专利名称：一种新型hmds预处理设备尾气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种HMDS预处理设备尾气处理的装置。这种装置能够对HMDS预处理设备所排尾气中的氨气、未分解的HMDS进行吸收，设备结构简单，降低设备使用厂家在环境方面的大量投资，易于普及，减少了尾气对环境的污染。
背景技术：
目前，在半导体、集成电路、光学镜片制造等需要淀积或生长一层或多层薄膜材料，涂覆光刻胶将设计图案转移到基片如硅片、镜片上来。当基片上含有微量的水分时，在随后的工序里，水分将导致光刻胶与基片粘附不牢，从而引起显影、腐蚀中出现侧向效应。 其因由为绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。为解决这个问题，在涂覆光刻胶之前，人们需将基片放入HMDS预处理设备中进行预处理，其目的在于降低HMDS处理后的硅片与光刻胶的接触角，进而降低勻胶时光刻胶在硅片表面铺展开的难度，提高光刻胶与硅片的黏附性。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。HMDS预处理时，首先将基片加热到80°C _200°C，去除硅片表面的水分，然后HMDS 与表面的OH —反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。正如前文所述，HMDS预处理时，HMDS用量约3 50ml。工作后大部分转化为NH3。 NH3、多余的未分解的HMDS蒸汽(尾气)将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道。在很多实验室、小型工厂、科研教学单位，并无专用废气收集管道，尾气直接排放到大气之中，因 HMDS是很强的致癌、致病物质，被列为极高毒性物质，如直接排放会对环境造成很大污染。专用废气收集设备、系统，投资、维护较大。如果要求实验室、小型工厂、科研教学单位配备专用废气收集设备、系统存在投资大、维护难的问题。
发明内容本实用新型涉及一种HMDS预处理设备尾气处理的装置，这种装置能够对HMDS预处理设备尾气的尾气中的氨气、未分解的HMDS进行吸收，降低设备使用厂家在环境方面的大量投资，减少了尾气对环境污染危害。本实用新型是由尾气入口(1)、洗涤塔(2)、倒U形短节(3)、气液分离器(4)、回收管道(5)、洗涤槽(6)、与储酸罐连接管(7)等组成。设置的倒U形短节(3)使得洗涤塔(2) 的尾气排放口朝下，气液分离器(4)通过回收管道(6)与洗涤槽(5)相连。气液分离器(4)回收尾气中的氨气、磷酸、磷酸铵，减少环境污染。[0010]洗涤塔(2)由其壳体(8)、磷酸喷雾器(9)、循环泵(10)、连接管道(12)组成。磷酸喷雾器(9)的作用在于将循环泵(10)泵到得磷酸雾化，向下喷洒，与尾气入口(1)导入的上升的尾气充分反应，将尾气中有害物质俘获，吸收尾气中的氨和HMDS气体。本实用新型的有益效果是，结构简单，配置合理，能够将尾气中有害物质氨气、 HMDS蒸气充分吸收，工作介质如酸能够与气体分离，之后重复利用。快捷简单投资少，见效快，降低了 HMDS尾气对环境的污染。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是HMDS预处理设备尾气处理装置的结构图。在
图1中，(1)为尾气入口，(2)为洗涤塔，(3)为倒U形短节，(4)为气液分离器， (5)为回收管道，(6)为洗涤槽，(7)为与储酸罐连接管，(8)为洗涤塔(2)的由其壳体，(9) 为磷酸喷雾器，(10)为循环泵，(11)为连接管道。
具体实施方式
图1是HMDS预处理设备尾气处理装置的实施图。本实施例装置是由尾气入口(1)、洗涤塔(2)、倒U形短节(3)、气液分离器(4)、回收管道(5)、洗涤槽(6)、与储酸罐连接管(7)等组成。设置的倒U形短节(3)使得洗涤塔 (2)的尾气排放口朝下，气液分离器(4)通过回收管道(5)与洗涤槽(6)相连。气液分离器(4)回收尾气中的氨气、磷酸、磷酸铵，减少环境污染。洗涤塔(2)由其壳体(8)、磷酸喷雾器(9)、循环泵(10)、连接管道(11)组成。磷酸喷雾器(9)的作用在于将循环泵(10)泵到得磷酸雾化，向下喷洒，与尾气入口(1)导入的上升的尾气充分反应，将尾气中有害物质俘获，吸收尾气中的氨和HMDS气体。
权利要求1. 一种新型HMDS预处理设备尾气处理装置，其特征是由尾气入口(1)、洗涤塔(2)、 倒U形短节(3)、气液分离器(4)、回收管道(5)、洗涤槽(6)、与储酸罐的连接管(7)组成， 设置的倒U形短节(3)使得洗涤塔(2)的尾气排放口向下，气液分离器(4)通过回收管道 (6)与洗涤槽(5)相连，洗涤塔(2)由其壳体(8)、磷酸喷雾器(9)、循环泵(10)、连接管道 (11)组成。
专利摘要本实用新型涉及一种HMDS预处理设备尾气处理的装置，由尾气入口(1)、洗涤塔(2)、倒U形短节(3)、气液分离器(4)、洗涤槽(5)、回收管道(6)、与储酸罐连接管(7)等组成。磷酸喷雾器(10)的作用在于将循环泵(11)泵到得磷酸雾化，向下喷洒，与尾气入口(1)导入的上升的尾气充分反应，将尾气中有害物质俘获，吸收尾气中的氨和HMDS气体，其结构简单，投资少，易于普及，减少了氨气、HMDS气体对环境的污染。
文档编号B01D53/54GK202113754SQ20112008152
公开日2012年1月18日 申请日期2011年3月25日 优先权日2011年3月25日
发明者童筱钧 申请人:童筱钧