专利名称：一种水平式扩散系统的传送带装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种传送带装置，尤其是涉及一种水平式扩散系统的传送带装置。
背景技术：
太阳电池是一种将光能转换为电能的装置。一般可分为薄膜太阳电池和晶体硅太阳电池。其中晶体硅太阳电池又可分为单晶硅太阳电池和多晶硅太阳电池。太阳电池将太阳光的能量转化为电能的转化效率是衡量太阳电池质量的重要指标。由于单晶硅的纯度和晶体质量高于多晶硅，因此单晶硅太阳电池的效率一般要高于多晶硅太阳电池。大规模工业化生产晶体硅太阳电池的生产过程大致为，首先将晶体硅表面的损伤层清洗干净，然后进行制绒过程以减少晶体硅表面的反射卒，再进行扩散形成PN结，在太阳电池的发射极表面上沉积氮化硅薄膜，起到钝化和减少反射的作用，最后采用丝网印刷的方法印上金属电极，正反电极进行共烧后太阳电池就形成了。其中扩散形成PN结是太阳电池制造过程的关键步骤，目前太阳电池制造领域采用的扩散方法一般分为常规管式扩散和水平式扩散两种。水平式扩散技术由于其对环境要求低、不限制硅片尺寸、更低的破片率等方面的优势， 在太阳电池制造领域得到了很高的重视，并获得快速的发展。水平式扩散系统的传送带一般采用镍合金等金属材质制成，在高温扩散工艺时可能会出现金属离子进入硅片衬底，形成很强的复合中心，直接影响扩散工艺效果，导致太阳电池的转换效率下降。
实用新型内容本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种运输硅片衬底时更为平稳，破片率更低，还可避免扩散过程中硅片衬底与金属的接触，改善工艺环境，提高太阳电池转换效率的水平式扩散系统的传送带装置。本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，该传送带装置包括支柱、传送带、套管，所述的传送带设在支柱上方，所述的套管设在传送带上。所述的支柱为石英支柱。所述的传送带为金属合金制成的传送带。所述的传送带为镍铬合金传制成的传送带。所述的传送带为经氧化表面处理形成有金属氧化层的传送带。所述的套管为陶瓷材料制成的套管。与现有技术相比，本实用新型具有在运输硅片衬底时更为平稳，破片率更低。另外由于陶瓷质支撑环的存在，避免了硅片衬底与金属传送带直接接触，从而避免了扩散过程中硅片衬底与金属的接触，改善工艺环境。此外，传送带表面覆盖着一层金属氧化物薄层， 也可起到保护层的作用。
图1为本实 用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。实施例如图1所示，一种水平式扩散系统的传送带装置，该传送带装置包括支柱2、传送带1、套管3。传送带1设在支柱2上方，套管3设在传送带1上。使用时，由于有套管3的存在，因此硅片衬底4不会与传送带直接接触，从而可避免高温扩散时出现金属离子进入硅片衬底4。本实施例所用支柱为石英支柱。传送带为镍铬合金传制成的传送带，且该传送带通过表面氧化处理后，在其表面覆盖一层金属氧化层。套管为陶瓷材料制成的套管。
权利要求1.一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，该传送带装置包括支柱、传送带、 套管，所述的传送带设在支柱上方，所述的套管设在传送带上。
2.根据权利要求1所述的一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，所述的支柱为石英支柱。
3.根据权利要求1所述的一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，所述的传送带为金属合金制成的传送带。
4.根据权利要求3所述的一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，所述的传送带为镍铬合金传制成的传送带。
5.根据权利要求3或4所述的一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，所述的传送带为经氧化表面处理形成有金属氧化层的传送带。
6.根据权利要求1所述的一种水平式扩散系统的传送带装置，其特征在于，所述的套管为陶瓷材料制成的套管。
专利摘要本实用新型涉及一种水平式扩散系统的传送带装置，该传送带装置包括支柱、传送带、套管，所述的传送带设在支柱上方，所述的套管设在传送带上。与现有技术相比，本实用新型具有运输硅片衬底时更为平稳，破片率更低，还可避免扩散过程中硅片衬底与金属的接触，改善工艺环境，提高太阳电池转换效率等优点。
文档编号B65G15/58GK202175431SQ20112016700
公开日2012年3月28日 申请日期2011年5月23日 优先权日2011年5月23日
发明者冯春暖, 周利荣, 邱明良, 郭唯博, 马院红 申请人:上海神舟新能源发展有限公司