一种废液收集杯的排风切换装置及其方法与流程

本发明属于晶圆旋转涂覆的工艺技术领域，具体地说是一种废液收集杯的排风切换装置及其方法。

背景技术：

新的技术和市场对设备的产能要求不断提高，在同样占地面积下，要实现更多的产能就要配置更多的工艺模块，工艺模块的集成度不断提高，出现一个工艺腔内配置多个旋涂单元的新型旋转涂覆模块。由于空间有限，多个旋涂单元的排风串联在一起。对晶圆进行工艺处理时，旋涂单元的废液收集杯需要切换不同的排风压力，由于多个废液收集杯串联，如果不做处理，各个废液收集杯的排风会相互影响，进而影响各个旋涂单元的工艺效果。本发明的排风切换方法可以有效地防止废液收集杯之间的相互干扰，从而保证工艺效果

技术实现要素：

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种废液收集杯的排风切换装置及其方法，以解决多个废液收集杯的排风会相互影响，进而影响各个旋涂单元的工艺效果的问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种废液收集杯的排风切换装置，包括分风盒、主风道、接口及排风切换机构，其中分风盒上设有分风盒进风口和分风盒出风口，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道上设有主风道进风口，所述接口的两端分别与所述分风盒出风口和所述主风道进风口连通，所述接口的侧壁上设有配风口，所述排风切换机构安装在接口上，用于所述分风盒出风口和配风口之间的排风切换。

所述主风道进风口处设有风口调节板，通过风口调节板调节主风道进风口的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。

所述排风切换机构包括风门调节机构和风门，所述风门可转动地安装在所述分风盒出风口和配风口之间、且与风门调节机构连接，所述风门通过风门调节机构的驱动，关闭所述分风盒出风口或关闭所述配风口。

所述风门调节机构为驱动气缸。

所述接口与分风盒或主风道为一体式结构。

一种废液收集杯的排风切换方法，在工艺腔内配置多个旋涂单元时，每个旋涂单元的废液收集杯排风口与主风道连通的接口上设置配风口，在废液收集杯的排风口关闭或打开时，所述配风口打开或关闭，通过配风口保证废液收集杯排风口的关闭不影响其它废液收集杯。

各废液收集杯排风口与接口之间连接分风盒。

所述分风盒与接口之间设置排风切换机构，通过所述排风切换机构进行配风口排风和废液收集杯排风口排风的切换。

所述排风切换机构包括风门调节机构和风门，所述风门可转动地安装在分风盒出风口和配风口之间、且与风门调节机构连接，所述风门通过风门调节机构的驱动，关闭所述分风盒出风口或关闭所述配风口。

所述主风道与接口之间设有风口调节板，通过风口调节板调节主风道进风口的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。

本发明的优点及有益效果是：

1.本发明通过风门的调节以及接口的配风口来保证串联的各个废液收集杯排风可以达到要求，保持一致并且切换时不相互影响。

2.本发明主要用于旋转涂覆的工艺单元内各个废液收集杯的排风风量切换，可以切换各个废料收集杯内部不同排风量、且相互之间没有干扰。

3.本发明通过调节风口调节板位置，可以实现每一个废液收集杯的排风风压一致，通过调整风门的开关量可以实现每个废液收集杯进行排风切换时均可达到指定参数，接口部分的配风口可以保证风门的开闭不影响其他废液收集杯。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的工作原理示意图；

图3是本发明中的分风盒与废液收集杯的连接示意图。

其中：1为分风盒，2为主风道，3为接口，4为配风口，5为风门调节机构，6为风口调节板，7为风门，8为废液收集杯，9为分风盒出风口，10为主风道进风口。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1-3所示，本发明提供的一种废液收集杯的排风切换装置，包括分风盒1、主风道2、接口3及排风切换机构，其中分风盒1上设有分风盒进风口和分风盒出风口9，所述分风盒进风口与废液收集杯8的排风口连接，所述主风道2上设有主风道进风口10，所述接口3的两端分别与所述分风盒出风口9和所述主风道进风口10连通，所述接口3的侧壁上设有配风口4，所述排风切换机构安装在接口3上，用于所述分风盒出风口9和配风口4之间的排风切换。

所述主风道进风口10处设有风口调节板6，通过风口调节板6调节主风道进风口10的大小，从而调节废液收集杯8的排风量大小。

所述排风切换机构包括风门调节机构5和风门7，所述风门7可转动地安装在所述分风盒出风口9和配风口4之间、且与风门调节机构5连接，所述风门7通过风门调节机构5的驱动，关闭所述分风盒出风口9或关闭所述配风口4。

本发明的一实施例中，所述风门调节机构5为驱动气缸。所述接口3与分风盒1或主风道2为一体式结构，接口3也可为独立装置。驱动气缸用于调整风门开关量大小。

一种废液收集杯的排风切换方法，在工艺腔内配置多个旋涂单元时，每个旋涂单元的废液收集杯排风口与主风道2连通的接口3上设置配风口4，在废液收集杯的排风口关闭或打开时，所述配风口4打开或关闭，通过配风口4保证废液收集杯排风口的关闭不影响其它废液收集杯。

各废液收集杯排风口与接口3之间连接分风盒1。所述分风盒1与接口3之间设置排风切换机构，通过所述排风切换机构进行配风口4排风和废液收集杯排风口排风的切换。

所述排风切换机构包括风门调节机构5和风门7，所述风门7可转动地安装在分风盒出风口9和配风口4之间、且与风门调节机构5连接，所述风门7通过风门调节机构5的驱动，关闭所述分风盒出风口9或关闭所述配风口4。

所述主风道2与接口3之间设有风口调节板6，通过风口调节板6调节主风道进风口10的大小，从而调节废液收集杯的排风量大小。

本发明主要用于多个废液收集杯排风串联的情况中，分风盒不少于两个，实现排风切换并且各个废液收集杯之间没有干扰的方法。分风盒1与废液收集杯8的排风口联接，各个分风盒1与主风道2通过接口3联接，接口3的部分设有风门，风门配置调节机构，用于调整风门的状态。

本发明的工作原理是：

通过控制风门调节机构可以让风门切换开启和关闭状态，风门调节机构可以用气缸实现，也可用其他动力原件实现。同时，风门调节机构可以在风门的两个状态下进行一定调整。通过调节风口调节板6的位置，可以实现每一个废液收集杯8的排风风压一致，通过调整风门的开关量可以实现每个废液收集杯8进行排风切换时均可达到指定参数，接口部分的配风口可以保证风门的开闭不影响其他废液收集杯。

本发明的工作过程是：

风门开启状态，风门位于如图2中b的状态，此时分风盒1与主风道2联通，腔室内气流主要通过废液收集杯内部进入排风主风道，废液收集杯为高排气量

风门关闭状态，风门位于如图2中a的状态，分风盒1与主风道2断开，接口的配风口4打开，腔室内气流主要通过配风口4进入排风主风道2内，废液收集杯8为低排气量。

综上所述，本发明通过风门调节机构和风口调节板对各个废液收集杯进行排风量调整，通过改变风门的位置对废液收集杯的排风进行切换，所述风门可以改变位置，不同位置对应分风盒以及配风口的开闭，通过位置的切换对排风量进行调节。

本发明可以实现排风串联的各个废液收集杯内的排风风压可调，并且废液收集杯之间无相互干扰，使各个废液收集杯之间的风压保持一致，进而保障各个废液收集杯的工艺效果一致。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本发明的保护范围内。