均温板结构及其制造方法与流程

本发明属于一种均温板结构及其制造方法，尤其涉及一种可大幅降低制造成本的均温板结构及其制造方法。

背景技术：

随现行电子设备逐渐以轻薄作为标榜的宣传，所以各项元件皆须随的缩小尺寸，但电子设备的尺寸缩小伴随而来产生的热，变成电子设备与系统改善性能的主要障碍。无论形成电子元件的半导体尺寸不断地缩小，仍持续地要求增加性能。当半导体尺寸缩小，结果热通量增加，热通量增加所造成将产品冷却的挑战超过仅仅是全部热的增加，因为热通量的增加造成在不同时间和不同长度尺寸会过热，可能导致电子故障或损毁。所以本领域技术人员为解决上述现有技术因散热空间狭小的问题，以一种vc(vaporchamber)heatsink置于chip上方作为散热器使用，为了增加毛细极限，利用铜柱coating烧结、烧结柱、发泡柱等毛细结构用来支撑作为回流道，但由于微均温板上下壁厚较薄(1.5mm以下应用)，利用上述此毛细结构作为支撑的习知结构于应用在微均温板上，会造成该微均温板在有铜柱、烧结柱或发泡柱的地方才有支撑，而其余未设有的处即形成塌限或凹陷，造成该微均温板结构的整体平面度与强度无法维持，因此无法实现薄型化。上述均温板中的工作流体当由蒸发区域受热域产生蒸发，工作流体由液态转换为汽态，汽态的工作流体至均温板的冷凝区域后由汽态冷凝转化成为液态，再回流到蒸发区域继续循环，均温板的冷凝区域通常为光滑面，又或者为具有烧结的毛细结构态样，汽态的工作流体在该冷凝区域冷凝成液态小水珠状后，因重力或毛细结构的关系使得可回流至蒸发区域，但前述习知冷凝区域的结构由于系呈光滑面，致使冷凝后的液态水珠需储至一定容积方才依重力垂滴，造成其回流效率实显不足，且因液态工作流体回流速率过慢，使得蒸发区域中无工作流体而产生干烧的状态，令热传导效率大幅降低；若为加强工作流体的回流效率则增设毛细结构则为习知不可或缺的结构，但此一毛细结构(如烧结体或网格)的设置则令均温板无法实现薄型化的功效。

薄型化热板主要是通过蚀刻的方式于该板体开设沟槽做毛细结构或于板体上形成支撑结构，但由于蚀刻的缺点为精度不佳，以及加工时耗费时间，令薄型化热板或均温板制造成本无法降低。

技术实现要素：

本发明为解决上述现有技术的缺点，提供一种可降低制造成本的均温板结构。

本发明的另一目地是提供一种可大幅降低均温板制造成本的均温板制造方法。

为达上述目的本发明提供一种均温板结构，包括：一本体，具有一冷凝区及一蒸发区及一腔室，所述冷凝区及该蒸发区分设于该腔室的两侧；一凸部，系选择由该蒸发区或冷凝区其中任一凸起所构形；一毛细结构，设于前述腔室表面；一工作流体，填充于前述腔室内。

所述凸部具有多个凸体，所述凸体由该蒸发区向相反该蒸发区的方向延伸所构成，该本体相邻所述凸体的周边处对应呈凹状。

所述凸部具有多个凸体，所述凸体是由该冷凝区向相反该冷凝区的方向延伸所构成，该本体相邻所述凸体的周边处对应呈凹状。

所述本体具有一第一板体及一第二板体所述第一、二板体对应盖合并共同界定前述腔室，所述冷凝区设于该第一板体一侧，该蒸发区设于该第二板体一侧。

所述本体为一扁状管体。

所述凸体具有一自由端，该自由端与该冷凝区相连接，即所述凸体与该冷凝区间具有前述毛细结构。

所述凸部具有多个凸体，所述凸体是由该蒸发区向相反该蒸发区的方向延伸所构成，该本体相反所述凸体的另一侧处对应呈凹状。

所述凸部具有多个凸体，所述凸体是由该冷凝区向相反该冷凝区的方向延伸所构成，该本体相反所述凸体的另一侧处对应呈凹状。

为达上述目的本发明提供一种均温板结构制造方法，系包含下列步骤：提供一第一板体及一第二板体；通过机械加工的方式选择于前述第一、二板体其中任一成型至少一凸体；将第一、二板体对应盖合，将其四周围封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

一种均温板结构制造方法，包含下列步骤：提供一第一板体及一第二板体；通过机械加工的方式选择于前述第一、二板体其中任一成型至少一凸体；将第一、二板体对应盖合，将其四周围封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

所述机械加工选择为冲压加工或压花加工或锻造加工或滚辗加工或刻印加工或铸造加工其中任一。

所述通过机械加工的方式选择于前述第一、二板体其中任一成型至少一凸体此一步骤后更具有一步骤，于该第一、二板体相对应的一侧成型毛细结构。

本发明提供一种均温板结构制造方法，包含下列步骤：提供一扁平管体；通过机械加工的方式于前述管体内部一侧成型至少一凸体；将该管体两端封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

所述通过机械加工的方式于前述管体内部一侧成型至少一凸体此一步骤后更具有一步骤于该管体内部成型一毛细结构。

所述机械加工是选择为冲压加工或压花加工或锻造加工或滚辗加工或刻印加工或铸造加工其中任一。

通过本发明可大幅降低均温板的制造成本，并进一步可提升制造精度者。

附图说明

图1为本发明均温板结构第一实施例的立体分解图；

图2为本发明均温板结构第一实施例的立体组合图；

图3为本发明均温板结构第一实施例的剖视图；

图4为本发明均温板结构第二实施例的剖视图；

图5为本发明均温板结构第三实施例的剖视图；

图6为本发明均温板结构第四实施例的剖视图；

图7为本发明均温板结构制造方法第一实施例的步骤流程图；

图8为本发明均温板结构制造方法第二实施例的步骤流程图；

图9为本发明均温板结构制造方法第三实施例的步骤流程图；

图10为本发明均温板结构制造方法第四实施例的步骤流程图。

主要符号说明：

本体11

第一板体11a

第二板体11b

凸部111

凸体1111

自由端1111a

毛细结构2

工作流体3

冷凝区112

蒸发区113

腔室114。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述：

本发明的上述目的及其结构与功能上的特性，将依据所附图式的较佳实施例予以说明。

请参阅图1、2、3，为本发明均温板结构第一实施例的立体分解及组合与剖视图，如图所示，所述均温板结构，系包含：一本体11、一凸部111、一毛细结构2、一工作流体3；

所述本体11具有一冷凝区112及一蒸发区113及一腔室114，并所述本体11更具有一第一板体11a及一第二板体11b所述第一、二板体11a、11b对应盖合并共同界定前述腔室114，所述冷凝区112设于该第一板体11a一侧，该蒸发区113设于该第二板体11b一侧，即所述冷凝区112及该蒸发区113分设于该腔室114的两侧并相互对应。

所述凸部111系选择由该蒸发区113或冷凝区112其中任一或二者(蒸发区113、冷凝区112)都凸起所构形，本实施例的所述凸部111具有多个凸体1111，所述凸体1111系由该蒸发区113向相反该蒸发区113的方向延伸所构成，并该凸体1111具有一自由端1111a，该自由端1111a与前述冷凝区112连接，该本体11相邻所述凸体1111的周边处系对应呈凹状，本实施例的所述凸体1111系通过压浮花法所成型，故所述凸体1111的另一侧系呈平坦状。

所述毛细结构2设于前述腔室114表面，即所述凸体1111与该冷凝区112间具有前述毛细结构2，该工作流体3填充于前述腔室114内。

请参阅图4，系为本发明均温板结构第二实施例的剖视图，如图所示，本实施例与前述第一实施例部分结构技术特征相同，故在此将不再赘述，惟本实例与前述第一实施例的不同处系为所述蒸发区113的多个凸体1111相对的另一侧是呈凹状。

请参阅图5，为本发明均温板结构第三实施例的剖视图，如图所示，本实施例系与前述第一实施例部分结构技术特征相同，故在此将不再赘述，惟本实例与前述第一实施例的不同处是为所述凸部111具有多个凸体1111，所述凸体1111是由该冷凝区112向相反该冷凝区112的方向延伸所构成，该本体11相邻所述凸体1111的周边处对应呈凹状。

请参阅图6，为本发明均温板结构第四实施例的剖视图，如图所示，本实施例是与前述第一、二、三实施例部分结构技术特征相同，故在此将不再赘述，惟本实例与前述第一、二、三实施例的不同处为所述本体11系为一扁状管体。

请参阅图7，为本发明均温板结构制造方法第一实施例的步骤流程图，并一并参阅前述图1～6，如图所示，所述均温板结构制造方法，包含下列步骤：

s1：提供一第一板体及一第二板体；

提供一第一板体11a及一第二板体11b，所述第一、二板体11a、11b是为导热性质较佳的材料，如铜或铝材质。

s2：通过机械加工的方式选择于前述第一、二板体其中任一成型至少一凸体；

通过以机械加工的方式选择于前述第一、二板体11a、11b其中任一上成型至少一凸体1111，所述机械加工可选择为冲压加工或压花加工或锻造加工其中任一，所述冲压加工亦可选择以压浮花法或压模法或打凸法其中任一方式形成该凸体。

s3：将第一、二板体对应盖合，将其四周围封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

将通过机械加工成型凸体1111后将第一、二板体11a、11b对应盖合，并将该第一、二板体11a、11b以焊接或扩散接合的方式进行封闭，并进行抽真空以及填入工作流体3等作业。请参阅图8，为本发明均温板结构制造方法第二实施例的步骤流程图，并一并参阅图1～6，如图所示，所述均温板结构制造方法，包含下列步骤：

s1：提供一第一板体及一第二板体；

s2：通过机械加工的方式选择于前述第一、二板体其中任一成型至少一凸体；

s3：将第一、二板体对应盖合，将其四周围封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

本实施例部分步骤与前述第一实施例相同，故在此将不再赘述，惟本实施例与前述第一实施例的不同处系为所述步骤s2：通过机械加工的方式选择于前述第一、二板体其中任一成型至少一凸体此一步骤后更具有一步骤s4：。

所述毛细结构2可选用烧结粉末结构或置入网格体或开设沟槽的方式于该第一、二板体11a、11b另外设置毛细结构2。

请参阅图9，为本发明均温板结构制造方法第三实施例的步骤流程图，并一并参阅图1～6，如图所示，所述均温板结构制造方法，包含下列步骤：

a1：提供一扁平管体；

提供至少一端为开放状的扁平状管体。

a2：通过机械加工的方式于前述管体内部一侧成型至少一凸体；

通过以机械加工的方式选择于前述管体内部一侧成型至少一凸体1111，所述机械加工是可选择为冲压加工或压花加工或锻造加工其中任一，所述冲压加工也可选择以压浮花法或压模法或打凸法其中任一方式形成该凸体1111。

a3：将该管体两端封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

将通过机械加工成型凸体后该扁平管体呈开放状的一端以焊接或扩散接合的方式进行封闭，并进行抽真空以及填入工作流体等作业。

请参阅图10，为本发明均温板结构制造方法第四实施例的步骤流程图，并一并参阅图1～6，如图所示，所述均温板结构制造方法，包含下列步骤：

a1：提供一扁平管体；

a2：通过机械加工的方式于前述管体内部一侧成型至少一凸体；

a3：将该管体两端封闭并进行抽真空与填入工作流体的作业。

本实施例部分步骤系与前述第三实施例相同，故在此将不再赘述，惟本实施例与前述第一实施例的不同处系为步骤a2：通过机械加工的方式于前述管体内部一侧成型至少一凸体此一步骤后更具有一步骤a4：于该管体内部成型一毛细结构2，所述毛细结构2可选用烧结粉末结构或置入网格体或开设沟槽的方式于该管体内部另外设置毛细结构2。

以上实施例中所述的机械加工均可选择为冲压加工或压花加工或锻造加工或滚辗加工或刻印加工或铸造加工其中任一。

通过本发明的均温板结构及其制造方法可进一步提供一种可节省制造工时以及提升制造精度的均温板结构以及制造方法。