一光子分解装置、第二喷淋塔、第二光子分解装置和第三喷淋塔处理后得到达标的气体；且该达标的气体通过风机排入烟囱内后，通过烟囱进行排放。
[0020]其中，所述高压静电吸附装置包括前置过滤器、高压静电器、后置过滤器和控制模块；所述高压静电器位于前置过滤器和后置过滤器之间，且前置过滤器和后置过滤器上均设有用于感应气体质量的传感器，所述传感器与控制模块的输入端电连接，且所述控制模块的输出端分别与前置过滤器和后置过滤器电连接；第一喷淋塔处理后的废气依次通过前置过滤器、高压静电器和后置过滤器后排入第一光子分解装置。
[0021 ] 其中，所述高压静电器包括电离器和集尘器，所述电离器位于离子区内，所述集尘器位于极板区；经过前置过滤器过滤的气体通过电离器后形成位于离子区的带电微粒；带电微粒达到极板区后由集尘器上的集电极吸附。
[0022]与现有技术相比，本发明提供的工业VOCs废气分解净化处理方法及设备，具有如下有益效果:
1)本发明中喷漆有机废气是依次通过首次喷淋、高压静电吸附、首次光子分解、二次喷淋、二次光子分解和三次喷淋的净化处理，该处理方式节约了废气净化的后期维护和运营成本；可实现无人化操作；省时省力，改变了传统废气净化技术路线大多采用废气物态的转移处理的方式，本案中最终得到的气体彻底将工业废气分解成达到国家排放标准的气体，实现真正意义上的“安全、环保、高效、优质、经济”。
[0023]2)本发明中高压静电吸附+UV光子分解技术结合，可以克服传统工艺中各种方法各自的缺点。降低设备的运行能耗，同时还可以提对VOCs废气的降解效率，多种技术与工艺的结合可使研发的设备装置更具实用性，从客户角度出发，本研发设备将具有更高的处理效率和效益，节能省电，设备体积不大，不占用空间，安装方便；而且改善工厂内的工作环境。
[0024]3)整套设备运行可靠，使用寿命长，操作维护简便。
【附图说明】
[0025]图1为本发明的工业VOCs废气分解净化处理方法的工艺流程图； 图2为本发明的工业VOCs废气分解净化处理设备的结构示意图；
图3为本发明中高压静电吸附装置的结构示意图。
[0026]主要元件符号说明如下:
10、第一喷淋塔11、高压静电吸附装置
12、第一光子分解装置 13、第二喷淋塔 14、第二光子分解装置 15、第三喷淋塔 16、风机17、烟囱
111、前置过滤器112、高压静电器
113、后置过滤器114、控制模块
115、传感器1121、离子区
1122、极板区。
【具体实施方式】
[0027]为了更清楚地表述本发明，下面结合附图对本发明作进一步地描述。
[0028]请参阅图1，本发明的工业VOCs废气分解净化处理方法，包括以下步骤:
步骤S0，喷漆有机废气通过管道输送至首次喷淋处理工艺中；在输送过程中喷漆有机废气中颗粒直径大于100 μπι的漆雾颗粒物在管道中沉降；
步骤S1，首次喷淋处理喷漆有机废气中颗粒直径在10-100 μπι之间的废气颗粒物，并得到第一有机废气；
步骤S2，高压静电吸附第一有机废气中颗粒直径在1-10 μπι之间的废气颗粒物，并得到第二有机废气；
步骤S3，首次光子分解第二有机废气中颗粒直径在1 μπι以下的废气颗粒物，并得到第三有机废气；
步骤S4，二次喷淋处理第三有机废气中的低分子有机酸废气，并得到第四有机废气； 步骤S5，二次光子分解第四有机废气中的恶臭气体并得到第五有机废气；
步骤S6，三次喷淋处理第五有机废气中残留的尾气后得到达标的气体；且达标后的气体进行烟囱排放。
[0029]相较于现有技术，本发明提供的工业VOCs废气分解净化处理方法，具有如下有益效果:
1)本发明中喷漆有机废气是依次通过首次喷淋、高压静电吸附、首次光子分解、二次喷淋、二次光子分解和三次喷淋的净化处理，该处理方式节约了废气净化的后期维护和运营成本；可实现无人化操作；省时省力，改变了传统废气净化技术路线大多采用废气物态的转移处理的方式，本案中最终得到的气体彻底将工业废气分解成达到国家排放标准的气体，实现真正意义上的“安全、环保、高效、优质、经济”。
[0030]在本实施例中，步骤S1中喷淋处理的具体方法为:液体从第一喷淋塔的塔顶向下以雾状或小液滴状喷洒而下，喷漆有机废气则由第一喷淋塔的塔体逆向流入；流入后达到气液的充分接触；充分接触后由喷淋塔处理器吸附和过滤直径在10-100μπι之间的废气颗粒物，通过吸附和过滤得到的废气颗粒物溶于液体中，并产生沉淀；而产生的具有清洁度的第一有机废气与被污染的液体分离后，将第一有机废气排入静电吸附工序中。第一有机废气是通过除雾处理后排入高压静电吸附工序中的。该第一喷淋塔的工作原理是:第一喷淋塔利用气体与液体间的接触，将气体中的污染物传送到液体中，然后再将清洁气体与被污染的液体分离，达到净化空气的目的。该第一喷淋塔为填充式喷淋塔。该喷淋处理方式可冷却废气、去除颗粒及净化气体，再经过除雾段处理后，排入下一处理环节。该第一喷淋处理过程的分析有:喷漆有机废气浓度较低，风量较大，其浓度通常在1000mg/M3以下，一般情况下，粒径>100 μπι的漆雾颗粒物很容易就在管道中沉降，而喷淋塔处理器能够吸附和过滤10um-100 μ m之间的废气颗粒物，有一部分有机废气和色素颜料溶于水中，并产生沉淀。通过喷淋塔处理之后的废气温度有一定程度的降低，有利于下一级设备对有机废气进行更精细有效的处理。
[0031]在本实施例中，高压静电吸附处理的具体方法为:第一有机废气先进入作为初级过滤的净化整流室，净化整流室采用重力惯性净化方法对第一有机废气中的大粒径污染物进行分级物理分离，并且均衡整流；均衡整流后剩余的小粒径污染物进入作为次级过滤的高压静电场中，该小粒径污染物被高压静电吸附在极板上后，第一有机废气中的1-10 μπι之间的废气颗粒物被处理，且得到第二有机废气排出至首次光子分解工艺中。作为次级过滤的高压静电场其具体方法为:首先使小粒径污染物中的含尘漆雾粒子离子化；其次使含尘漆雾粒子气流中的粒子带电；最后，使含尘漆雾粒子撞击至集电极板而被收集吸附。
[0032]该高压静电吸附过程中有一个油雾粒子与气流分离的步骤，该步骤是采用漆雾净化器完成的，具体为:1.漆雾荷电，在放电极与集电极之间施加高电压，放电极发生电晕放电，使气体漆雾电离，生成空间电荷。含有漆雾气流经过电场空间时，空间电荷通过碰撞或者扩散附着在漆雾分子上，使漆雾分子荷电；2.漆雾沉降，荷电后的漆雾分子在电场中受到库仑力的作用，驱使漆雾分子向集电极运动，经过一定时间后沉积在集电极表面；3.清洗，集电极表面上的漆雾沉积到一定的厚度后，采用高压水枪对集电极进行表面清洗，清洗后吹干，集电板又可以重新工作。高压静电吸附装置采用双重净化设计，有初级过滤的净化整流室和次级过滤的高压静电场，高压静电吸附装置的电晕电场异极间具有5-15千伏特的电位差，使不导电的气体分子经分解或电子附着成为自由离子。当气流通过集中电场区域时，含尘漆雾粒子经离子撞击带电而移向具相反电性的收集电极。换言之，收集机制