基板输送装置的制作方法

本发明涉及基板输送装置，一边使基板从振动板超声波振动浮起一边对该基板进行输送，尤其涉及具有在输送中使形成在基板上的涂布膜干燥的功能的基板输送装置。

背景技术：

在液晶显示器、等离子显示器等平板显示器中，使用在基板上涂布有抗蚀液的基板(称之为涂布基板)。该涂布基板通过如下方式来生产：在利用涂布装置在基板上均匀地涂布抗蚀液从而形成涂布膜之后，通过基板输送装置来输送基板并通过干燥装置使涂布膜干燥。

在最近的基板输送装置中，为了避免涂布基板的背面(处于涂布面的相反侧)的损伤，以空气浮起或超声波浮起等方式使基板浮起而对基板进行输送。进而，为了提高生产节拍，还存在具有使涂布膜在基板输送路径上干燥的功能的基板输送装置(例如参照专利文献1)。

这里，图12、图13是以超声波振动方式浮起的基板输送装置的图，图12是从上侧观察的图，图13是从侧面侧观察的图。在该基板输送装置中，进行超声波振动的多张振动板100排列在特定方向(X轴方向)上。并且，在振动板100的背侧具有使形成在基板W上的涂布膜干燥的加热器部103。并且，.该基板输送装置还具有对基板W进行引导的基板引导件101，并构成为：对处于超声波浮起的状态下的基板W进行把持的基板引导件101借助输送单元102而移动，由此基板W一边被加热一边被输送。由此，一边使形成在基板W上的涂布膜干燥一边进行输送。

在这样的基板输送装置中，在相邻的振动板100的彼此之间设置有转乘单元104。即，考虑到因加热器部103的热量而导致的振动板100的热延伸，而在振动板100的彼此之间形成有间隙。由于在形成有该间隙的区域内无浮起力，所以产生了被输送的基板W的高度暂时变低而无法转乘到下游侧的振动板100上的问题、以及基板W 从间隙落下的问题。因此，在该间隙的区域中配置有转乘单元104，能够顺畅地进行基板W的转乘。

如图14所示，该转乘单元104具有喷出空气的空气喷出面部105和对该空气喷出面部105的高度位置进行调节的高度调节部106，空气喷出面部105被高度调节部106支承。并且，能够通过对来自空气喷出面部105的空气喷出量和空气喷出面部105的高度位置进行调节，从而不破坏基板W的输送姿势地进行转乘。具体来说，如图15所示，高度调节部106能够利用多个螺钉107来对空气喷出面部105进行高度调节并固定，通过高度调节部106将空气喷出面部105的高度位置调节为与振动板100的输送面的高度位置达到规定的范围内，并将空气喷出面部105的空气喷出量调节为与振动板100上的基板W的浮起量大致相同。并且，当变更相邻的加热器部103的设定温度(干燥温度)时，支承部件108的热延伸量变化而振动板100的高度位置变化。即，当相邻的振动板100的高度位置成为规定的范围以上时，基板W与振动板100接触，会妨碍基板W的输送(图16)。因此，预先假设出所设定的干燥温度下的热延伸量，并利用螺钉107以相邻的振动板100的高度位置与转乘单元104的高度位置处于规定的范围内的方式进行调节并固定。由此，保持基板W的输送姿势不变地对多张振动板100依次地进行转乘而一边将基板W上的涂布膜干燥一边进行输送(图17)。

专利文献1：日本特开2014-022538号公报

但是，在上述的基板输送装置中，存在转乘单元104的调节较繁杂的问题。即，对于各加热器部103而言，需要与形成涂布膜的涂布液的种类、膜厚相符地将温度调节到最适。因此，需要在每次进行干燥温度的设定温度调节时将转乘单元104的空气喷出面部105的高度位置调节至与该设定温度对应的高度位置。由于该调节要求微米单位的调整，所以存在调节作业繁杂且计划调整作业所需的时间必然变长的问题。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于提供一种基板输送装置，即使是在变更了干燥温度的设定的情况下，也不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。

为了解决上述课题，本发明的基板输送装置，其具有：多张振动板，它们按照特 定的方向排列，并使基板在基板输送面上超声波浮起；以及加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置在使基板浮起的状态下一边对形成在基板上的涂布膜进行干燥一边将基板沿着振动板的排列方向进行输送，该基板输送装置的特征在于，在沿着所述特定的方向相邻的振动板的彼此之间，设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气，并形成基板输送面的一部分；以及支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在所述支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将所述转乘单元以非接触的方式支承在振动板之间，并且将所述振动板的基板输送面与所述输送空气喷出部调整为平滑。

根据上述基板输送装置，在转乘单元的支承延长部中设置有支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部朝向振动板喷出空气，从而转乘单元在振动板之间以非接触的方式被支承，并且维持振动板的基板输送面与输送空气喷出部的平滑性。即，即使在相邻的振动板因热延伸而高度位置变化了的情况下，由于转乘单元借助来自支承空气喷出部的空气而浮起，所以转乘单元的支承延长部始终追随着振动板的高度位置的变化，由此能够将振动板的基板输送面与输送空气喷出部的高度位置维持在规定的范围内。由此，即使在改变了干燥温度的设定的情况下，也能够不进行输送空气喷出部相对于振动板的基板输送面的高度调整而直接进行使用。因此，与以往那样每当变更干燥温度的设定时就对空气喷出面部的高度位置进行机械性调节的情况相比，能够从调节作业的繁杂中解脱，并缩短计划调整作业所需的时间。

并且，可以构成为：所述转乘单元设置为与相邻的振动板之间具有间隙。

根据该结构，即使在振动板受到热量的影响而在基板的输送方向上产生了热延伸变化的情况下，由于能够避免振动板与转乘单元的接触，所以能够抑制因接触而妨碍进行超声波振动的振动板的振动状态。

并且，也可以构成为：所述支承延长部在与振动板相对的面侧隔着轴承部具有支承基台部，所述支承空气喷出部设置在所述支承基台部的与振动板相对侧，通过从支承空气喷出部喷出的空气，在振动板之间以非接触的方式支承所述转乘单元。

根据该结构，即使在因热延伸而导致相邻的振动板高度位置发生了变化的情况下，由于能够维持支承基台部与振动板的面对状态，所以也能够通过从支承空气喷出部喷出的空气来使以非接触的方式被支承的转乘单元的姿势稳定。

根据本发明的基板输送装置，即使在干燥温度的设定发生了变更的情况下，也可以不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。

附图说明

图1是示出本发明的一实施方式的基板输送装置的俯视图。

图2是将上述基板输送装置的1个单元放大的俯视图。

图3是上述基板输送装置的1个单元的侧视图。

图4是上述基板输送装置的1个单元的主视图。

图5是示出已通过基板引导件将基板输送至相邻的载台部上的状态的俯视图。

图6是示出上述基板引导件退避而定位销为突出状态的状态的俯视图。

图7是示出上述基板引导件已复位至原来的位置的状态的俯视图。

图8是示出转乘单元的图。

图9是示出由于加热器部的干燥温度的设定不同而导致转乘单元发生了倾斜的状态的图。

图10是示出其他的实施方式的转乘单元的图。

图11是示出由于加热器部的干燥温度的设定不同而导致其他的实施方式的转乘单元发生了倾斜的状态的图。

图12是以往的基板输送装置的俯视图。

图13是以往的基板输送装置的侧视图。

图14是示出以往的基板输送装置的转乘单元的图。

图15是以往的转乘单元的放大图。

图16是示出由于加热器部的干燥温度的设定不同而导致基板不能转乘至下游侧的振动板的状态的图。

图17是示出即使在加热器部的干燥温度的设定不同的情况下也能够通过对以往的转乘单元的高度进行调节来使基板转乘到下游侧的振动板上的状态的图。

标号说明

1：基板输送装置；2：基板；12：振动板；12a：基板输送面；12c：切除部；12d：支承面；14：定位销；15：加热器部；16：载台部；20：输送单元；30：基板引导件；50：转乘单元；51：输送空气喷出部；52：支承延长部；53：支承空气喷出部。

具体实施方式

使用附图对本发明的基板输送装置的实施方式进行说明。

图1是示出具有加热干燥装置的基板输送装置的俯视图，图2是对具有加热干燥装置的基板输送装置的一部分进行了放大的俯视图，图3是具有加热干燥装置的基板输送装置的一部分的侧视图，图4是具有加热干燥装置的基板输送装置的一部分的主视图。

在图1～图4中，基板输送装置1是以使基板2浮起的状态对其进行输送的装置，该基板输送装置1能够使从上游侧提供的基板2在浮起状态下不改变方向地将其输送至下游侧。另外，在图1中，载台部16A为上游侧，从载台部16A朝向载台部16D输送基板2。

另外，在以下的说明中，将输送基板2的输送方向设为X轴方向，将与该X轴方向在水平面上垂直的方向设为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向这双方均垂直的方向设为Z轴方向来进行说明。

基板输送装置1具有载台单元10和输送单元20，在载台单元10的Y轴方向两侧配置有输送单元20。载台单元10是对基板2进行载置的装置，能够将所载置的基板2保持为浮起的状态。并且，输送单元20一边约束浮起的基板2一边对其在输送方向(也可称为特定的方向)上进行输送。即，提供到载台单元10上的基板2在载台单元10上浮起，并且被设置于输送单元20的基板引导件30约束。并且，通过基板引导件30在X轴方向上行驶，从而在X轴方向上输送基板2。

载台单元10具有多个载台部16，在图1的例子中，通过将载台部16A～16D排列在一个方向上而形成输送路径。另外，在统一示出载台部16A～16D的情况下将其简称为载台部16。

如图3、图4所示，载台部16使所载置的基板2振动浮起，其具有：载置在基台11上并形成为平坦状的振动板12；以及使基板2从该振动板12的正面(基板输送面12a)振动浮起的振动浮起构件13。振动板12是矩形形状的薄的金属制平板状部件，按照水平的姿势配置。即，在图1的例子中，通过将各载台部16A～16D的4张振动板12保持相同高度而配置从而形成输送路径。并且，振动板12具有与所提供的基板2相对的振动板12的基板输送面12a，并且整体形成为平坦状。在本实施方 式中，振动板12的基板输送面12a形成为比基板2大的尺寸，所提供的基板2以整个面不会露出的方式与该振动板12的基板输送面12a相对。

并且，在振动板12的背面12b侧(基板输送面12a的相反侧)，配置有加热器单元15，通过该加热器单元15来使基板2上的涂布膜C干燥。本实施方式的加热器单元15中，以将筒式加热器、铠装加热器插入到矩形的铝框架而形成的装置作为热源，这些加热器配置在以与各振动板12的背面12b相对的方式离开规定的间隔的位置。因此，当在加热器单元15的工作中输送基板2时，基板2因来自振动板12的背面12b的辐射热而被加热，从而形成在基板2上的涂布膜C被干燥。即，在对基板2进行浮起输送的同时进行涂布膜C的干燥。

并且，在振动板12上设置有定位销14，通过该定位销14将输送来的基板2定位在规定的位置。该定位销14在1个振动板12上设置有4根，每两根配置在一条对角线上。具体来说，是配置在当基板2被提供到振动板12上时隔着基板2的对角线处的两个角部分的位置上。即，定位销14根据所输送的基板2的尺寸而配置在基板2与定位销14形成微小的间隙的位置上。

并且，该定位销14能够进行升降动作，在收容状态下，定位销14整体都收容在振动板12下，在突出状态下，定位销14突出至振动板12正面上。因此，当定位销14为收容状态下时提供基板2，当基板2被提供到振动板12的基板输送面12a上时，定位销14成为突出状态，基板2的侧面2a与定位销14接触从而基板2被定位。即，当基板2被提供到振动板12上时，基板2处于浮起且能够自由地移动的状态，但通过定位销14与基板2的侧面2a接触，基板2的移动被约束，基板2被定位在振动板12上的规定的位置(定位范围)上。

并且，振动浮起构件13使所提供的基板2从振动板12的基板输送面12a振动浮起到规定的高度。在本实施方式中，如图3、图4所示，在振动板12的背面12b设置有振子13a，通过该振子13a来施加特定的频率的振动，由此振动板12上的基板2能够从振动板12的基板输送面12a浮起。具体来说，例如当利用超声波使振子13a振动时，该振动被传播，振动板12本身因超声波而振动。由此，在振动板12的基板输送面12a与基板2之间形成有微小的空气层，基板2从振动板12的基板输送面12a浮起。即，当使振子13a以特定的频率振动时，基板2以从振动板12的基板输送面12a浮起至规定的高度位置的状态保持在振动板12上。

并且，输送单元20借助基板引导件30在输送方向上输送振动板12上的基板2。输送单元20具有朝向一个方向延伸的基台11a(参照图4)，以沿着振动板12的输送方向从Y方向侧夹住振动板12的方式设置。并且，输送单元20具有基板引导件30，多个基板引导件30借助基台11a上的输送驱动部40而移动由此能够输送基板2。即，基板引导件30对应于各振动板12而设置，各个基板引导件30能够进行从1个振动板12移动至下一个下游侧的振动板12、然后复位至原来的振动板12的动作。各振动板12的基板引导件30同时进行这样的动作，从而能够在输送方向上输送基板2。

具体来说，当基板2被提供到1个振动板12上时，该基板2被基板引导件30约束(图1的状态)。并且，当通过基板引导件30的移动而将基板2输送至下一个下游侧的振动板12时(图5的状态)，定位销14突出从而约束基板2，并且基板引导件30退避从而将基板2载置在下游侧的振动板12上(图6的状态)。并且，下游侧的基板引导件30复位至上游侧的原来的振动板12的位置(图7的状态)，重新对由上游侧的基板引导件30输送的基板2进行约束。通过在各振动板12上重复进行这些动作，从而在输送方向上输送基板2。即，基板2通过多个基板引导件30的接力方式而被输送。另外，在图1、图5～图7中，定位销14为黑色的情况表示突出状态，为白色的情况表示收容状态。即，在图5中，定位销14为收容状态，在图6、图7中为突出状态。另外，图2的双点划线表示移动后的输送单元20和基板引导件30。

并且，在输送方向(特定方向)上相邻的振动板12的彼此之间设置有转乘单元50。该转乘单元50使基板2顺畅地转乘到下游侧的振动板12上。如图8所示，转乘单元50具有喷出空气的输送空气喷出部51以及被相邻的振动板12支承的支承延长部52，在支承延长部52被振动板12支承的状态下使空气从输送空气喷出部51喷出，由此能够使输送来的基板2浮起。即，在支承延长部52被相邻的振动板12支承的状态下，输送空气喷出部51被设定为与振动板12的基板输送面12a的高度位置大致相同的高度位置，并从输送空气喷出部51喷出空气。由此，在振动板12上浮起并被输送来的基板2保持其浮起高度不变地通过转乘单元50而输送至下游侧的振动板12。

在转乘单元50中延伸设置有主体部50a以及从该主体部50a起被振动板12支承的支承延长部52。即，支承延长部52从主体部50a朝向水平方向两侧延伸，转乘单元50的截面形成为T字状。在图8的例子中，转乘单元50的Y轴方向尺寸形成为与相邻的振动板12的Y轴方向尺寸相同的尺寸，在支承延长部52被振动板12支承 的状态下，主体部50a被配置在振动板12之间。并且。在转乘单元50与相邻的振动板12之间形成有规定的间隙。即，该间隙是考虑到振动板12因加热器部15的热量而发生了热膨胀时的热延伸量而设置的，即使在产生了热延伸的情况下也不会与振动板12接触地被支承。

输送空气喷出部51是提供使基板2浮起的空气的部位，形成为平滑的平板形状。该输送空气喷出部51以在被支承于振动板12之间的状态下与振动板12的基板输送面12a处于大致相同的高度的方式形成，并作为基板输送面12a的一部分而构成。这里，大致相同的高度是指：相对于振动板12的基板输送面12a的高度位置，将输送空气喷出部51的高度位置设定在规定的范围内，该范围是指即使产生了微小的阶差，基板2也不会卡住或者落下，不会对基板2的顺畅的输送造成问题。并且，输送空气喷出部51由多孔质烧结体形成，如图8的箭头所示，通过主体部50a而被提供的空气从多孔质烧结体的孔喷出。能够通过该喷出的空气来使所输送的基板2浮起。并且，能够通过对所喷出的空气量进行调节而对基板2的浮起高度进行调节。在本实施方式中，基板2的浮起高度被调整为与在利用超声波振动而浮起的振动板12上的浮起高度大致相同的高度。

支承延长部52是被振动板12支承的部分，形成为从主体部50a朝向一个方向延伸。具体来说，在振动板12的输送方向的端部形成有切除部12c，形成为在比基板输送面12a靠加热器部15侧的位置成为凹陷的形状。该切除部12c在比基板输送面12a低的位置形成有与基板输送面12a平行的支承面12d，支承延长部52被该支承面12d支承。并且，在支承延长部52上设置有朝向输送空气喷出部51的相反侧喷出空气的支承空气喷出部53，在转乘单元50被振动板12支承的状态下，支承空气喷出部53与支承面12d相面对。当在该状态下从支承空气喷出部53喷出空气时，转乘单元50借助来自支承空气喷出部53的空气压而稍微从支承面12d浮起，能够利用振动板12的切除部12c以非接触的方式支承转乘单元50。在本实施方式中，设定为：在转乘单元50以非接触的方式被支承的状态下，输送空气喷出部51与输送面的高度位置处于规定的范围内。由此，转乘单元50能够以不妨碍振动板12的振动状态的方式被支承。

这里，当因加热器部15的干燥温度的设定而导致相邻的振动板12的热膨胀不同时，相邻的振动板12的高度位置会变化。但是，由于支承延长部52与相邻的振动板 12的支承面12d重叠，所以虽然转乘单元50整体成为倾斜的姿势，但是转乘单元50被来自设置于支承延长部52的支承空气喷出部53的空气压以非接触的方式支承。具体来说，如图9所示，即使在转乘单元50已变形为发生了倾斜的状态的情况下，支承延长部52也被振动板12的切除部12c以非接触的方式支承。并且，由于支承倾斜部形成为延伸到振动板12，所以与以往的转乘单元50相比，能够较大地设定输送方向的尺寸，与以往的转乘单元50那样完全配置在振动板12之间的情况相比，即使变形为倾斜姿势也能够减小相对于基板输送面12a突出的部分以及凹陷的部分的Z方向尺寸的变化量。即，能够将已变为倾斜姿势的转乘单元50的Z方向的尺寸差限制在振动板12之间的高度位置上的规定的范围内。因此，即使是在变更了加热器部15的干燥温度的设定的情况下，也不需要进行转乘单元50的高度位置的调整，能够省掉以往的繁杂的调节作业。

以上，根据上述说明的基板输送装置，由于在转乘单元50的支承延长部52中设置有支承空气喷出部53，从该支承空气喷出部53朝向振动板12喷出空气，所以一边使转乘单元50在振动板12之间以非接触的方式被支承，一边维持振动板12的基板输送面12a与输送空气喷出部51的平滑性。即，即使在因热延伸而导致相邻的振动板12高度位置发生了变化的情况下，由于转乘单元50借助来自支承空气喷出部53的空气而浮起，所以转乘单元50的支承延长部52始终追随着振动板12的高度位置的变化，由此能够将振动板12的基板输送面12a与输送空气喷出部51的高度位置维持在规定的范围内。由此，即使在改变了干燥温度的设定的情况下，也能够不进行输送空气喷出部51相对于振动板12的基板输送面12a的高度调整而直接进行使用。因此，与以往那样每当变更干燥温度的设定时就对空气喷出面部的高度位置进行机械性调节的情况相比，能够从调节作业的繁杂中解脱，并缩短计划调整作业所需的时间。

并且，在上述实施方式中，对支承延长部52形成为沿着一个方向延伸、且在与振动板12的支承面12d相对的位置处设置支承空气喷出部53的例子进行了说明，但是也可以使支承延长部在振动板12的支承面12d侧具有支承基台部61，并将支承空气喷出部53设置于该支承基台部61。具体来说，如图10所示，支承基台部61为平板状的部件，借助球面轴承62而设置在支承延长部52的支承面12d侧。即，采用了在支承延长部52的沿输送方向延伸的部分与支承基台部61通过球体来连结的构造，支承基台部61能够相对于支承延长部52的沿着输送方向延伸的部分倾斜。并且，在 支承基台部61的与支承面12d相对的部分设置有支承空气喷出部53，朝向支承面12d喷出空气。具体来说，支承基台部61的支承面12d侧由多孔质部件形成，多孔质部件与主体部50a通过具有挠性的硅管(未图示)来连结。并且，当从主体部50a提供空气时，通过硅管向多孔质部件提供空气，并从多孔质部件朝向支承面12d喷出空气。

根据这样的结构，即使在因热延伸而导致相邻的振动板12的高度位置向上方发生了变化的情况下，也能够通过从支承空气喷出部53喷出的空气来使以非接触的方式被支承的转乘单元50的姿势稳定。即，如图11所示，当因热延伸而导致振动板12的高度位置发生变化时，振动板12(支承面12d)与支承空气喷出部53的间隙变小，该间隙处的空气压变高。其结果是，虽然支承基台部61向上方移位，但通过配置在支承基台部61与支承延长部52的沿输送方向延伸的部分之间的球面轴承62，虽然支承延长部52的沿输送方向延伸的部分和主体部50a变为倾斜姿势，但支承基台部61的姿势保持不变，能够维持支承空气喷出部53与支承面12d的面对姿势。因此，与如上述实施方式那样支承延长部52以沿着一个方向延伸的方式形成、且在支承延长部52的与振动板12的支承面12d相对的位置处设置支承空气喷出部53的情况相比，能够使以非接触的方式被支承的转乘单元的姿势稳定。