1.一种镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
A.制备原料粉体：将氧化锌粉体与氧化镓粉体混合，混合粉体中氧化锌粉体所占的质量份数为95%～99%，其余为氧化镓粉体，粉体纯度大于99.9%，粉体粒径0.01～300μm；
B.制备预混液：将纯水、有机单体、交联剂以100：(5～15)：(1～2.5)的重量比例充分溶解组成预混液；
C.制备高流动性浆料：将烧结后无残留的分散剂加入预混液，并调节PH值至9～11，通过注入球磨机进行球磨，使原料粉体分批次与预混液混合，随后得到粘度小于100mPa·s的高流动性浆料；
D.制备素坯：将脱泡剂和引发剂加入高流动性浆料，在常压下进行机械搅拌，随后注入管状空腔模具，将注有浆料的模具放置于空气干燥箱中，升温以加速浆料交联固化，固化后脱模得到湿坯，将湿坯置于恒温恒湿条件进行干燥以得到素坯；
E.素坯脱胶：将素坯在流通空气炉中加热进行脱胶，先将炉温升至200℃～400℃，并保温一段时间后，再次升温至400℃～650℃，并保温至脱胶完毕，上述升温速度不高于1℃/min，随后待空气炉冷却至室温；
F.烧结：将脱胶后的素坯放置于流通空气炉中进行烧结，先将炉温升至700℃～900℃，并保温一段时间后，再次升温至1350℃～1500℃，并保温至烧结完毕，上述升温速度不高于1℃/min，随后待空气炉冷却至室温，得到相对密度大于98％的镓掺杂氧化锌靶材。
2.根据权利要求1所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，所述有机单体为聚乙烯醇、聚丙烯酸、甲基丙烯酰胺单体、丙烯酰胺单体、N-乙烯基吡咯烷酮、甲氧基-聚乙二醇甲基丙烯酸、甲基丙烯酸二甲胺基乙酯、二甲基羟乙基丙烯酸甲酯、二甲基丙烯酰胺、四甲基氢氧化铵之一或其组合。
3.根据权利要求2所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，所述交联剂为N-N’亚甲基双丙烯酰胺、聚乙二醇、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、丙烯基丙烯酸甲酯、正辛醇、顺盯二烯二酐钠盐共聚物之一或其组合。
4.根据权利要求3所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，引发剂的加入量为0.02‰～0.55wt‰，脱泡机的加入量为0.12～0.9wt%，所述脱泡剂为聚乙二醇或正辛醇中的一种或两者按1:2的比例的混合溶液，所述引发剂为过硫酸铵、偶氮二咪唑啉丙烷、偶氮二咪基丙烷盐酸盐、双氧水之一。
5.根据权利要求1所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，所述恒温恒湿条件是指在55～70℃及80%湿度条件下干燥30小时使得湿坯干燥成为素坯。
6.根据权利要求1所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，在所述素坯脱胶步骤中，炉温升至200℃～400℃后保温时间不低于2小时，再次升温至400℃～650℃后保温时间不低于5小时。
7.根据权利要求6所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，在所述烧结步骤中，炉温升至700℃～900℃后保温时间不低于2小时，再次升温至1300℃～1550℃后保温时间不低于10小时。
8.根据权利要求1所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，在所述制备素坯步骤中，在高流动性浆料中加入催化剂四甲基乙二胺或四甲基乙二醇。
9.根据权利要求1所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，所述制备高流动性浆料步骤中，球磨介质为氧化锆球，球磨时间24小时以上。
10.根据权利要求1所述的镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，所述模具的材质为不透水的亚克力材料。