一种BN‑SiC复合颗粒及其制备方法与流程

文档序号:11100846阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种BN-SiC复合颗粒,包括SiC颗粒和包覆在所述SiC颗粒外的BN镀层,所述BN镀层的厚度为0.5~20μm。

2.根据权利要求1所述的BN-SiC复合颗粒,其特征在于,所述SiC颗粒的粒径为0.05~700μm。

3.根据权利要求1所述的BN-SiC复合颗粒,其特征在于,所述BN-SiC复合颗粒的粒径为0.6~720μm。

4.权利要求1或2所述复合颗粒的制备方法,其特征在于,采用磁控溅射法在SiC颗粒表面沉积BN镀层,得到BN-SiC复合颗粒。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射法具体包括以下步骤:

(1)将SiC颗粒装入工装,对真空腔进行抽真空;

(2)向所述抽真空后的真空腔内充入惰性气体;

(3)将SiC颗粒加热至300~500℃;

(4)控制超声波振动频率为(0W,350W],样品台摆动频率为1~150次/分钟,在SiC颗粒表面磁控溅射沉积BN镀层,得到BN-SiC复合颗粒。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中真空腔抽真空后的真空度为4×10-4~4×10-3Pa。

7.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中充入惰性气体至真空腔内气压为0.1~15Pa。

8.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中磁控溅射的功率为100~250W。

9.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)中磁控溅射的时间为2~6h。

10.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述磁控溅射沉积BN镀层后还包括:将BN-SiC复合颗粒保温20~60min。

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