用于直拉单晶的加热器的制作方法

文档序号:11040360阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:包括圆筒状的加热器本体(110),所述加热器本体(110)从上向下分布有第一高温部(A)、低温部(C);加热器本体(110)通电后,第一高温部(A)产生的温度高于低温部(C)产生的温度。

2.根据权利要求1所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:所述加热器本体(110)还包括位于低温部(C)下方的第二高温部(B);加热器本体(110)通电后,第一高温部(A)和第二高温部(B)产生的温度分别高于低温部(C)产生的温度。

3.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:加热器本体(110)通电后,所述第一高温部(A)产生的温度高于第二高温部(B)产生的温度。

4.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:所述用于直拉单晶的加热器(100)为电阻加热器,第一高温部(A)和第二高温部(B)的电阻分别高于低温部(C)的电阻。

5.根据权利要求4所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:第一高温部(A)和第二高温部(B)的电阻值相同,加热器本体(110)通电后,电流的流动方向是从第二高温部(B)流向第一高温部(A)。

6.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:在加热器本体(110)安装到坩埚的外围后,第二高温部(B)向下超出坩埚的底端一段距离。

7.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:在加热器本体(110)安装到坩埚的外围后,第一高温部(A)超出坩埚的顶端一段距离。

8.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:所述第一高温部(A)和第二高温部(B)在圆周方向上分别设置有挖空结构(130)。

9.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:第二高温部(B)的底端连接有能够安装到单晶炉中的安装座(120)。

10.根据权利要求2所述的用于直拉单晶的加热器(100),其特征在于:第二高温部(B)向下延伸至加热器本体(110)的底端。

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