专利名称：硝酸精馏装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及化工设备领域，更具体说是一种精馏硝酸的装置。
背景技术：
我国的电子工业在飞速发展，因此，芯片制造行业也在突飞猛进，而用于芯片的清 洗和腐蚀，需要超高纯的硝酸，一个浓度大于68wt%的硝酸源，它的纯度对芯片的成品率， 起着关键性的作用，随着科技不断地发展，芯片的氧化膜越来越薄，对硝酸的要求也越来越 高，虽然目前已有超高纯硝酸的制备工艺出现，如亚沸蒸馏法、精馏法，但设备投资大，生产 工艺复杂，非一般化工厂所能接受。
发明内容本实用新型的目的是为了弥补上述之不足，提供一种生产工艺简单、投入资金不 大的硝酸精馏装置。本实用新型的技术方案如下所述一种硝酸精馏装置，由塔釜、螺旋管、吸附材料 组成，其特征在于塔釜内装有螺旋管，螺旋管的蒸气的进出管，安装在塔釜外，塔釜下为 硝酸进口端，塔釜上端为连接管，连接管上端装有吸附过滤室，室的上下均有一块带孔的隔 板，隔板中间装有吸附材料，过滤室上端，通过管子与冷凝器上端相接，冷凝器内装有螺旋 管，螺旋管两端为冷却水进出口，冷凝器下端为成品酸输出管，本实用新型均用耐腐耐高温 玻璃或有机玻璃制成。本实用新型的优点生产工艺简单、投入资金少、硝酸的纯度高，质量可以达到美 国半导体标准。
附图为本实用新型的结构示意图。
以下结合附图对本实用新型作进一步阐述。
具体实施方式
参见图，塔釜1内装有螺旋管2，螺旋管的蒸气进3出4管，安装在塔釜外，塔釜下 为硝酸进口 5端，塔釜上端为连接管6，连接管上端装有吸附过滤室7，室的上下均有一块带 孔的隔板8、9，隔板中间装有吸附材料10，过滤室上端，通过管子11与冷凝器12上端相接， 冷凝器内装有螺旋管13，螺旋管两端为冷却水进出口 14、15，安装在冷凝器外，冷凝器下端 为成品酸输出管16，本实用新型均用耐腐耐高温玻璃或有机玻璃制成。
权利要求一种硝酸精馏装置，由塔釜、螺旋管、吸附材料组成，其特征在于塔釜(1)内装有螺旋管(2)，塔釜下为硝酸进口(5)端，塔釜上端为连接管(6)，连接管上端装有吸附过滤室(7)，室的上下均有一块带孔的隔板(8)、(9)，隔板中间装有吸附材料(10)，过滤室上端，通过管子(11)与冷凝器(12)上端相接，冷凝器内装有螺旋管(13)，冷凝器下端为成品酸输出管(16)。
2.按权利要求1所述的硝酸精馏装置，其特征在于螺旋管的蒸气进(3)出(4)管及 冷凝器螺旋管两端的冷却水进出口(14)、(15)，均安装在塔釜外及冷凝器外。
3.按权利要求1所述的硝酸精馏装置，其特征在于本实用新型均用耐腐耐高温玻璃 或有机玻璃制成。
专利摘要一种硝酸精馏装置，由塔釜、螺旋管、吸附材料组成塔釜(1)内装有螺旋管(2)，塔釜下为硝酸进口(5)端，塔釜上端为连接管(6)，连接管上端装有吸附过滤室(7)，室的上下均有一块带孔的隔板(8)、(9)，隔板中间装有吸附材料(10)，过滤室上端，通过管子(11)与冷凝器(12)上端相接，冷凝器内装有螺旋管(13)，冷凝器下端为成品酸输出管(16)。本实用新型解决了目前生产超高纯硝酸的制备工艺设备投资大，生产工艺复杂之不足。具有生产工艺简单、投入资金少、硝酸的纯度高等优点，质量可以达到美国半导体标准。
文档编号B01D3/14GK201551864SQ200920256068
公开日2010年8月18日 申请日期2009年12月2日 优先权日2009年12月2日
发明者吴建良 申请人:昆山晶科微电子材料有限公司