用于amhs输送车的卷轮及传动结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于AMHS输送车的卷轮及传动结构，卷轮为圆形且具有轴心，圆形卷轮上至少有一段圆弧构成圆弧面体，圆弧面体可分离于卷轮本体，轴心位于卷轮本体上，圆弧面体与卷轮本体之间具有可调两者间距的连接件。本实用新型通过将圆形卷轮分为圆弧面体和卷轮本体两个部分，并以可调两者间距的连接件相连，使卷轮的直径可变，从而改变各传动皮带的长度，保证了抓取模块的水平度，提高了AMHS系统的安全性和稳定性，省去维修更换传动皮带的时间，也提高了AMHS系统的工作效率。
【专利说明】用于AMHS输送车的卷轮及传动结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体集成电路物料输送系统【技术领域】，尤其涉及一种用于AMHS输送车的卷轮及传动结构。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。为了增加传送效率，降低输送错误率，一个功能强大且性能稳定的自动化物料传输系统(Automated Material Handling Systems,简称AMHS)在300mm工厂里扮演了一个非常重要的角色。AMHS系统不仅可以有效的利用宝贵的洁净室的生产空间，并且还可以提高生产设备的利用率，缩短在制品生产时间，所以在很多的300_的半导体工厂里，AMHS都被视为可以快速提升产能，增加生产效率的尖兵利器。
[0003]现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间(tool to tool输送模式),或往返于机台与暂存区Stocker之间(走道间系统interbay与走道内系统intrabay)。
[0004]输送车作为AMHS系统的一部分，从第一代十几年前只能低速走行单线轨道，只能移植装载位于其正下方的硅片盒，到第二代可以高速走行在分歧轨道，第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在STS、UTS上的硅片盒，再到第四代450mm搬运小车，更新速度可谓非常之快。一般的输送车为抓取硅片盒通常采用传动皮带垂直升降相应的抓取模块抓取机台上的硅片盒。一般的输送车距离地面3米以上，由于其高度较高，又要尽量快速且平稳的运送抓取重达9公斤的硅片盒，所以输送车传动模块的稳定性很重要。
[0005]输送车的抓取模块由传动模块中缠绕于四个卷轮上的四根传动皮带负责控制升降，由于300mm的硅片盒重量较200mm的硅片盒增加不少，皮带的负重增加，皮带多次升降后会难免会产生变形，使四根传动皮带有长有短，导致抓取模块的水平度改变，从而影响抓取的稳定性。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种用于AMHS输送车的卷轮及传动结构，通过可变直径的卷轮来调节传动皮带的伸展长度，不需要拆卸更换传动皮带，从而保持抓取模块的水平度，提高抓取稳定性。
[0007]为实现上述目的，本实用新型提供一种用于AMHS输送车的卷轮，其为圆形且具有轴心，该圆形卷轮上至少有一段圆弧构成圆弧面体，该圆弧面体可分离于卷轮本体，该轴心位于卷轮本体上，该圆弧面体与卷轮本体之间具有可调两者间距的连接件。
[0008]进一步地，该连接件分别与圆弧面体与卷轮本体相连接，并且该连接件还具有驱动件。[0009]进一步地，该驱动件为气动装置、液压装置或齿轮件。
[0010]进一步地，该圆弧面体与卷轮本体之间可调间距为0.1-lOcm。
[0011]进一步地，该圆弧面体与卷轮本体的连接缝呈一直线。
[0012]本实用新型还提供一种具有上述卷轮的传动结构，其包括固定于输送车车体的四个上述卷轮、各卷轮上的传动皮带以及与四根传动皮带下方连接的抓取模块，每个卷轮上圆弧面体与卷轮本体之间的连接件均与输送车车体内的控制单元信号连接。
[0013]本实用新型提供的用于AMHS输送车的卷轮及传动结构，通过将圆形卷轮分为圆弧面体和卷轮本体两个部分，并以可调两者间距的连接件相连，使卷轮的直径可变，当卷轮上的传动皮带变形导致长度不一的情况发生时，通过本实用新型的结构调节卷轮的直径，从而改变各传动皮带的长度，保证了抓取模块的水平度，提高了 AMHS系统的安全性和稳定性，省去维修更换传动皮带的时间，也提高了 AMHS系统的工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]为能更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点，以下将结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细描述，其中:
[0015]图1a和Ib是本实用新型第一实施例卷轮的结构示意图；
[0016]图2是具有第一实施卷轮的例输送车的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]请参阅图la，本实施例的用于AMHS输送车的卷轮，作为悬吊式AMHS系统中OHT输送车的一部分，其为圆形且具有轴心17，圆形卷轮的圆周上分为小圆弧14和大圆弧15，小圆弧14所在的卷轮构成了圆弧面体12，大圆弧15所在的卷轮构成了卷轮本体11，轴心17位于卷轮本体11上。
[0018]其中，圆弧面体12可分离于卷轮本体11，具体地，圆弧面体12与卷轮本体11之间具有两个连接件13，连接件13可调节圆弧面体12和卷轮本体11的间距。本实施例的连接件13具有气动装置作为驱动件，该气动装置包括气动阀、气泵等，并与输送车的控制单元信号连接控制其开闭，由此调节圆弧面体12远离或靠近卷轮本体11。
[0019]本实施例中，圆弧面体和卷轮本体之间的可调间距范围为5cm，即圆弧面体与卷轮本体最大距离可以是5cm，本实施例的连接件13分别与圆弧面体12和卷轮本体11相固定连接，用于防止圆弧面体12的掉落。在实际应用中，该两者的可调间距可根据实际需要调整，较佳地在0.1-1Ocm之间，由于传动皮带是缠绕在卷轮上的,卷轮直径增加0.1cm可以使传动皮带实际伸长量达到0.5-2cm左右，满足调节水平度要求；另一方面，卷轮的可变直径也不宜过大，超过IOcm就没有了调节的意义。
[0020]在其他实施例中，驱动件也可以用现有调节高度的液压装置或齿轮件代替，甚至可以通过人工操作连接件，来调节卷轮的直径，但优选使用可自动调节的自动驱动件，如本实用新型的气动、液压或齿轮。
[0021]本实施例中圆弧面体与卷轮本体的连接缝呈一直线，从图中可以看出，但实际应用不仅限于此，只要能将卷轮分为两个或两个以上的部分，且绕开轴心，就可以实现调整卷轮直径的目的，但本实施例的直线连接缝更便于卷轮的加工和安装。[0022]图1b是本实施例卷轮使用状态时的结构示意图，可见，由于连接件13的运作，圆弧面体12远离卷轮本体11形成间隙，卷轮的直径变大了。
[0023]请继续参阅图2，本实施例的输送车传动结构，包括固定于输送车车体21的四个上述卷轮10、各卷轮10上的传动皮带22以及与四根传动皮带22下方连接的抓取模块23，每个卷轮10上圆弧面体与卷轮本体之间的连接件均与输送车车体21内的控制单元信号连接。
[0024]具有本实施例传动结构的输送车在搬送硅片盒2过程中，发现四根传动皮带变形导致长度不一，此时，将传动皮带完全放下伸展，得到长出部分的量，根据计算，可以很容易得到需要增加卷轮直径的量，通过控制单元发送指令至每个卷轮连接件，调节每个卷轮的直径，使传动皮带下端保持齐平，从而保证抓取模块的水平度。
【权利要求】
1.一种用于AMHS输送车的卷轮，其为圆形且具有轴心，其特征在于，该圆形卷轮上至少有一段圆弧构成圆弧面体，该圆弧面体可分离于卷轮本体，该轴心位于卷轮本体上，该圆弧面体与卷轮本体之间具有可调两者间距的连接件。
2.根据权利要求1所述的用于AMHS输送车的卷轮，其特征在于:该连接件分别与圆弧面体与卷轮本体相连接，并且该连接件还具有驱动件。
3.根据权利要求2所述的用于AMHS输送车的卷轮，其特征在于:该驱动件为气动装置、液压装置或齿轮件。
4.根据权利要求1至3任一项所述的用于AMHS输送车的卷轮，其特征在于:该圆弧面体与卷轮本体之间可调间距为0.1-lOcm。
5.根据权利要求4所述的用于AMHS输送车的卷轮，其特征在于:该圆弧面体与卷轮本体的连接缝呈一直线。
6.一种具有权利要求1所述卷轮的传动结构，其特征在于:其包括固定于输送车车体的四个如权利要求1所述的卷轮、各卷轮上的传动皮带以及与四根传动皮带下方连接的抓取模块，每个卷轮上圆弧面体与卷轮本体之间的连接件均与输送车车体内的控制单元信号连接。
【文档编号】B65G35/00GK203714696SQ201420091012
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年2月28日 优先权日:2014年2月28日
【发明者】王毅博, 李佳青 申请人:上海集成电路研发中心有限公司