一种低成本碳化钽涂层的制备方法与流程

文档序号:12053877阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述方法为:首先对基体进行预处理,然后采用碳化钽、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液,将悬浊液均匀喷涂或刷涂于所述基体表面,最后将喷好或刷好涂层的基体进行预温与烧结处理,即可在基体上得到一层厚度均匀、结构致密的碳化钽涂层。

2.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述预处理为用高纯酒精或丙酮对所述基体表面进行清洗若干次;所述基体的材料为石英、石墨、Al2O3、SiC或MgO。

3.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,采用碳化钽、烧结助剂、粘接剂与溶剂配置悬浊液具体为:称量适量的碳化钽粉、烧结助剂,其中烧结助剂的占涂层用粉末的1~35wt.%;然后取适量的溶剂,采用球磨机在玛瑙球磨罐中球磨,或用玛瑙研钵手动研磨2~24h;取出,加入粘接剂搅拌,其中粘接剂质量百分比为溶剂的1%~10%,并且粘接剂与试剂混合液与碳化钽粉的质量比为0.3~1.0;得到碳化钽涂层的悬浊液,静置待用。

4.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述碳化钽的粒度为1-20μm。

5.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述烧结助剂为碳化物或金属单质和碳粉的混合物;其中,所述碳化物包括WC、ZrC、TiC、NbC、B4C中的一种或两种,所述金属单质包括Ti、Zr、Ta、Nb、W中的一种或两种,金属单质与碳粉的摩尔比为1:1。

6.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述粘接剂为聚乙烯醇、聚乙烯醇缩醛类、聚乙烯吡咯烷酮、环氧树脂、酚醛树脂或石墨胶的任一种。

7.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述溶剂为去离子水、高纯度酒精其中的一种。

8.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述碳化钽涂层的厚度为50um~500um。

9.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述预温的温度为100℃~400℃。

10.根据权利要求1所述的低成本碳化钽涂层的制备方法,其特征在于,所述烧结温度为1600℃~2500℃,压强为8×104Pa~1×105Pa,保护气氛为氩气、氦气、氢气中的一种。

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