一种制备石墨烯用石英加热腔的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石墨烯生产设备技术领域，具体为一种制备石墨烯用石英加热腔。
【背景技术】
[0002]石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成的六角型晶格单原子层二维晶体。石墨烯有许多独特的性质，它是零带隙的半金属半导体材料，具有超高的费米速度(光速的1/300)、载流子迀移率和热导率，良好的透光特性和优异的力学性能(弹性模量和抗拉强度分别达到1.1TPa和125GPa)，因此在透明电极、晶体管、传感器、能源存储、高强度复合材料等方面存在广泛的应用前景。
[0003]另一方面，石墨烯具有原子级的平整度、良好的生物兼容性、去局域化的π键以及良好的化学惰性，为研宄表面增强拉曼及其机理提供了一个全新的平台；同时，它丰富的表面有利于石墨烯一半导体复合结构的设计、集成和制备。
[0004]目前，石墨烯主要的制备方法有以下几种:机械剥离法、CVD生长法、化学法、SiC外延生长法等等。
[0005]现有的石墨烯生产设备中，石英加热腔是一种很重要的设备。例如，专利号为201320665607.2的中国专利，就公开了一种制备石墨烯时使用的石英加热腔。该石英加热腔可将相应的石墨桶放置在腔体内，利用常规的射频加热方式对其加热生产石墨烯，该加热腔包括内有中空夹层的上开口腔体和顶盖，顶盖上设置有测温窗口和进气口，腔体底部设置有测温窗口和出气口，腔体内设置有保温层，保温层中部为凹槽，腔体底部设置的测温窗口贯穿保温层与凹槽连接，采用这种结构的石英加热腔，可以利用常规的射频加热装置对腔体内的物质进行加热，加热效率高，热量散失少，且获得的温度场更加均匀，通过其利用高温退火在碳化硅衬底上制备石墨烯，提高了石墨烯的纯度，节约了生产成本，提高了生产效率。
[0006]但是，这种结构的石英加热腔存在一个缺点，就是由于腔体为狭长形，从顶部取出石墨桶时，十分不方便，因此有待于将其改进。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型所解决的技术问题在于提供一种制备石墨烯用石英加热腔，从而解决上述【背景技术】中的问题。
[0008]本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
[0009]一种制备石墨烯用石英加热腔，包括内部中空的腔体，所述腔体的外壁设置有夹层，且所述夹层开设有进水口和出水口 ；
[0010]所述腔体的顶部密封，底部设置有开口，且所述开口的边沿开设有一圈环形的凹槽，所述腔体底部的开口设置有与之相配合的底板，所述底板上设置有与所述凹槽相配合的凸圈，所述底板扣合于所述腔体的底部，并利用所述凸圈卡装于所述凹槽内；
[0011]所述腔体的内壁开设有至少三条滑槽，且所述滑槽于所述腔体的内壁上均匀分布，
[0012]所述腔体内部还活动安装有保温层，所述保温层内部包围设置有置放石墨桶的底座，
[0013]所述保温层的外壁上设置有与所述滑槽相配合的滑块，并利用所述滑块安装于所述腔体内部。
[0014]作为一种改进的技术方案，所述底板与所述腔体底部还利用加固螺栓进行加固。
[0015]显然，本实用新型也会按照需要开设有进气口、出气口、测温窗口等等结构。
[0016]由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果:
[0017]本实用新型结构合理，使用更加方便，尤其是将石墨桶取出时，可以不用等到温度降低最低，即可将其从腔体内取出，提高了工作效率。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。
[0020]参见图1，一种制备石墨烯用石英加热腔，包括内部中空的腔体I，所述腔体I的外壁设置有夹层2，且所述夹层2开设有进水口 21和出水口 22 ;所述腔体I的顶部密封，底部设置有开口，且所述开口的边沿开设有一圈环形的凹槽11，所述腔体I底部的开口设置有与之相配合的底板3，所述底板3上设置有与所述凹槽11相配合的凸圈31，所述底板3扣合于所述腔体I的底部，并利用所述凸圈31卡装于所述凹槽11内；所述腔体I的内壁开设有至少三条滑槽12，且所述滑槽12于所述腔体I的内壁上均匀分布，所述腔体I内部还活动安装有保温层4，所述保温层4内部包围设置有置放石墨桶的底座41，所述保温层4的外壁上设置有与所述滑槽12相配合的滑块42，并利用所述滑块42安装于所述腔体I内部。
[0021]本实施例中，所述底板3与所述腔体I底部还利用加固螺栓5进行加固。
[0022]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种制备石墨烯用石英加热腔，包括内部中空的腔体，所述腔体的外壁设置有夹层，且所述夹层开设有进水口和出水口 ；其特征在于:所述腔体的顶部密封，底部设置有开口，且所述开口的边沿开设有一圈环形的凹槽，所述腔体底部的开口设置有与之相配合的底板，所述底板上设置有与所述凹槽相配合的凸圈，所述底板扣合于所述腔体的底部，并利用所述凸圈卡装于所述凹槽内；所述腔体的内壁开设有至少三条滑槽，且所述滑槽于所述腔体的内壁上均匀分布，所述腔体内部还活动安装有保温层，所述保温层内部包围设置有置放石墨桶的底座，所述保温层的外壁上设置有与所述滑槽相配合的滑块，并利用所述滑块安装于所述腔体内部。
2.根据权利要求1所述的一种制备石墨烯用石英加热腔，其特征在于:所述底板与所述腔体底部还利用加固螺栓进行加固。
【专利摘要】一种制备石墨烯用石英加热腔，包括内部中空的腔体，腔体的外壁设置有夹层，且夹层开设有进水口和出水口，腔体的顶部密封，底部设置有开口，且开口的边沿开设有一圈环形的凹槽，腔体底部的开口设置有与之相配合的底板，底板上设置有与凹槽相配合的凸圈，底板扣合于腔体的底部，并利用凸圈卡装于凹槽内；腔体的内壁开设有至少三条滑槽，且滑槽于腔体的内壁上均匀分布，腔体内部还活动安装有保温层，保温层内部包围设置有置放石墨桶的底座，保温层的外壁上设置有与滑槽相配合的滑块，并利用滑块安装于腔体内部。本实用新型结构合理，使用更加方便，提高了工作效率。
【IPC分类】C01B31-04
【公开号】CN204281328
【申请号】CN201420725672
【发明人】邓凌峰, 刘小花, 刘永正, 王钟民, 张远和, 文建民
【申请人】湖南东博墨烯科技有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年11月28日