专利名称：用于脆性基板的传送设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于脆性基板的传送设备，更具体地i兌，涉及 这样一种用于脆性基板的传送设备，当在用于脆性基板的切割装置 中使用传送带传送基板时，该传送设备能够防止传送带下部的污 染。
背景技术：
随着信息通信领域的快速发展，用于显示期望信息的显示装置 的重要性日益增加。到目前为止，在信息显示装置的范围内，阴极 射线管(CRT)由于自然色彩再现的多样性及屏幕的高亮度而获得 了广泛应用。
然而，对大型、便携式以及高分辨率显示器的需求使得平板显 示器取代阴极射线管而获得发展。
这种平板显示器广泛应用于各个领域，诸如，计算机监视器、 飞行器、太空船等等。平板显示器一般分为薄膜晶体管液晶显示器
(TFT-LCD)、有机发光显示器(OLED)、等离子体显示面板(PDP )等等。
平板显示器通常通过在脆性基板上形成多个器件、且将基板切 割成相应的器件单元、以及将这些器件从基板上分离来制造。
通常，切割脆性基板(诸如，玻璃、硅、或陶瓷基板)的方法 分成两种，即，利用具有20-200 jnm厚度的快速旋转金刚石刀片切 割基板以在基板中形成切割槽的切块(dicing)方法、以及利用由 具有0.6-2 mm厚度的金刚石尖端形成的划线轮形成切割槽以沿厚 度方向形成裂缝的划线方法。
在液晶显示器(LCD)的情况下，在大的脆性基板(称为母板) 上同时形成至少两个LCD单位单元(unit cell )。在单个母才反上形成 所述至少两个LCD单位单元之后，通过单个化工序将LCD单位单 元从母板上分离。
在单个化工序中，在液晶显示器中使用母板的情况下，脆性基 板由于其基板特性而具有高脆性。在切割工序期间形成于脆性基板 边缘的细小裂紋沿着薄弱点快速扩展，以切除不期望的部分，因此 从切割表面上产生许多颗粒。
即，单个化工序包括在母板中形成预定深度的划线；以及向 母板施加物理沖击，以参照脆性基板的切割线利用集中在划线内的 预应力而将LCD单位单元乂人母^反上分离。
以下，将参照
图1描述具有传送带的用于切割基板的传统设备。
如图l所示，具有传送带的用于切割基板的设备包括第一和 第二带式传送装置70和80，它们以预定间隔设置，且母板60^:置
于其上并在其上移动以待切割；伺服电机90,安装在第一和第二带 式传送装置70和80的一端，以驱动第一和第二带式传送装置70 和80;以及划线装置100， i殳置于第一和第二带式传送装置70和 80之间，以划下基板60的预切割线。
此处，第一和第二带式传送装置70和80包括多个传送装置 支撑梁(beam),沿Y方向以预定间隔设置在带式传送装置70和 80的下方；以及多个梁支撑4干架72和82,沿X方向i殳置，以支撑 传送装置支撑梁。
此外，划线装置100包括划线头部101;导向杆，其上安装 有划线头部101;支撑杆，用于支撑导向杆的两侧；以及导轨，彼 此平行设置，以移动支撑杆。
在用于切割基板的传统设备中，当第一带式传送装置70由伺 服电机90驱动时，安装在第一带式传送装置70上的基板60沿一 个方向移动。
接着，当所移动基板60的预切割线设置在第一带式传送装置 70与第二带式传送装置80之间的一位置(基板60的一端安装在第 一带式传送装置70上，而基板60的另 一端安装在第二带式传送装 置80上)时，梯:纟从划线头部101，〗吏之沿与基纟反60的移动方向相 垂直的方向移动，以在基纟反60的预切割线上扭j于划线工序。
当已划线基板60从第 一 带式传送装置70移动到第二带式传送 装置80上时，在第一带式传送装置70上安装新的基板，以在一定 时间之后经历划线工序。
参照图2，将描述在用于切割基板的设备中使用的带式传送装 置的结构。
图2是用于带式传送装置中的带式传送机构的截面图，其中图 2 (a)是带式机构的截面图，而图2 (b)示出了带式机构的操作。
图2中，参考标号IO表示由橡胶形成的带，参考标号ll表示 用于支撑带10的带支撑部，参考标号12表示用于保护带支撑部的 带支撑部盖，以及参考标号13表示用于沿某一方向转动带10的一对辊。
在图2所示的带式机构中，通过驱动装置(诸如图1所示的伺 月良电才几)来旋转辊13，以转动围绕辊13安装的带10, 乂人而传送力文 置于带IO上的脆性基板。
然而，在该传送设备中，当带使用了较长时间时，由于带驱动 部以及带、带支撑部ll和带支撑部盖12之间的摩擦，在带的下方 产生污染。结果，由于带驱动过程中产生的污染物，可能降低传送 精度。
此外，为了保持脆性基板的清洁，应该在与带驱动部相对应的 各个位置处设置清洁装置。结果，设备变得复杂，且管理费用增加。
而且，污染降低了带式机构的使用寿命。为了延长带式机构的 使用寿命，需要经常更新带，从而降低了工作效率。
此外，带下方的污染物降低了基板划线期间的基板的平整度， 使得不可能精确地对基板进行划线。
发明内容
本发明的一方面在于提供一种用于脆性基板的传送设备，该传 送设备能够去除在用于传送脆性基板的传送带下方产生的污染物， 乂人而改善对传送i史备的维护。 本发明的另 一方面在于提供一种用于脆性基板的传送设备，该 传送设备能够抽吸在驱动其上安装有基板的带的过程中所产生的 污染物，以延长带部的4吏用寿命。
本发明的实施例提供了 一种用于脆性基板的传送设备，该传送
设备包括传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及电才几部， 用于驱动该传送装置，其中传送装置包括沿环形;咯径行进以传送 脆性基板的带部；用于支撑带部的带支撑部；以及用于抽吸带部下 方的污染物的抽吸装置。
此外，传送装置可以进一步包括设置在带部与带支撑部之间的 且覆盖带支撑部的带支撑部盖。
进一步，抽吸装置可以包括抽吸部，用于抽吸带部下方的污 染物；真空泵，用于4丸行抽吸部的污染物抽吸；以及抽吸管，用于 将抽吸部连接至真空泵。
而且，抽吸部可以i殳置在带部与带支撑部之间。
此外，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括第一辊和第二 辊，该第一辊和第二辊上安装有带部，其中，抽吸部设置在由第一 辊转动的带部的下方以及进入第二辊之前的带部的下方，以去除由 第一辊与带部之间的摩〗察而产生的颗粒以及由带部和带支撑部盖 所产生的颗粒。
4由吸部可以具有与带部的带相同的宽度。
当第一辊和第二辊转动时，抽吸装置可以运行。
当第 一辊和第二辊转动时，抽吸装置可以以预定时间间隔运行。
此外，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括安装在抽吸装 置中的刷。
进一步，所述刷可以包括第一刷，安装在邻近于第一辊的抽 吸部中，且附着于带支撑部盖；以及第二刷，安装在邻近于第二辊 的抽吸部中，且附着于带支撑部。
而且，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括第一辊和第二 辊，该第一辊和第二辊上安装有带部，其中，抽吸部设置在经过第 二辊的带的上方，以去除在第二辊周围产生的污染物。
此外，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括第一辊和第二 辊，该第一辊和第二辊上安装有带部，其中抽吸部^:置在由第一辊 转动的带部的下方以及经过第二辊的带的上方。
附图i兌明
从以下结合附图的详细描述中，本发明的上述和其它目的、特 征、和优点将变得更显而易见，附图中
图l是传统传送带设备的透视图2是用于脆性基板的传统传送设备的截面图3是才艮据本发明第一示例性实施例的用于脆性基板的传送诏:
备的截面图4是根据本发明第二示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面图5是根据本发明第三示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面图；以及
图6是根据本发明第四示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面具体实施例方式
以下，将参照附图描述本发明的示例性实施例。
贯穿本发明，相同的参考标号表示相同的元件，并且不再重复 其描述。
<实施例1>
图3是根据本发明第一示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面图，其中图3 (a)是带式机构的截面图，并且图3(b) 示出了带式机构的操作。
脆性基板，并且该传送设备包括传送装置200,用于传送已经过 预处理工艺的脆性基板，以切割脆性基板；以及电机部(未示出)， 用于驱动传送装置200。
如图3所示，传送装置200包括带部210，通过环形路径4亍 进且传送脆性基板；带支撑部220，用于支撑带部210;带支撑部 盖230，设置在带部210与带支撑部220之间，以覆盖带支撑部220; 以及^由吸装置，用于^由吸带部210下方的污染物。
此外，如图3 (b)所示，根据本发明的用于脆性基板的传送设 备包括第一辊13和第二辊14,其上安装有带部210,以传送例如
待划线的玻璃基4反。第一辊13和第二辊14^皮此隔开。当玻璃基4反 被水平传送时，第一和第二辊13和14也水平地布置且纟皮可旋转地 支撑。此外，根据脆性基板的宽度，带部210可以由单个带或多个 带形成。
进一步，与传统的传送设备类似，电机部包括电机，用于向 第一辊13或第二辊14提供旋转力；驱动带轮，轴向结合于电机的 旋转轴；从动带轮，轴向结合于第一辊13和第二辊14中的任何一 个；以及动力传动带，用于将动力从驱动带轮传递到从动带轮。
下面将描述作为本发明主要特征的抽吸装置的构成。
如图3所示，才艮据本发明的抽吸装置包括抽吸部240，用于 抽吸带部210下方的污染物；真空泵250，用于冲丸4亍抽吸部240的 污染物抽吸；以及抽吸管260,用于将抽吸部240连接至真空泵"0。
在第一实施例中，为了去除在脆性基板传送过程中由于第一辊 13与带部210之间的摩纟察而产生的颗粒以及由带部210和带支撑部 盖230造成的颗粒，抽吸部240设置在由第一辊13旋转的带部210 的下方以及进入第二辊14之前的带部210的下方。抽吸部被 构造成具有与带部210的带相同的宽度，以完全去除粘附于带支撑 部220与带支撑部盖230之间的带部210下部的颗粒。
此外，在带部210与带支撑部220之间保持微小的空间，以抽 吸粘附于带部210下部的颗4立，且防止抽吸部240的抽吸力干4尤带 部210的前进。
用于将真空泵250连接至抽吸部240的抽吸管260可以是通常 类型的管。
下面，将参照图3描述根据本发明的用于脆性基板的传送设备 的操作。
将脆性基板放置在包括带部210的传送装置200上，以切割或 传送该脆性基板。
接着，旋转电机，以通过带轮来传递动力而使第一辊13和第 二辊14转动，从而，将传送装置200上的脆性基板传送到期望位 置。
才矣下来，第一辊13和第二辊14的转动4吏真空泵250运4亍，以 利用抽吸部240抽吸粘附于带部210下部的颗粒，/人而去除由于第 一辊13与带部210之间的摩擦而产生的颗粒以及由带部210和带 支撑部盖230产生的颗粒。
被抽吸的颗粒通过颗粒收集装置(诸如通常的抽吸装置)进行 收集和处理。
带(粘附于带部210下部的颗粒^皮,人带上完全去除)连续地转 动，以进行脆性基板的传送操作。
在第 一 实施例中，尽管为了保持抽吸部240的抽吸力而将真空 泵250和抽吸管260分别构造成与抽吸部240相对应，但是本发明 并不限于此，才艮据真空泵250的真空性能和粘附于带部210下部的 颗粒的状态，可以将单个真空泵250连接至抽吸部2训。
此外，在第一实施例中，尽管将抽吸部24(H殳置在带部210下 方的两个位置处，^f旦是本发明并不限于此，抽吸部240可以^义:没置 在一个位置处，以抽吸由于第一辊13与带部210之间的摩纟察而产 生的颗冲立。
此外，在第一实施例中，尽管将真空泵250构造成在第一辊13 和第二辊14转动时运行，但是，真空泵250可以在第一辊13和第 二辊14转动时以预定时间间隔运行。
<实施4列2>
下面将参照图4描述才艮据本发明的第二实施例。
图4是根据本发明第二示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面图。
除了在抽吸装置中安装刷子之外，第二实施例具有与第 一 实施 例相同的结构，因此，省略重复的i兌明。
在第二实施例中，为了更完全地去除带部210下方的污染物， 在第一辊13和第二辊14处形成的抽吸部240中安装第一刷270和 第二刷271。
即，如图4所示，第一刷270安装在邻近于第一辊13的抽吸 部240中，且附着于带支撑部盖230，并且第二刷271安装在邻近 于第二辊14的抽吸部240中，且附着于带支撑部220。
因此，第一刷270和第二刷271沿由第一辊13和第二辊14的 转动力转动的带的转动方向设置，以更完全地去除带部210下方的 污染物。
<实施例3>
下面将参照图5描述4艮据本发明的第三实施例。
图5是根据本发明第三示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面图。
除了在经过第二辊14的位置处设置抽吸装置之外，第三实施 例具有与传统技术相同的结构，从而将省略重复的描述。
在第三实施例中，如图5所示，抽吸部240i殳置在已经过第二 辊14的带的上方，以去除在第二辊14周围产生的污染物。
由于第三实施例具有这样的结构，即，其中抽吸部安装在已经 过图2所示用于脆性基板的传统传送设备的第二辊14的带的上方， 因此，可以减少污染物去除i殳备的安装费用，且可以去除由于第二 辊14与带部210之间的摩擦而产生的污染物。
此外，第三实施例可以单独实施，或者可以结合第一实施例或 第二实施例的结构来实施。
<实施<列4>
下面将参照图6描述才艮据本发明的第四实施例。
图6是根据本发明第四示例性实施例的用于脆性基板的传送设 备的截面图。
除了在抽吸装置中设置第三刷272之外，第四实施例具有与第 三实施例相同的结构，因此，省略重复的i兌明。
在第四实施例中，为了更完全地去除在第二辊14周围产生的 污染物，第三刷272安装在已经过第二辊l4的带上方所设置的抽 吸部240中。
即，如图6所示，由于第三刷272安装在已经过第二辊14的 带上方所设置的抽吸部240中，因此，可以减少污染物去除i殳备的 安装费用，且可以更完全地去除由于第二辊14与带部210之间的
摩^^而产生的污染物。
此外，第四实施例可以单独实施，或者可以与第一实施例或第 二实施例的结构相结合来实施。
尽管已经描述了具有抽吸装置设置在带部与带支撑部之间的 这种结构的实施例，^f旦是本发明不限于此，可以i殳置用于向带注入 压缩空气的吹风装置，以去除带部下方的污染物。
从上述可知，在根据本发明的用于脆性基板的传送设备处安装 有抽吸装置，以减少带下方的污染物，乂人而才是高带^皮驱动时的传送 性能。
此外，由于防止了设备的污染，从而，增加了带的使用寿命， 可以降低带的安装和维护费用。
而且，由于/人带的下部4夸污染物去除，因此，可以通过解决划 线过程中与基板的平整度相关的问题而提高基板的划线性能。
虽然已经参照本发明的示例性实施例描述了本发明，4旦对本发 明所属领域的普通技术人员来说很显然，在不背离所附权利要求及 其等同物所限定的本发明的精神和范围的前4是下，可以对所描述的 实施例进4亍各种》务正。
权利要求
1.一种用于脆性基板的传送设备，包括传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动所述传送装置，其中，所述传送装置包括沿环形路径行进以传送所述脆性基板的带部、用于支撑所述带部的带支撑部、以及用于抽吸所述带部下方的污染物的抽吸装置。
2. 根据权利要求1所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 传送装置进一步包括设置在所述带部与所述带支撑部之间的 且覆盖所述带支撑部的带支撑部盖。
3. 根据权利要求2所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 抽吸装置包括抽吸部，用于抽吸所述带部下方的污染物；真 空泵，用于4丸4亍所述抽吸部的污染物抽吸；以及抽吸管，用于 将所述抽吸部连4妄至所述真空泵。
4. 根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 抽吸部设置在所述带部与所述带支撑部之间。
5. 根据权利要求4所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括 第 一辊和第二辊，所述第 一辊和第二辊上安装有所述带部，其中，所述抽吸部i殳置在由所述第一辊转动的所述带部 的下方以及进入所述第二辊之前的所述带部的下方，以去除由 所述第一辊与所述带部之间的摩纟察而产生的颗粒以及由所述 带部和所述带支撑部盖所产生的颗粒。
6. 根据权利要求5所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 抽吸部具有与所述带部的带相同的宽度。
7. 根据权利要求6所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所 述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置运行。
8. 根据权利要求6所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所 述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置以预定时间间隔运行。
9. 根据权利要求5至8中任一项所述的用于脆性基板的传送设 备，进一步包括安装在所述抽吸装置中的刷。
10. 根据权利要求9所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 刷包括第一刷，安装在邻近于所述第一辊的所述抽吸部中， 且附着于所述带支撑部盖；以及第二刷，安装在邻近于所述第 二辊的所述抽吸部中，且附着于所述带支撑部。
11. 根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括 第一辊和第二辊，所述第一辊和第二辊上安装有所述带部，其中，所述抽p及部i殳置在已经过所述第二4昆的带的上方， 以去除在所述第二辊周围产生的污染物。
12. 根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括 第 一辊和第二辊，所述第 一辊和第二辊上安装有所述带部，其中，所述抽吸部i殳置在由所述第一辊转动的所述带部 的下方以及已经过所述第二辊的带的上方。
13. 根据权利要求11或12所述的用于脆性基板的传送设备，进一 步包4舌安装在所述抽吸部中的刷。
14. 根据权利要求13所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所 述抽吸部具有与所述带部的所述带相同的宽度。
15. 根据权利要求14所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当 所述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置运行。
16. 根据权利要求14所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当 所述第一辊和所述第二辊转动时，所述抽吸装置以预定时间间 隔运行转。
全文摘要
本发明提供了一种用于脆性基板的传送设备，该传送设备能够防止使用传送带传送基板时的带下方的污染。用于脆性基板的该传送设备包括传送装置，用于传送待被切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动传送装置，其中传送装置包括沿环形路径行进以传送脆性基板的带部、用于支撑带部的带支撑部、以及用于抽吸带部下方的污染物的抽吸部。因此，可以减少驱动带时带下方的污染物并改善传送性能。
文档编号B65G49/07GK101100243SQ20071013636
公开日2008年1月9日 申请日期2007年7月24日 优先权日2006年8月24日
发明者朴成模, 金钟相 申请人:塔工程有限公司