新型真空镀膜装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种新型真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内具有干锅放置架，真空镀膜仓内的底面上具有水平方向延伸的滑槽，滑槽的底部铺设导电金属片；真空镀膜仓底部紧靠滑槽一侧处均布多个齿槽，齿槽沿滑槽的延伸方向间隔排部，干锅放置架的底部具有电刷体，电刷体限位于滑槽中，且与导电金属片接触，导电金属片与外部电源电连接，干锅放置架上具有加热电阻，加热电阻与电刷体之间电连接，干锅放置架的侧面具有轮体，轮体中心具有转轴，转轴与电机连接，轮体的外沿具有与齿槽啮合的齿。本实用新型的有益效果是能同时对两个以上的基片进行镀膜，离子蒸汽流在镀膜腔中的分布更加均匀，镀膜效果好。
【专利说明】
新型真空镀膜装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种新型真空镀膜装置。
【背景技术】
[0002]在现有的技术中真空镀膜腔的底部设置一个点位的靶材，对其加热后产生离子或原子蒸汽流，由于靠近靶材的位置蒸汽流中的离子密度较大，远离靶材的位置蒸汽流中离子的密度较小，因此在整个镀膜腔中造成离子分布不均匀，极大的影响了对应基片的镀膜均匀度，因此针对于大片的基片而言，为了保证镀膜的均匀，一次只能对一个基片进行镀膜。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种新型真空镀膜装置，克服了现有技术中的不足。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:新型真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内具有干锅放置架，所述真空镀膜仓内的底面上具有水平方向延伸的滑槽，所述滑槽的底部铺设导电金属片;所述真空镀膜仓底部紧靠所述滑槽一侧处均布多个齿槽，所述齿槽沿所述滑槽的延伸方向间隔排部，所述干锅放置架的底部具有电刷体，所述电刷体限位于所述滑槽中，且与所述导电金属片接触，所述导电金属片与外部电源电连接，所述干锅放置架上具有加热电阻，所述加热电阻与所述电刷体之间电连接，所述干锅放置架的侧面具有轮体，所述轮体中心具有转轴，所述转轴与电机连接，所述轮体的外沿具有与所述齿槽啮合的齿。
[0005]进一步，所述真空镀膜仓底部具有抽气口，所述抽气口位于远离所述滑槽的位置。
[0006]本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案，能同时对两个以上的基片进行镀膜，离子蒸汽流在镀膜腔中的的分布更加均匀，镀膜效果好。
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型的真空镀膜仓内部示意图；
[0008]图中:1-真空镀膜仓;2-滑槽;3-齿槽;4-干锅放置架;5-轮体;6_转轴。
【具体实施方式】
[0009]如图1所示，本实用新型提供一种新型真空镀膜装置，包括真空镀膜仓I，真空镀膜仓I内具有干锅放置架4，真空镀膜仓I内的底面上具有水平方向延伸的滑槽2，滑槽2的底部铺设导电金属片(图中未示)；真空镀膜仓I底部紧靠滑槽2—侧处均布多个齿槽3，齿槽3沿滑槽2的延伸方向间隔排部，干锅放置架4的底部具有电刷体(图中未示)，电刷体限位于滑槽2中，且与导电金属片接触，导电金属片与外部电源电连接，干锅放置架4上具有加热电阻(图中未示)，加热电阻与电刷体之间电连接，干锅放置架4的侧面具有轮体5，轮体5中心具有转轴6，转轴6与电机连接，轮体5的外沿具有与齿槽3啮合的齿。
[0010]使用时，干锅固定于干锅放置架4上，电机带动轮体5转动，由于轮体5与齿槽3啮合，干锅放置架4在轮体5的带动下沿滑槽2方向往返运动，导电金属片与外部电源通电后使加热电阻对干锅内的靶材加热，由于靶材在干锅放置架4上在真空镀膜仓I内往复移动，因此蒸发出的离子流将更加均匀的分布于仓室中，当仓室中放置一块基片时，其镀膜时间可大大缩短，当仓室中放置多块基片时也可保证对每块基片的均匀镀膜。
[0011]真空镀膜仓I底部具有抽气口，抽气口位于远离滑槽2的位置。
[0012]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.新型真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内具有干锅放置架，其特征在于:所述真空镀膜仓内的底面上具有水平方向延伸的滑槽，所述滑槽的底部铺设导电金属片;所述真空镀膜仓底部紧靠所述滑槽一侧处均布多个齿槽，所述齿槽沿所述滑槽的延伸方向间隔排部，所述干锅放置架的底部具有电刷体，所述电刷体限位于所述滑槽中，且与所述导电金属片接触，所述导电金属片与外部电源电连接，所述干锅放置架上具有加热电阻，所述加热电阻与所述电刷体之间电连接，所述干锅放置架的侧面具有轮体，所述轮体中心具有转轴，所述转轴与电机连接，所述轮体的外沿具有与所述齿槽啮合的齿。2.根据权利要求1所述的新型真空镀膜装置，其特征在于:所述真空镀膜仓底部具有抽气口，所述抽气口位于远离所述滑槽的位置。
【文档编号】C23C14/26GK205473957SQ201620076775
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】孙婧, 李卫东, 同建辉
【申请人】天津众伟科技有限公司