设置多个热排管22的情况下，进气管21只设置于其中一个热排管22之内。如图2所示，进气管21由热排管22的底部开口伸出热排管22内，并由热排管22的顶部开口伸入热排管22，使气体通入腔体23，本实施例中的进气管21、热排管22和腔体23连接之处均为密封连接。进气管21与热排管22中间设有隔层，使热排管22中的废气通过。通常情况下中，腔体23中放置要加热的基板，热排管22设置于周边，贴近腔体23侧壁的位置，以充分利用腔体内23的空间。
[0030]在具体实施时，由于加热炉的腔体23中温度较高，热排管22设置于腔体23之内，腔体23中的废气通过热排管22，使得热排管22内的温度也较高。工艺气体由进气管21的进气口进入进气管21，进气管21设置于热排管22的内部，进气管21从热排管22的底部开口伸入热排管22内，并从热排管22的顶部开口伸出，可以充分利用热排管22内部的温度使进气管21内的工艺气体预加热，工艺气体在进气管21内经过一段距离的流动，温度得到提高，并达到腔体23内的温度，实现了腔体23内温度均匀的效果。
[0031]工艺气体一般为惰性气体，将工艺气体通入腔体23内，将工艺气体分子作为携带热量的介质，使腔体23内的热量分布更为均匀，从而使腔体23内的基板受热更为均匀。
[0032]本实施例的加热炉通过将进气管21的靠近出气口的部分设置于热排管22内部，使进气管21中的工艺气体通过热排管内的热量进行预加热，从而提高了能源利用效率，减少了能量消耗。
[0033]图3为本实用新型的加热炉的实施例二的示意图，本实施例的加热炉在上述实施例一的基础上，进一步更加详细地介绍本实用新型的技术方案。如图3所示，本实施例的加热炉，在图2所示的实施例一的基础上进一步可以包括:
[0034]为能够根据实际情况调节通入进气管21的工艺气体的流量，在进气管21伸出腔体23的部分设置有调节阀25。
[0035]在具体实施时，进气管21伸出腔体23的部分，具体是进气管21的进气口附近，以调节进入进气管21的工艺气体的流量。
[0036]由于进入进气管21的工艺气体在提纯处理操作时，可能混有水蒸汽，因此，可以设置过滤器26可以将工艺气体中的水蒸气过滤掉，例如，在进气管21伸出腔体23的部分还设置有过滤器26，过滤器26设置于调节阀25和热排管22之间。
[0037]进一步可选地，进气管21伸出腔体23的部分还设置有流量计27，流量计27设置于调节阀25与过滤器26之间。
[0038]在具体实施时，需要统计进入腔体23内的工艺气体的流量，因此在调节阀和过滤器26之间设置有流量计27。
[0039]进一步可选地，热排管22伸出腔体23之外的部分还设置有尾气处理单元28。
[0040]在具体实施时，腔体23内设置的热排管22伸出腔体23之外的部分设置尾气处理单元28，对热排管22排出的废气进行处理，分解成无污染的气体后，再排入大气。
[0041 ] 进一步可选地，尾气处理单元28的输出端还设置有风机29。
[0042]在具体实施时，尾气处理单元28处理后的废气仍为温度较高的气体，由风机29对该气体进行冷却后再排入大气，以减低温度效应。
[0043]进一步可选地，工艺气体为氮气，即进气管21内通入氮气。
[0044]在具体实施时，由于腔体23内温度较高，所输入的工艺气体最好是较稳定的惰性气体，最好是氮气。当然还包括其他能实现本发明目的的惰性气体。
[0045]具体地，如图3所示，本实用新型的加热炉的工作流程如下:氮气由进气管21的进气口端进入进气管21，经过调节阀25调节氮气至合适的流量后，通过流量计27计量所通放氮气的流量，再通过过滤器26滤除氮气中的水气后，氮气进入位于热排管22内部的那段进气管21，通过热排管22的热量的热传导作用使氮气预加热后，由热排管22的顶部开口进入腔体23内，腔体23内的氮分子作为热传导的介质，使腔体23内放置的基板受热更均匀，从而使基板上的光刻胶或封框胶固化得更为均匀。
[0046]本实施例的加热炉通过设置调节阀25、过滤器26、流量计27等使进入进气管21的工艺气体更好的控制流量，以及滤除水气;对热排管22所排出的废气进行尾气处理和冷却处理再排入大气，以减少大气污染，减少温室效应。
[0047]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种加热炉，其特征在于，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体， 所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之间留有间隙。2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述热排管固定设置于所述腔体内部，且沿竖直方向贴合于所述腔体的侧壁。3.根据权利要求2所述的加热炉，其特征在于，所述腔体内设置有至少一层用于放置基板的支架。4.根据权利要求3所述的加热炉，其特征在于，所述支架由石英或不锈钢制成。5.根据权利要求4所述的加热炉，其特征在于，所述进气管伸出所述腔体的部分设置有调节阀。6.根据权利要求5所述的加热炉，其特征在于，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有过滤器，所述过滤器设置于所述调节阀和所述进气管与腔体的接合处之间。7.根据权利要求6所述的加热炉，其特征在于，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有流量计，所述流量计设置于所述调节阀与所述过滤器之间。8.根据权利要求7所述的加热炉，其特征在于，所述热排管伸出所述腔体之外的部分还设置有尾气处理单元。9.根据权利要求8所述的加热炉，其特征在于，所述尾气处理单元的输出端还设置有风机。10.根据权利要求4-9任一项所述的加热炉，其特征在于，所述进气管内通入氮气。
【专利摘要】本实用新型的加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体，所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之间留有间隙。本实用新型的加热炉通过将进气管的靠近出气口的部分设置于热排管内部，使进气管中的工艺气体通过热排管内的热量进行预加热，从而提高了能源利用效率，减少了能量消耗。
【IPC分类】F26B9/06, F26B21/00, F26B25/00
【公开号】CN205332695
【申请号】CN201620086036
【发明人】胡贤夫, 陈策, 孙健, 孙静, 蔡灿
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2016年1月28日