专利名称：一种硅片烘干隧道的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片湿法处理清洗设备，尤其涉及起干燥作用的一种硅片烘 干隧道。
背景技术：
近年来太阳能产业作为一种新能源技术得到快速发展，但作为新兴的技术密集型 产业，其在诸多技术环节还存在不足。其中，在太阳能电池片湿法处理设备中，为使硅片表 面干燥，大多采用甩干机除去清洗后硅片表面水分，容易使硅片破碎。
发明内容本实用新型为了解决现有甩干机干燥硅片容易使硅片破碎的缺陷，提供一种硅片 烘干隧道它能在干燥硅片同时，避免硅片剧烈运动，防止硅片破碎。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案一种硅片烘干隧道，包括中 空的干燥箱体，所述干燥箱体内上方为设有箱体进风口和多个加热管，干燥箱体内下方设 有箱体出风口 ；在干燥箱体左右两端设有相贯通的开口，穿过两开口设有延伸至干燥箱体 左侧和右侧的输送链条。所述干燥箱体外部还设有风机和相应风管；箱体进风口通过风管与风机的吹风口 相连；箱体出风口与风机吸风口相连，此处相连风管上还设有新风入口，用于补充烘干过程 中的风量损失。所述多个加热管横向并排排列，且位于箱体进风口的下方。所述干燥箱体、风机及相应风管均设置在一封闭机箱内，所述输送链条左右侧分 别穿透封闭机箱的两侧。烘干隧道在烘干过程中，输送链条将待烘干的清洗篮输(硅片的载体)送进隧道 内，风机产生的冷风从上部进箱体风口进入箱体，经过上部排列的加热管时，加热管将冷风 加热，热风吹过下方工件，从而达到工件的烘干效果。本实用新型通过将干燥箱体连接风机，并在箱体上设置加热管和输送链条等元 件，使工件在清洗之后既能达到充分干燥的效果，且风干过程中链条输送无剧烈运动避免 了硅片碎裂。
以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明
图1为本实用新型主视方向剖视结构示意图；图2为
图1左视方向剖视结构示意图。
具体实施方式
如
图1、图2所示一种硅片烘干隧道，其结构为烘干隧道主要由干燥箱体1、风机8，加热管4和输送链条5等部分组成。干燥箱体1两端开口，分别为清洗篮3的进口和出 口，开口之间部分贯通，清洗篮3的进出由输送链条5输送。干燥箱体1上方为箱体进风口 2和加热管4，下方为箱体出风口 9。干燥箱体1外部，箱体进风口 2通过风管6与风机8的 吹风口相连，箱体出风口 9与风机吸风口相连，此处相连风管设有新风入口 7，用于补充烘 干过程中的风量损失。优选方案中所述多个加热管4横向并排排列，且位于箱体进风口 2 的下方。干燥箱体1、风机8及相应风管6均设置在一封闭机箱内，所述输送链条5左右侧 分别穿透封闭机箱的两侧。本专利产品硅片烘干隧道在烘干过程中，输送链条5将待烘干 的清洗篮3输送进隧道内，风机8产生的冷风从上部进箱体风口 2进入箱体，经过上部排列 的加热管4时，加热管4将冷风加热，热风吹过下方工件，从而达到工件的烘干效果。
权利要求一种硅片烘干隧道，包括中空的干燥箱体(1)，其特征在于所述干燥箱体(1)内上方为设有箱体进风口(2)和多个加热管(4)，干燥箱体(1)内下方设有箱体出风口(9)；在干燥箱体(1)左右两端设有相贯通的开口，穿过两开口设有延伸至干燥箱体(1)左侧和右侧的输送链条(5)。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干隧道，其特征在于所述干燥箱体(1)外部还设有 风机(8)和相应风管(6)；箱体进风口(2)通过风管(6)与风机(8)的吹风口相连；箱体出 风口(9)与风机(8)吸风口相连，此处相连风管上还设有新风入口(7)。
3.根据权利要求1或2所述的硅片烘干隧道，其特征在于所述多个加热管(4)横向 并排排列，且位于箱体进风口(2)的下方。
4.根据权利要求2所述的硅片烘干隧道，其特征在于所述干燥箱体(1)、风机(8)及 相应风管(6)均设置在一封闭机箱内，所述输送链条(5)左右侧分别穿透封闭机箱的两侧。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片烘干隧道，应用于硅片湿法处理清洗设备，它包括中空的干燥箱体，所述干燥箱体内上方为设有箱体进风口和多个加热管，干燥箱体内下方设有箱体出风口；在干燥箱体两左右两端设有相贯通的开口，穿过两开口设有延伸至干燥箱体左侧和右侧的输送链条。本实用新型使工件在清洗之后既能达到充分干燥的效果，且风干过程中无剧烈运动避免了硅片碎裂。
文档编号F26B21/00GK201607100SQ20102005662
公开日2010年10月13日 申请日期2010年1月15日 优先权日2010年1月15日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司