2的宽度。
[0037]之所以如此设置，是由于第一子覆盖掩膜板11和第二子覆盖掩膜板12分别设置在第一沟槽焊接部31和第一沟槽非焊接部32中，在第一沟槽焊接部31的宽度小于第一沟槽非焊接部32的宽度的基础上，为了使第一沟槽3与覆盖掩膜板I左右两侧保持0.3mm的距离，第一子覆盖掩膜板11的宽度应小于第二子覆盖掩膜板12的宽度。
[0038]其中，掩膜板框架10模组还包括多个焊点4，焊点4设置于第一子蒸镀掩膜板21的边缘;焊点4用于将蒸镀掩膜板2与框架10焊接在一起。
[0039]请参照图4，多个焊点4位于焊接区内，由于焊点4需要将蒸镀掩膜板2与框架10焊接在一起，因此，在越靠近第一子蒸镀掩膜板21的边缘的地方设置焊点4越有利于蒸镀掩膜板2的固定，不会在蒸镀过程中使蒸镀掩膜板2的边缘发生卷曲，本实施例与现有技术相比，焊点4与蒸镀掩膜板2的边缘之间的距离更小，只有最靠近第一子蒸镀掩膜板21的边缘的该焊点4的中心点与第一子蒸镀掩膜板21的边缘之间的距离，通常为0.3_，相较于现有技术中1.1mm的距离，可以使蒸镀掩膜板2与框架10更好的固定在一起，避免翘起卷曲现象。
[0040]其中，掩膜板框架模组还包括在框架10上与第一沟槽3垂直设置的第二沟槽(图中未示出)以及设置在第二沟槽内的支撑掩膜板5，支撑掩膜板5与覆盖掩膜板I垂直设置，支撑掩膜板5用于支撑蒸镀掩膜板2，以防止蒸镀掩膜板2沿其长度方向下垂。
[0041]请参照图3，多个蒸镀掩膜板2是竖直并列设置在框架10上的，即竖直方向即为蒸镀掩膜板2的长度方向，由于蒸镀掩膜板2的长度较长，在使用过程中，会出现蒸镀掩膜板2下垂的现象，为了克服蒸镀掩膜板2的下垂问题，需要在垂直于蒸镀掩膜板2的长度方向(SP水平方向)上设置支撑蒸镀掩膜板2的支撑掩膜板5 ο也就是说，在本实施例中，覆盖掩膜板I是垂直设置的，用于遮挡住相邻两个蒸镀掩膜板2之间的缝隙，支撑掩膜板5是水平设置的，用于向多个蒸镀掩膜板2提供给支撑力，防止蒸镀掩膜板2沿其长度方向下垂。
[0042]其中，第一沟槽3的深度大于覆盖掩膜板I的厚度。
[0043]需要说明的是，若在一个框架10上设置覆盖掩膜板1、支撑掩膜板5和蒸镀掩膜板2，且最终使蒸镀掩膜板2的表面是平坦的，首先，在框架10上制作焊接的覆盖掩膜板I和支撑掩膜板5所需的沟槽，以将这两种类型的掩膜板焊接在沟槽里面，然后，将蒸镀掩膜板2焊接在框架10的表面。其中，第一步，需要先在框架10上制作用于设置覆盖掩膜板I的第一沟槽3，所以第一沟槽3的深度最深，其深度与覆盖掩膜板I和支撑掩膜板5的厚度都有关系，比如，覆盖掩膜板I的厚度为a，支撑掩膜板5的厚度为b，则第一沟槽3的深度为a+b+0.01mm，其中0.0lmm为设置余量;第二步，在框架10上制作用于设置支撑掩膜板5的第二沟槽，第二沟槽的深度与支撑掩膜板5的厚度有关，第二沟槽的深度为b+0.0lmm(设置余量)；第三步，将覆盖掩膜板I焊接第一沟槽3中，将支撑掩膜板5焊接在第二沟槽中；第四步，将蒸镀掩膜板2焊接在框架10表面。以此，由于覆盖掩膜板I完全设置在第一沟槽3中，且支撑掩膜板5完全设置在第二沟槽中，也就是说，在未焊接蒸镀掩膜板2时，从框架10的水平方向看，在框架10的表面是看不到覆盖掩膜板I和支撑掩膜板5的，从而，可以使蒸镀掩膜板2焊接在框架10表面上以后依旧保持平坦状态。
[0044]本实施例的掩膜板框架模组，包括框架10、覆盖掩膜板I和至少两个蒸镀掩膜板2，蒸镀掩膜板2依次设置在框架10上，两个相邻的蒸镀掩膜板2之间具有缝隙，在框架10上与缝隙对应的位置设置有第一沟槽3;第一沟槽3包括第一沟槽焊接部31和第一沟槽非焊接部32;蒸镀掩膜板2包括与第一沟槽焊接部31对应的第一子蒸镀掩膜板21和与第一沟槽非焊接部32对应的第二子蒸镀掩膜板22;第一子蒸镀掩膜板21的边缘与第一沟槽焊接部31的边缘重合，通过减小第一沟槽焊接部31的宽度，使第一子蒸镀掩膜板21的边缘与第一沟槽焊接部31的边缘不再有重叠部分，可以有效减小最边缘的焊点4与第一子蒸镀掩膜板21的边缘的距离，使其仅为0.3mm，从而使蒸镀掩膜板2的边缘全部焊接在框架1上，增加了蒸镀掩膜板2的平坦度，能够避免蒸镀时蒸镀掩膜板2的边缘卷曲翘起，进而提高蒸镀效果。
[0045]实施例2:
[0046]请参照图5，本实施例提供一种蒸镀方法，包括:
[0047]步骤101，将掩膜板框架模组放置于目标基板上方。
[0048]该掩膜板可采用上述实施例1中的掩膜板，此处不再赘述。
[0049]步骤102，通过掩膜板框架模组对目标基板进行蒸镀。
[0050]本实施例的蒸镀方法，采用实施例1的掩膜板框架模组，由于减小了第一沟槽焊接部31的宽度，使第一子蒸镀掩膜板21的边缘与第一沟槽焊接部31的边缘不再有重叠部分，可以有效减小最边缘的焊点4与第一子蒸镀掩膜板21的边缘的距离，使其仅为0.3mm，从而使蒸镀掩膜板2的边缘全部焊接在框架10上，增加了蒸镀掩膜板2的平坦度，能够避免蒸镀时蒸镀掩膜板2的边缘卷曲翘起，进而提高蒸镀效果。
[0051 ] 实施例3:
[0052]本实施例提供了一种阵列基板，采用实施例2的蒸镀方法制成。该阵列基板可与彩膜基板对盒设置于显示面板中。
[0053]本实施例的阵列基板，采用实施例2的蒸镀方法制成，由于避免了蒸镀时蒸镀掩膜板2的边缘卷曲翘起，因此，制备而成的阵列基板的蒸镀图形均匀，无阴影现象。
[0054]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种掩膜板框架模组，其特征在于，包括框架、覆盖掩膜板和至少两个蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板依次设置在所述框架上，两个相邻的蒸镀掩膜板之间具有缝隙，在所述框架上与所述缝隙对应的位置设置有第一沟槽； 所述第一沟槽包括第一沟槽焊接部和第一沟槽非焊接部;所述蒸镀掩膜板包括与所述第一沟槽焊接部对应的第一子蒸镀掩膜板和与所述第一沟槽非焊接部对应的第二子蒸镀掩膜板； 所述第一子蒸镀掩膜板的边缘与所述第一沟槽焊接部的边缘重合。2.根据权利要求1所述的掩膜板框架模组，其特征在于，所述蒸镀掩膜板按列并排设置在所述框架上。3.根据权利要求1所述的掩膜板框架模组，其特征在于，所述第一沟槽焊接部的宽度小于所述第一沟槽非焊接部的宽度。4.根据权利要求3所述的掩膜板框架模组，其特征在于，所述覆盖掩膜板包括位于所述第一沟槽焊接部中的第一子覆盖掩膜板和位于所述第一沟槽非焊接部中的第二子覆盖掩膜板，所述第一子覆盖掩膜板的宽度小于第二子覆盖掩膜板的宽度。5.根据权利要求1所述的掩膜板框架模组，其特征在于，所述第二子蒸镀掩膜板的边缘覆盖所述第一沟槽非焊接部的边缘。6.根据权利要求1所述的掩膜板框架模组，其特征在于，还包括多个焊点，所述焊点设置于所述第一子蒸镀掩膜板的边缘； 所述焊点用于将所述蒸镀掩膜板与所述框架焊接在一起。7.根据权利要求1所述的掩膜板框架模组，其特征在于，所述第一沟槽的深度大于所述覆盖掩膜板的厚度。8.根据权利要求1所述的掩膜板框架模组，其特征在于，还包括在所述框架上与所述第一沟槽垂直设置的第二沟槽以及设置在所述第二沟槽内的支撑掩膜板，所述支撑掩膜板与所述覆盖掩膜板垂直设置，所述支撑掩膜板用于支撑所述蒸镀掩膜板，以防止所述蒸镀掩膜板沿其长度方向下垂。9.一种蒸镀方法，其特征在于，包括: 将权利要求1至8的掩膜板框架模组放置于目标基板上方； 通过所述掩膜板框架模组对所述目标基板进行蒸镀。10.—种阵列基板，其特征在于，采用权利要求9所述的蒸镀方法制成。
【专利摘要】本发明提供一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板，属于显示技术领域，其可解决现有的掩膜板框架模组中的蒸镀掩膜板的边缘不固定导致的在蒸镀时蒸镀掩膜板的边缘容易卷曲翘起，影响蒸镀效果的问题。本发明的掩膜板框架模组，包括框架、覆盖掩膜板和至少两个蒸镀掩膜板，蒸镀掩膜板依次设置在框架上，两个相邻的蒸镀掩膜板之间具有缝隙，在框架上与缝隙对应的位置设置有第一沟槽；第一沟槽包括第一沟槽焊接部和第一沟槽非焊接部；蒸镀掩膜板包括与第一沟槽焊接部对应的第一子蒸镀掩膜板和与第一沟槽非焊接部对应的第二子蒸镀掩膜板；第一子蒸镀掩膜板的边缘与第一沟槽焊接部的边缘重合。
【IPC分类】C23C14/12, C23C14/04, G03F1/64
【公开号】CN105586568
【申请号】CN201610159061
【发明人】嵇凤丽, 梁逸南, 白珊珊
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2016年3月18日