一种送料装置的制作方法

本申请涉及生产设备辅助工具领域，尤其涉及一种送料装置。

背景技术：

现有的生产设备往往需要人工送料，即在生产设备启动前，需要人工地提前将原料放入生产设备中。这样的操作，一是大大增加了操作人员的劳动强度，不够自动化，二是人工操作的准确度低，对于要求装料的位置精准度高的生产工艺，其生产质量难以保证。

例如，在碳化硅晶体的生产过程中，碳化硅长晶炉通常将炉体设置在炉体机架上，操作人员向炉体装料时，需要在伸向机架内部的炉体下盖上进行物料的排列和叠装，由于机架内部的空间非常狭小，在炉体下盖上直接装料时，需要多名操作人员同时进行，有限的操作空间使得操作人员的工作效率降低，劳动强度也大大增加。

另外，碳化硅长晶炉对炉内长晶原料的排列顺序要求较高，在装料时，物料需要按照一定顺序从上到下、从内到外精确排好，对物料在炉体内部的同心度要求较高。而机架内部的空间有限，人工操作时，无法使用专用的定位工装来保证物料在炉体内的同心度等定位精度问题，因此，直接在炉体下盖装料，物料位置的精准度难以控制。

公告号为cn207581890u的中国实用新型专利提供了一种用于热浸镀设备的自动上料装置，包括送料机、支撑台、旋转手臂、手臂主轴、保险轴、传动装置和电机，该方案主要解决上料效率低、工件易污染的问题。然而该装置结构复杂，体积较大，并不适于安装在长晶炉的炉体机架上，也不能解决上料位置精准度的问题。

技术实现要素：

为了解决现有技术中，因生产设备缺少自动化送料装置而造成的送料效率低、劳动强度大，以及送料位置不精准的问题，本申请提出了一种送料装置，包括依次连接的支撑单元、旋转单元和送料单元，支撑单元与旋转单元转动连接，所述送料单元与旋转单元可拆卸的连接，支撑单元、旋转单元和送料单元如此配置以使旋转单元带动送料单元以支撑单元为轴进行转动，其中，送料装置还包括限位组件，限位组件与旋转单元和支撑单元如此设置以调节旋转单元转动的角度。

进一步地，限位组件至少包括第一限位组件，所述第一限位组件包括第一挡板和第一限位块，第一限位块和第一挡板配合使用以调整旋转单元旋转的角度，限定将送料单元旋转至目标位置所需的旋转单元与支撑单元之间的夹角。优选地，第一限位组件位于旋转单元和支撑单元的送料方向侧。

在一种实施方式中，第一限位块设在旋转单元，第一挡板设在支撑单元，在另一种实施方式中，第一限位块设在支撑单元，第一挡板设在旋转单元，可以实现限定将送料单元旋转至目标位置所需的旋转单元与支撑单元之间的夹角即可。优选地，第一限位块为包括具有α角的第一弯折边和第二弯折边，第一限位块的α角开口为旋转轴的反方向，第一限位块的第一弯折边固定在旋转单元侧壁。旋转单元旋转至目标位置时，第一限位块的第二弯折边与第一挡板接触则旋转单元停止旋转。

在优选的实施方式中，第一弯折边通过螺钉固定在旋转单元侧壁，α角为用以限定将送料单元送入目标位置所需的旋转单元与支撑单元之间的夹角，范围优选为60-70度，更优选65度。

第一限位组件的设置，使得当送料单元旋转至目标位置时不能再继续向送料方向转动，即送料单元转至设备入料口的位置是固定而精准的。

更进一步地，第一限位组件还包括第一调节件，第一调节件与第一限位块和第一挡板配合使用，以调整旋转单元旋转的角度。在优选地实施方式中，第一调节件垂直穿过第二弯折边，且至少部分位于第二弯折边的非α角开口侧。旋转至目标位置时，第二弯折边的非α角开口侧的第一调节件与第一挡板接触则旋转单元停止旋转。

其中，第一调节件的设置可使得在第一限位块的α角固定的情况下，对旋转单元旋转至目标位置时与支撑单元的夹角进行调整，无需更换第一限位块，以适用于入料口位置不同的生产设备。

进一步地，限位组件还包括第二限位组件，第二限位组件包括第二挡板和第二限位块，第二限位块和第二挡板配合使用以调整旋转单元旋转的角度，限定将送料单元送入目标位置之前所需的旋转单元与支撑单元之间的最大夹角。

在一种实施方式中，第二限位块设在支撑单元，第二挡板设在旋转单元，在另一种实施方式中，第二限位块设在旋转单元，第二挡板设在支撑单元。优选的，第二限位块具有相对的头端和尾端，其中，尾端固定在支撑单元底部，头端沿支撑单元径向延伸至部分露出，第二挡板沿旋转单元轴向延伸至与第二限位块具有相同高度。旋转单元向与目标位置相反方向旋转时，第二限位块的头端与第二挡板接触则旋转单元停止旋转。

更进一步的，第二限位组件还包括第二调节件，第二调节件与第一限位块和第一挡板配合使用，以调整旋转单元旋转的角度。

其中，第二调节件的设置可使得在第二限位块位置固定的情况下，对旋转单元旋转至第二限位块与第二挡板接触时与支撑单元的夹角进行调整，无需再拆卸第二限位块进行位置调整。

第二限位组件的设置，使得在送料单元被送入目标位置之前，能够旋转至最合适的位置进行装料。在具体的生产实践中，操作人员可以将旋转单元向外旋转至第二限位块阻挡限位处，站在限位处内侧进行装料，使送料装置无法继续向外或向内转动，提高了装料效率和精准度。

进一步地，上述第一和/或第二调节件为可伸缩结构。优选地，所述第一和/或第二调节件为螺钉。

进一步地，第二限位块为行程开关，行程开关与第二挡板配合限位时，控制打开入料口。优选地，行程开关与第二挡板接触时，电路接通使长晶炉发出控制打开入料口的指令，以防止送料装置与生产设备发生碰撞造成设备损坏。

例如，行程开关可以用来实现接通或分断控制碳化硅长晶炉的炉体下盖升降的电路，即当旋转单元旋转至第二限位块的位置时，由于接近或触碰到行程开关，此时控制电路接通，长晶炉的炉体下盖打开并下降至低于送料装置高度的位置，此时再将送料单元送至炉体下盖上方的目标位置，然后操作长晶炉控制炉体下盖上升，如此设置可以避免因送料装置与炉体下盖的高度相同造成碰撞。

进一步地，上述送料装置的送料单元与旋转单元通过卡扣连接。

进一步地，旋转单元包括工装托板，沿所述工装托板横向延伸设有支撑条，所述送料单元包括置于所述支撑条上方的装料盘，所述装料盘与支撑条通过卡扣连接。

更进一步地，装料盘与支撑条的接触面设有卡扣，所述支撑条包括定位条，所述定位条内凹形成定位棱，所述定位棱与所述卡扣的位置对应且与卡扣的开口宽度相等，当装料盘置于支撑条上方时，装料盘的卡扣与定位条的定位棱配合固定。

在一种实施方式中，支撑条至少有两个，且为具有一定厚度的弧形条，这种设置有利于增大支撑条的受力面积，当送料单元上装有物料时，可以使受力更均匀分散。

在一种实施方式中，装料盘包括圆形的工装上体和工装下体，其中，工装上体与支撑条接触，接触面设有卡扣，工装下体边缘分布有支撑柱，且通过支撑柱与工装上体可拆卸连接。工装上体与工装下体之间中空，可插入支撑条，直至工装上体与支撑条卡扣连接，更优选地，支撑条中经过工装上体圆心的为定位条。

在一种实施方式中，将工装上体与支撑条卡扣连接后，再将工装下体与工装上体螺纹连接；在另一种实施方式中，可先将工装下体通过支撑柱与工装上体螺纹连接后，再将支撑条插入工装上体与工装下体的内部，直至卡扣结构配合固定。

在一种实施方式中，定位条可以是支撑条中的任意一个，也可以是支撑条中的任意几个共同起定位作用，优选的，定位条为支撑装料盘中心的支撑条，或者支撑装料盘的任意边缘部位的支撑条。在另一种实施方式中，卡扣连接结构的数目和位置均可以调整，使得装料盘与支撑条连接后不会发生晃动即可。如此设置有利于将装料盘固定在支撑条上装料，当盛有物料的装料盘被旋转送入长晶炉的目标位置时，装料盘可以顺利脱离支撑条，连同物料一起进入炉体内部。

在一种实施方式中，装料盘的卡扣和定位棱的数目和位置也是可以调整的。当定位条仅有一个时，定位条部分内凹可以形成一个定位棱，此时可以设置配合固定定位棱两端位置的两个卡扣，也可以设置固定定位棱任意位置的多个卡扣；定位条部分内凹也可以形成多个定位棱，此时可以为每个定位棱设置一个卡扣，也可以设置配合部分定位棱固定的卡扣。由于定位棱的宽度与卡扣的宽度相等，当装料盘与定位条配合固定时，卡扣与定位棱可以不是一一对应的，如设置四个互相平行的定位棱和一个卡扣，此时卡扣可以用于配合固定在任意一个定位棱上，由于定位棱是平行设置的，因此当卡扣与不同的定位棱配合固定时，装料盘在支撑条上的位置并不相同。如此设置可以对装料盘在支撑条上的固定位置进行调整，以使得送料装置适用于辅助为不同规格的长晶炉送料。

其中，送料单元与旋转单元通过卡扣连接，一是为了保证用于装料的送料单元在旋转单元上的位置固定，有利于提高装料时的物料排列精度和物料同心度，二是为了配合限位组件，使得送料单元旋转至目标位置的位置精确。

优选地，本发明提供的送料装置适用于辅助向长晶炉送料，包括但不限于碳化硅单晶炉、碳化硅多晶炉、单晶硅长晶炉、多晶硅长晶炉等。

可选的，旋转单元还包括旋转板，旋转板一端与支撑单元转动连接，另一端置于工装托板上方，并与工装托板可拆卸连接。优选地，旋转板与支撑单元通过压紧手柄和一对推力轴承轴连接，并与工装托板螺纹连接。旋转板的设置，可以对工装托板起到加固作用，增大旋转单元对送料单元的承载力。

可选的，支撑单元可以是可拆卸的固定在生产设备机架上的支撑架，也可以是独立于生产设备的、直接放置于地面起底座作用的支撑座。当适用于碳化硅单晶炉时，更优选可拆卸固定在炉体机架上的支撑架，节省空间且操作方便。

通过本发明能够带来以下有益效果：

1、本发明提供的送料装置，以旋转方式送料，并设置限位组件限制了送料单元的转动的角度，使得装料和/或送料的位置固定且精准；

2、本发明提供的送料装置的限位组件，还可以设有可对旋转单元旋转至目标位置时与支撑单元的夹角进行调整的调节件，以适用于入料口位置不同的生产设备；

3、本发明提供的送料装置的限位组件，还可以具有控制设备入料口开闭的功能，避免送料装置与生产设备发生碰撞损坏；

4、本发明提供的送料装置的送料单元在旋转单元上的位置固定，有利于提高装料时的物料排列精度和进入炉体内部的物料的同心度，还可以配合限位组件使送料单元旋转至设备的位置更加精准；

5、本发明提供的送料装置，使得装料的位置由设备内部转向外部操作，在送料单元完成装料后，由旋转单元旋转直接送料，一次操作即可实现物料的快速填装，提高了设备的使用效率，减小了操作人员的劳动强度。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为一种送料装置的立体结构示意图；

图2为一种送料装置的左视图；

图3为一种送料装置的右视图，其中a部分为送料装置转动连接结构的剖视图；

图4为图3中a部分的放大图；

图5为送料装置处于限位状态第一位置的俯视图；

图6为送料装置处于限位状态第二位置的仰视图；

图7为送料装置的旋转单元和送料单元的装配示意图；

图8为送料装置的使用状态示意图；

图中：1、炉体机架；2、支撑架；3、旋转板；4、压紧手柄；5、第一推力轴承；6、第二推力轴承；7、工装托板；8、工装上体；9、圆螺母；10、工装下体；11、第一限位块；12、第二限位块；21、第一挡板；71、定位条；72、支撑条；73、第二挡板；81、卡扣；101、支撑柱；711、定位棱；811、定位槽。

具体实施方式

为了更清楚的阐释本申请的整体构思，下面结合说明书附图以实施例的方式进行详细说明。在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本申请更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员来说显而易见的是，本申请可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本申请发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

本申请提供了一种送料装置，在优选地实施方式中，本送料装置适用于辅助向长晶炉送料，包括但不限于碳化硅单晶炉、单晶硅长晶炉、多晶硅长晶炉等，特别优选辅助向碳化硅单晶炉送料。在其他的实施方式中，所述送料装置还可以用于向设有入料口的普通生产设备送料。

如图1所示，本申请提供的送料装置包括依次连接的支撑单元、旋转单元和送料单元。

在一种实施方式中，支撑单元包括支撑架2，旋转单元包括旋转板3、工装托板7、定位条71以及支撑条72，送料单元包括装料盘，装料盘包括工装上体8和工装下体10。

在图1-3所示的实施例中，该送料装置用于辅助向碳化硅单晶炉送料，碳化硅单晶炉通常置于炉体机架1上，支撑架2是与炉体机架1可拆卸连接的固定架，使用时可安装在炉体机架1的腿上，安装高度适中，使得装料时操作方便，装完料后旋转时还不会撞到长晶炉。在其他的实施方式中，支撑架2还可以独立于炉体机架1，直接放置在地面上，用于提供旋转单元和送料单元的支撑力以及用作旋转轴，以使得与旋转单元连接的送料单元以支撑架2为轴转动。

旋转单元具有相对的第一端和第二端，旋转单元的第一端固定与支撑单元转动连接，送料单元可拆卸的连接在所述旋转单元的第二端，旋转单元带动送料单元以支撑单元为轴进行转动，同时，设置在所述旋转单元和支撑单元的限位组件，用以调节所述旋转单元和送料单元的转动的角度。

限位组件至少包括第一限位组件，其中，第一限位组件包括固定在支撑单元的第一挡板21和固定在旋转单元的第一限位块11，第一挡板21与旋转轴平行，且至少部分与旋转单元具有相同高度。旋转单元旋转至目标位置时，第一限位块11与第一挡板21接触则旋转单元停止旋转。

优选地，第一限位块11为包括具有α角的第一弯折边和第二弯折边，第一限位块11的α角开口为旋转轴的反方向，第一限位块11的第一弯折边与旋转板3侧壁可拆卸连接固定。旋转单元旋转至目标位置时，第一限位块11的第二弯折边与第一挡板21接触，则旋转单元停止旋转。

如图5所示，第一限位块11的第一弯折边通过螺钉固定在旋转板3侧壁，α角为用以限定将送料单元送入目标位置所需的旋转单元与支撑单元之间的夹角，范围优选为60-70度，在本实施例中为65度。

第一限位组件的设置，使得当送料单元旋转至目标位置时不能再继续向送料方向转动，即送料单元转至设备入料口的位置是固定而精准的。

第一限位块11还包括高度可调节的调节件，调节件垂直穿过第二弯折边，且至少部分位于第二弯折边的非α角开口侧。旋转至目标位置时，第二弯折边的非α角开口侧的调节件与第一挡板接触则旋转单元停止旋转。

在优选的实施方式中，调节件为螺栓，如图5所示，螺栓垂直穿过第二弯折边，且螺栓的头部位于第二弯折边的非α角开口侧，即由第一限位块11的外侧沿螺孔拧进内侧。当旋转单元旋转至螺栓的头部碰到第一挡板21时，送料单元刚好被旋转至目标位置，即炉体下盖的正上方，也是入料口处，而此时旋转单元与支撑架2之间的夹角为α角。调节件的设置可使得在第一限位块11的α角固定的情况下，对旋转单元旋转至目标位置时与支撑单元的夹角进行调整，例如调节螺栓头部伸出第二弯折边外侧的长度，即可实现在α角不变的情况下，当送料单元刚好被旋转至目标位置时，旋转单元与支撑单元的夹角大于α角，因此无需更换第一限位块11，即可使得送料装置适用于入料口位置不同的生产设备。

限位组件还包括第二限位组件，其中，第二限位组件包括固定在旋转单元的第二挡板73和固定在支撑单元的第二限位块12，旋转单元向与目标位置相反方向旋转时，第二限位块12与第二挡板73接触则旋转单元停止旋转。

如图6所示，第二限位块12具有相对的头端和尾端，其中，尾端固定在支撑单元底部，头端沿支撑单元径向延伸至部分露出，第二挡板73沿旋转单元轴向延伸至与第二限位块12具有相同高度。旋转单元向与目标位置相反方向旋转时，第二限位块12的头端与第二挡板73接触则旋转单元停止旋转。

在优选的实施方式中，与第一限位块11类似，第二限位块12的头端也可以设置高度可调节的调节件，如螺栓，可通过调节螺栓头部伸出的长度，使得在第二限位块12位置固定的情况下，对旋转单元旋转至第二限位块12与第二挡板73接触时与支撑单元的夹角进行调整，无需再拆卸第二限位块12进行位置调整。

例如，第二限位块12为销状零件，具有销头和销杆，其中销杆可拆卸地连接在支撑架2底部，销头沿支撑架2径向延伸并露出。销头与支撑架2平行的方向上设有螺栓，螺栓头位于目标位置侧，当旋转单元旋转至第二挡板73与第二限位块12的螺栓头部接触时，旋转单元停止旋转。

第二限位组件的设置，使得在送料单元被送入目标位置之前，能够旋转至最合适的位置进行装料。在具体的生产实践中，操作人员可以将旋转单元向外旋转至第二限位块12阻挡限位处，站在限位处内侧进行装料，使送料装置无法继续向外或向内转动，提高了装料效率和精准度。

在另一种优选实施方式中，第二限位块12设置为行程开关，除了具有上述限位作用外，还可以通过送料装置的碰撞使其触头动作来实现接通或分断控制电路，达到一定的控制目的。优选地，行程开关可以用于接通或分断控制设备入料口打开或闭合的电路。

例如，行程开关可以用来实现接通或分断控制碳化硅长晶炉的炉体下盖升降的电路，即当旋转单元旋转至第二限位块12的位置时，由于接近或触碰到行程开关，此时控制电路接通，长晶炉的炉体下盖打开并下降至低于送料装置高度的位置，此时再将送料单元送至炉体下盖上方的目标位置，然后操作长晶炉控制炉体下盖上升，如此设置可以避免因送料装置与炉体下盖的高度相同造成碰撞。

旋转单元包括旋转板3、工装托板7、定位条71以及支撑条72。其中，旋转板3一端与支撑架2转动连接，另一端置于工装托板7上方，并与工装托板7可拆卸连接。优选地，旋转板3与支撑架2通过压紧手柄4和一对推力轴承轴连接，并与工装托板7螺纹连接。旋转板3的设置，可以对工装托板7起到加固作用，增大旋转单元对送料单元的承载力。

如图4所示，旋转板3与支撑架2的连接结构由压紧手柄4依次连接第一推力轴承5、第二推力轴承6以及圆螺母9组成，以实现旋转单元可以以支撑架2为轴旋转，相应地，为了装配上述轴连接结构，旋转板3与支撑架2的连接位置设有可装配相应连接结构部件的孔或槽。可选地，为了方便旋转单元的旋转操作，旋转板3上方还可以设有凸起的细条状的推板，方便人工手持进行推拉旋转操作。

其中，工装托板7设置于旋转板3的下方，并部分与旋转板3螺纹连接。沿工装托板7横向延伸设有定位条71，且定位条71过工装上体8的圆心。在定位条71的两侧分别还设有一个支撑条72，用于支撑放置送料单元。优选地，支撑条72至少有两个，且平均分布于定位条71的两侧，更优选地，支撑条72和定位条71是具有一定厚度的弧形条状，有利于增大支撑条72和定位条71的受力面积，当送料单元上装有物料时，可以使受力分散。

送料单元包括装料盘，其中装料盘包括圆形的工装上体8和工装下体10，工装下体10的边缘分布有4个支撑柱101，每个支撑柱101内部设有螺纹槽，工装上体8在与4个支撑柱101对应的位置设有螺纹孔，可以通过螺钉或螺栓将工装上体8与工装下体10可拆卸地连接起来。其中，可拆卸连接方式包括但不限于卡扣连接、螺纹连接、销连接、键连接、滑动连接等，优选卡扣连接。

如图7所示，在上述送料装置中，送料单元与旋转单元通过卡扣连接。优选地，是工装上体8与定位条71通过卡扣连接。

优选的，工装上体8与定位条71的接触面设有卡扣81，定位条71内凹形成定位棱711，定位棱711与卡扣81的位置对应且与卡扣81的开口宽度相等，当工装上体8置于支撑条72上方时，卡扣81与定位棱711配合固定。

在一种实施方式中，卡扣81和定位棱711的数目和位置是可以调整的。当定位条仅有一个时，定位条部分内凹可以形成一个定位棱711，此时可以设置配合固定定位棱711两端位置的两个卡扣81，也可以设置固定定位棱711任意位置的多个卡扣81；定位条部分内凹也可以形成多个定位棱711，此时可以为每个定位棱711设置一个卡扣81，也可以设置配合部分定位棱711固定的卡扣81。如此设置可以对送料单元在支撑条上的固定位置进行调整，以使得送料装置适用于辅助为不同规格的长晶炉送料。

在定位工装上体8在定位条71的位置时，判断定位成功的标准是，当定位槽811刚好与其配合对应的定位棱711卡合时，视为定位成功。如图7所示，定位棱711包括纵横交叉的两条棱，由两条棱的交点向外延伸形成四条支棱，相应地，工装上体8与定位条71的接触面设有与四条支棱位置对应的四个卡扣81，每个卡扣81的内表面构成定位槽811，其中定位槽811的开口宽度与定位棱711的支棱宽度相等，以使得卡扣81可以卡在其对应的支棱上。当工装上体8移动到每个支棱与其对应的定位槽811刚好配合卡住时，即可认为定位完成。其中，由于定位棱711的两条棱是纵横交叉的，当卡扣81卡合在其对应的支棱上时，工装上体8在定位条71上的位置更加稳定，装料时工装上体8不会左右晃动。

在一种实施方式中，定位条可以是支撑条中的任意一个，也可以是支撑条中的任意几个共同起定位作用；定位条可以为支撑装料盘中心位置的支撑条，或者支撑装料盘的任意边缘部位的支撑条。在另一种实施方式中，卡扣连接结构的数目和位置均可以调整，使得装料盘与支撑条连接后不会发生晃动即可。如此设置有利于将装料盘固定在支撑条上装料，当盛有物料的送料单元被旋转送入长晶炉的目标位置时，送料单元可以顺利脱离支撑条，连同物料一起进入炉体内部。

可选的，定位条71过工装上体8的圆心，若干个卡扣81沿工装上体8的直径设置，相应地，定位棱711也设为直线型。

可选的，工装上体8的中心设有通孔，用于观察定位槽811与定位棱711的相对位置。

通过支撑柱101连接的工装下体10与工装上体8内部中空，用以放置定位条71。在一种实施方式中，将工装上体8通过上述卡扣连接配合定位放置于定位条71上方后，再将工装下体10与工装上体8连接；在另一种实施方式中，可先将工装下体10通过支撑柱101与工装上体8螺纹连接后，再将定位条71插入工装上体8与工装下体10的内部，直至卡扣结构卡合以成功定位。

送料单元与旋转单元通过卡扣连接，一是为了保证用于装料的工装上体8在定位条71上的位置固定，向工装上体8装料时避免工装上体8的晃动，有利于提高的物料排列精度和同心度，二是为了配合第一限位块11，使得送料单元旋转至目标位置的位置更加精确。

上述送料装置的优选使用方法如下：

将支撑架2安装在炉体机架1的腿上，再将定位条71和支撑条72插入已连接成一个整体的工装上体8和工装下体10的内部，直至工装上体8上方的卡扣81与其对应的定位棱711卡合无法继续移动。此时，定位条71支撑工装上体8的中心，支撑条72支撑工装上体8的边缘。

将送料装置向炉体机架1外部旋转至为行程开关的第二限位块12阻挡处，行程开关控制将长晶炉的炉体下盖下降至低于送料装置高度的位置。再站在送料装置的送料方向侧，将物料按一定顺序整齐的排列在工装上体8上，由于第二限位块12还具有限位作用，装料时旋转单元位置固定不会晃动。

排好物料后，可站在非送料方向侧，推动旋转板3上的第二挡板，将旋转单元向炉体机架1内部旋转，直至第一限位块11阻挡处，无法再继续向内旋转，此时送料单元刚好位于炉体下盖的正上方。操作长晶炉的控制系统以升高炉体下盖，直至升至拖动工装下体10，使得工装上体8与工装托板7刚好脱离，即可将工装托板7向炉体机架1外部旋出。此时装有物料的送料单元已置于炉体下盖上，继续升高炉体下盖直至进入炉体内部，到达炉体内的指定位置即可。

通过实践可得，使用本发明提供的送料装置向碳化硅单晶炉送料，相比于现有的人工直接向碳化硅单晶炉内部装料，效率大大提高，如同样装6千克的碳化硅原料，采用本送料装置的送料时间节省了1-1.5小时，同时外部装料提高了物料的位置精度和进入炉体内的同心度，有利于制备出更高产率和质量的碳化硅晶体。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。