理的基板之间的反应空间。
[0060]为此，底板120可以还包括扩散孔124和第二气体喷涂孔125。
[0061]扩散孔124穿越底板120的两侧，该两侧彼此相对。第二气体喷涂孔125将气体喷涂到扩散孔124至下部中。
[0062]更详细地，例如，扩散孔124可以穿越底板120的第二板122的两侧形成，该两侧彼此相对。多个扩散孔124中的每一个延伸到布置成矩阵形式的第一气体喷涂孔123的行或列的方向，第二气体喷涂孔125延伸到扩散孔124中的每一个的底部，并且注入扩散孔124的气体被喷涂到反应空间。扩散孔124连接到底板120的横向表面的横向扩散空间126。如图所示，多个扩散孔124可以连接到横向扩散空间126。横向扩