涂布装置以及滞留空气去除方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在基板上涂布涂布液的涂布装置以及滞留空气去除方法，特别涉及能够容易地将存在于从涂布装置的涂布液容器连结到涂布喷嘴的配管内的空气去除的涂布装置以及滞留空气去除方法。
【背景技术】
[0002]在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中使用在由玻璃等构成的基板上涂布抗蚀剂液而成的基板(称之为涂布基板)。该涂布基板通过均匀地涂布抗蚀剂液(以下称之为涂布液)的涂布装置而形成。也就是说，涂布装置具有用于载置基板的工作台以及具有喷出涂布液的接口部的涂布单元，该涂布装置进行一边使涂布液从接口部的狭缝喷嘴喷出一边使基板和涂布单元相对移动的涂布动作，由此，在基板上形成具有规定的厚度的涂布膜。
[0003]这里，图6中示出了涂布装置的配管102路径。被供给到涂布单元100的涂布液蓄留在涂布液容器101中，通过用于连结涂布液容器101和涂布单元100的管状配管102进行供给。该配管102由用于对配管102接头和阀等的配管102彼此连接的配管连结部103连结而形成。并且，送液加压装置(未图示)对涂布液容器101进行加压，由此，涂布液容器101的涂布液被输送到设置于配管102路径上的栗104中。接着，通过使栗104工作而从涂布单元100的接口部喷出涂布液，从而在基板上形成涂布膜。
[0004]—般而言，在这样的涂布装置中，作为进行涂布动作的准备工序而进行液体流通工序。该液体流通工序是使涂布液在处于干燥状态的配管102内流通而向配管102内填充涂布液的工序，在最初使涂布装置运转的情况下以及更换涂布液的情况下进行该工序。具体而言，使容纳了涂布液的涂布液容器101内变为低压而充分地进行涂布液的脱气处理(例如参考下述专利文献I)。由此，能够抑制当在涂布液中存在空气而喷出涂布液时由于喷出压力发生变动而导致产生涂布不匀的现象。并且，将涂布液通过配管102从涂布液容器101输送到涂布单元100侧(液体流通工序)。由此，存在于配管102内的滞留空气与涂布液一同被输送到涂布单元100(接口部)，并且，与涂布液一同从接口部的狭缝喷嘴被废弃。接着，最后进行将残留在接口部内的气泡去除的排气处理(例如，参考下述专利文献2)。由此去除涂布液中的空气之后，通过进行涂布动作，在基板上形成稳定的涂布膜。
[0005]专利文献1:日本特开2011-139972号公报
[0006]专利文献2:日本特开2005-144376号公报
[0007]然而，只是通过上述脱气处理和排气处理很难完全去除涂布液中的空气。也就是说，在配管102上设置有多处配管102接头和阀等的配管连结部103，在该配管连结部103形成滞留空气。具体而言，如图7所示，配管连结部103中存在凹凸部或弯曲部等死角105，因此，容易在该死角105处形成滞留空气106(图7的(a))。因此，在液体流通工序中，即使输送已经完成上述脱气处理的涂布液107，配管102内的空气也会跑到死角105处而形成滞留空气106。并且，一旦在死角105处形成滞留空气106，则即使在送液过程中滞留空气106也会继续滞留在死角105处(图7的(b))，即使在结束送液动作之后进行排气处理也无法去除配管102内的滞留空气106，其结果是，存在对涂布精度造成影响的问题。
【发明内容】
[0008]本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够容易地去除配管内的滞留空气的涂布装置以及滞留空气去除方法。
[0009]为了解决上述课题，本发明的涂布装置，通过使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并通过所述涂布单元喷出所述涂布液容器中的涂布液，所述涂布装置的特征在于，所述配管通过用于将配管彼此连结的配管连结部而被连结，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间具有逆流送液装置，所述逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液。
[0010]根据上述涂布装置，由于设置有逆流送液装置，因此能够去除液体流通工序中残留在配管内的滞留空气。也就是说，在液体流通工序中，通过从涂布液容器向涂布液单元侧(顺流方向)输送涂布液而使配管内充满涂布液，之后，通过逆流送液装置将配管内的涂布液输送到涂布液容器侧(逆流方向)。接着，再次沿顺流方向输送涂布液，以上述方式在顺流方向和逆流方向上交替重复涂布液的送液，最后将涂布液从涂布液单元废弃，从而能够去除滞留在配管连结部的死角处的滞留空气。也就是说，通过在顺流方向进行送液而被卡在配管连结部的死角(凹凸部或弯曲部)而滞留的滞留空气通过在逆流方向进行送液而从一定方向(顺流方向)的推压中释放出来，因此，被卡住的状态被解除，该滞留空气向逆流方向移动。接着，通过再次沿顺流方向进行送液，滞留空气以与沿逆流方向的移动相应的量加速，越过凹凸部或弯曲部，与涂布液一同沿顺流方向被输送。并且，由于所有配管连结部均位于比逆流送液装置更靠近涂布液容器侧的位置上，因此，能够在所有配管连结部中获得通过逆流而实现的上述滞留空气的移动的效果。即使是在假设通过一次逆流方向的送液无法越过凹凸部或弯曲部的情况下，滞留空气也能够通过交替重复在顺流方向和逆流方向的送液而越过凹凸部或弯曲部，从而可以容易地从死角去除滞留空气。
[0011]另外，作为具体的所述逆流送液装置的方式，所述逆流送液装置也可以构成为具有:逆流用配管连结部，其配置在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间；逆流用容器，在该逆流用容器中蓄留涂布液，且该逆流用容器通过配管与该逆流用配管连结部连接；以及送液加压装置，其对该逆流用容器施以加压力而进行送液。
[0012]例如，通过使用三通阀作为上述逆流配管连结部，能够容易地对逆流送液装置和涂布容器的连通与逆流送液装置和涂布单元的连通进行切换，因此能够通过简单的结构在顺流方向和逆流方向之间切换涂布液的流向。
[0013]另外，为了解决上述课题，本发明的滞留空气去除方法，是涂布装置的滞留空气去除方法，所述涂布装置通过用于使配管彼此连结的配管连结部使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并且，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间连结有逆流送液装置，所述逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液，所述滞留空气去除方法的特征在于，包括如下的工序:顺流送液工序，从所述涂布液容器向所述涂布单元输送至少比各个所述配管连结部的容量中的最大容量多的涂布液；逆流送液工序，从所述逆流送液装置向所述涂布液容器输送至少比各个所述配管连结部的容量中的最大容量多的涂布液；以及排气工序，将存在于所述涂布单元内的空气排出，在将所述顺流送液工序和所述逆流送液工序交替重复至少I次以上之后，进行所述排气工序。
[0014]根据上述