晶片抛光设备的制造方法_3

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表面301可以彼此平行,并且第一楔形构件212-1的第二侧表面412b与第三参考表面301之间的角度可以是0°或180。.
[0108]例如,由第一楔形构件212-1的第一侧表面412a和第三参考表面301形成的角度Θ 2可以与凹槽501的第一侧表面512和第一参考表面401形成的角度θ 1相同(Θ2 =θ 1)。另外,由第一楔形构件212-1的第二侧表面412b和第三参考表面301形成的角度可以与凹槽501的第二侧表面514和第一参考表面401形成的角度相同。
[0109]图5示出了图1所示的另一个示例性第一楔形构件212-2。第一楔形构件212-2沿线A-B截取的横截面可以与图2所示第一楔形构件212的横截面相同。
[0110]参考图5,第一楔形构件212-2可以包括环形连接件310和连接到环形连接件310下部的多个支腿310-1至310-4。
[0111]连接件310连接到第一移动部214,并且可以用以将支腿310-1至310-4连接到第一移动部214。虽然图5示出了如具有环形的连接件310,但是连接件310不限于此,并且可以具有盘形或者多边板形。
[0112]每个支腿310-1至310-4可以包括连接到第一移动部214的上端、插入凹槽501的下端以及位于上端和下端之间的侧部。每个支腿310-1至310-4的侧部的厚度或宽度可以沿第一方向增大。
[0113]每个支腿310-1至310-4具有楔形。
[0114]每个支腿310-1至310-4可以包括上面参考图4所述的第一侧表面412a和第二侧表面412b,并且因此将省略对其的详细描述。
[0115]彼此分开并对应于支腿310-1至310-4的多个凹槽(未示出)可以设置在支承部203的另一端上。每个凹槽都可以与支腿310-1至310-4中的对应一个的形状相符。
[0116]第一移动部214可以连接到第一楔形构件212,并且沿第一方向或者与第一方向相反的方向在凹槽501内移动第一楔形构件212。
[0117]例如,第一移动部214可以调整楔形构件212插入凹槽501的插入深度。在此,楔形构件212的插入深度可以是在插入凹槽501中的第一楔形构件212的下端413与凹槽501的底部513之间的距离。
[0118]例如,第一移动部214可以包括气缸和液压缸(未不出)中的至少一个,或者包括马达。
[0119]第一移动部214可以通过由气缸和/或液压缸和/或马达所施加的压力而沿第一方向或与第一方向相反的方向在凹槽501中移动第一楔形构件212。
[0120]图6至图8是示出了上表面板140根据第一楔形构件212的插入深度的形状的视图。
[0121]参照图6,第一移动部214可以将第一楔形构件212插入凹槽501并且然后降低第一楔形构件212直到第一楔形构件212的插入凹槽501的下端413与凹槽501的底部513之间的插入距离达到第一深度D1。
[0122]例如,第一移动部214可以降低第一楔形构件212使得第一楔形构件212的下端413接触凹槽501的底部513。在此,第一深度D1可以是零,但是不限于此。
[0123]当第一楔形构件212完全插入凹槽501时,图3所示的上表面板140沿第一方向的凹形可以根据第一楔形构件212插入凹槽501内的插入深度而改变为沿第一方向的凸形。
[0124]此原因是由第一移动部212根据第一楔形构件212插入凹槽501而供应的压力可以经由第一楔形构件212提供到上表面板140,并且由第一楔形构件212和凹槽501的倾斜结构供应到上表面板140的压力可以作为力F来提升上表面板140的另一端144b。例如,随着该插入深度增加,提升上表面板140的另一端144b的力F会增大。
[0125]另外,当上表面板140的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,上表面板140的下表面144的另一端144b可以位于第一参考表面402的上方。
[0126]例如,当第一楔形部212的插入深度是零且上表面板140的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,从第二参考表面402到上表面板140的下表面144的另一端144b的间隔距离dl可以是1 μ m?500 μ m。
[0127]参照图7,第一移动部214可以提升位于凹槽501内的第一楔形构件212,以将第一楔形构件212的下端413与凹槽501的底部513隔开。
[0128]随着第一楔形构件212在凹槽501内提升,经由第一楔形构件212供应的用以提升上表面板140的另一端144b的力F会减小。另外,随着用以提升上表面板140的另一端144b的力F减小,上表面板140的另一端144b可以通过上表面板140的恢复力而降低到其初始形状。
[0129]随着第一楔形构件212在凹槽501内提升,上表面板140的另一端144b可以降低,使得上表面板140的下表面144平行于第二参考表面402。
[0130]当上表面板140的下表面144平行于第二参考表面402时,上表面板140的插入深度称为“第二深度D2” (D2>D1)。
[0131]参照图8,第一移动部214可以提升凹槽501内的第一楔形构件212,使得第一楔形构件212的插入深度超过第二深度D2。
[0132]随着第一楔形构件212的插入深度超过第二深度D2,上表面板140的恢复力大于提升上表面板140的另一端144b的力,并且因此上表面板140的中部可以改变成具有沿第一方向的凹形。
[0133]另外,当上表面板140的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,上表面板140的下表面144的另一端144b可以位于第二参考表面402下方。
[0134]例如,当第一楔形构件212的插入深度是第三深度(D3>D2)且上表面板140的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,从第二参考表面402到上表面板140的下表面144的另一端144b的间隔距离d2可以是1 μπι?500 μπι。
[0135]图9是示出了根据另一实施例的形状调整单元210a和上表面板140-1的剖视图。
[0136]对比图2,上表面板140-1可以成形为一形状,该形状的中部沿第一方向是凹形的。
[0137]参照图9,第一形状调整单元210a可以包括板202a、支承部203a、第一楔形构件212a和第一移动部214。图9所示的元件与图2所示的元件基本相同,这些元件由同样的附图标记表示,因此,省略了对这些元件的详细描述。
[0138]支承部203a可以连接到板202a的上表面,支承该板202a并且包括第一楔形构件212a插入其中的凹槽601。
[0139]对比图2所示的支承部203,支承部203a的凹槽601的形状不同于图2所示的支承部203的凹槽501的形状。
[0140]例如,支承部203的凹槽601可以包括第一侧表面512a、第二侧表面514b和位于第一侧表面512a之间的底部513a。
[0141]例如,支承部203a的凹槽601的第一侧表面512a和第一参考表面401可以彼此平行,并且由支承部203a的凹槽601的第二侧表面514a和第一参考表面401形成的角度Θ3可以大于0°并小于90°。支承部203a的凹槽601的第一侧表面512a可以垂直于上表面板140的下表面144。
[0142]图10是示出了图9所示的一个示例性上表面板140-1和第一形状调整单元210-a的视图。
[0143]参照图10,上表面板140-1的中部沿第一方向可以是凸形的。上表面板140-1的下表面144可以从第二参考表面402向上倾斜指定的角度。
[0144]例如,当上表面板140-1的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,上表面板140-1的下表面144的另一端144b与第二参考表面402可以彼此隔开。
[0145]板202a的下表面和上表面板140_1的下表面144可以彼此平行。板202a的下表面可以从第二参考表面402倾斜指定的角度Θ4。
[0146]第一楔形构件212a可以插入凹槽601中并且具有与凹槽601相符的形状。
[0147]第一楔形构件212a的上端421连接到第一移动部214,第一楔形构件212a的下端423插入凹槽601中并且所插入的第一楔形构件212a固定在凹槽601中。
[0148]例如,第一楔形构件212a可以包括连接到第一移动部214的上端421、插入凹槽601中的下端423以及位于上端421和下端423之间的侧部422。第一楔形构件212a的侧部422的厚度可以沿着从上端421到下端423的方向减小。
[0149]第一楔形构件212a可以具有圆筒形结构或者具有包括环形连接件和连接到该连接件的多个支腿的结构。
[0150]例如,第一楔形构件212a的侧部422可以包括内周面和外周面,该内周面即是第一侧表面422a,该外周面即是第二侧表面422b。
[0151]第一楔形构件212a的第一侧表面422a的形状可以对应于凹槽601的第一侧面512a的形状,或者与凹槽601的第一侧表面512a的形状相符合,并且第一楔形构件212a的第二侧表面422b的形状可以对应于凹槽601的第二侧表面514a的形状,或者与凹槽601的第二侧表面514a的形状相符合。
[0152]例如,第一楔形构件212a的第一侧表面422a和第三参考表面302可以彼此平行,并且第一楔形构件212a的第一侧表面422a与第三参考表面302之间的角度可以是0°或180。。
[0153]由第一楔形构件212a的第二侧表面422b和第三参考表面301形成的角度Θ 3可以大于0°且小于90°。
[0154]图11至图13是示出了上表面板140-1根据第一楔形构件212a的插入深度的形状的视图。
[0155]参照图11,第一移动部214可以将第一楔形构件212a插入凹槽601并且然后降低第一楔形构件212a直到第一楔形构件212a的插入凹槽601的下端423与凹槽601的底部513a之间的插入距离达到第一深度D1。
[0156]例如,第一移动部214可以降低第一楔形构件212a使得第一楔形构件212a的下端423接触凹槽601的底部513a。在此,第一深度D1可以是零,但是不限于此。
[0157]当第一楔形构件212a完全插入凹槽601时,沿第一方向所示的沿第一方向的上表面板140-1的凸形可以根据第一楔形构件212a在凹槽601内的插入深度而改变为沿第一方向的凹形。
[0158]当上表面板140-1的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,上表面板140-1的下表面144的另一端144b可以位于第一参考表面402的上方。
[0159]例如,当第一楔形构件212a的插入深度是零且上表面板140_1的下表面144的一端144a与第二参考表面402对齐时,从第二参考表面402
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