换由配管4形成的流路。例如，通过打开抽吸阀53并关闭喷出阀54而使涂布液容器2和涂布液栗6连通并连接，因此能够从涂布液容器2向涂布液栗6供给涂布液。另外，通过关闭抽吸阀53并打开喷出阀54而使涂布液容器6和涂布液栗3连通并连接，因此能够从涂布液栗6向涂布单元3供给涂布液。
[0036]另外，本发明的涂布装置I具有在逆流方向上输送涂布液的逆流送液装置7。该逆流送液装置7相对于涂布液从涂布液容器2侧流向涂布单元3侧流动的顺流方向，在从涂布单元3侧向涂布液容器2侧的逆流方向上输送涂布液。该逆流送液装置7具有逆流用容器71、对逆流用容器71进行加压的送液加压装置72以及逆流用配管连结部8。具体而言，在喷出阀54和涂布单元3之间设置有逆流用配管连结部8，从该逆流用配管连结部8通过配管4与逆流用容器71连通并连接。由此，逆流用容器71的涂布液通过配管4被输送到涂布液容器2侦U。
[0037]逆流用容器71与上述涂布液容器2具有相同结构，用于蓄留涂布液。与涂布液容器2相同，逆流用容器71具有气泡去除机构，能够防止气泡等混入蓄留的涂布液内。另外，在该逆流用容器71中也设置有送液加压装置72，通过使该送液加压装置72工作，能够将逆流用容器71内的涂布液输送到上游侧。也就是说，在涂布液容器2的底面部上连接有配管4，通过使用送液加压装置72对涂布液容器2内进行加压，能够通过配管4将涂布液输送(使之逆流)到位于上游侧的涂布液容器2侧。另外，在逆流用容器71上设置有安全阀73，在对逆流用容器71内进行加压后，打开安全阀73，由此，通过使逆流用容器71内恢复到大气压而将逆流用容器71内释放。
[0038]另外，逆流用配管连结部8使连接于逆流用容器71的配管4和用于连接涂布液容器2和涂布单元3的配管4连通并连接，并且，该逆流用配管连结部8对连接有逆流用容器71和涂布液容器2的流路与连接有逆流用容器71和涂布单元3的流路进行切换。该逆流用配管连结部8虽然在连结配管4这一点上与上述配管连结部5相同，但是在本发明中两者是不同概念的部件，逆流用配管连结部8仅用于使逆流用容器71连接。
[0039]该逆流用配管连结部8配置在配置于最接近涂布单元3的位置上的喷出阀54 (配管连结部5)和涂布单元3之间。也就是说，在使涂布液从逆流用容器71向涂布液容器2逆流的情况下，从逆流用容器71输送的涂布液通过逆流用配管连结部8然后通过比该逆流用配管连结部8靠近上游侧(涂布液容器2侧)的所有配管连结部5而被输送到涂布液容器2。
[0040]该逆流用配管连结部8在本实施方式中使用三通阀81，逆流用容器71、涂布单元3以及涂布液容器2通过该三通阀81而连通并连接。也就是说，通过操作三通阀81，能够对逆流用容器71和涂布单元3的连接与逆流用容器71和涂布液容器2的连接进行切换。另外，该逆流用配管连结部8也可以是使T字形配管接头51与膜片阀相组合而成的部件。也就是说，通过使来自涂布液容器2、涂布单元3以及逆流用容器71的配管4分别与T字形配管接头51连接、并在逆流用容器71和T字形配管接头51之间设置膜片阀，能够对逆流用容器71和涂布单元3的连接与逆流用容器71和涂布液容器2的连接进行切换。
[0041]接着，基于图5所示的流程图对该涂布装置I的滞留空气去除方法进行说明。通过该滞留空气去除，能够在从所有的配管4处于干燥的状态开始最初向涂布装置I供给涂布液的情况、以及更换涂布液的情况下去除滞留于配管4内的滞留空气。
[0042]首先，通过步骤SI进行涂布液填充工序(液体流通工序)。该涂布液填充工序是用于使充满空气的配管4内充满涂布液的处理工序。在本实施方式中，在排出从逆流用容器71到喷出阀54的流路中的空气后，阶段性地排出从涂布液容器2到三通阀81的流路中的空气。具体而言，在对蓄留于逆流用容器71的涂布液进行脱气处理后，将三通阀81打开至逆流方向(在从逆流用容器71到涂布单元3的方向上关闭，在从逆流用容器71到涂布液容器2的方向上打开)，将喷出阀54和抽吸阀53设为打开状态而使逆流用容器71的加压送液装置工作从而将涂布液从逆流用容器71输送到涂布液容器2侧(逆流方向)。由此，涂布液从逆流用容器71经过三通阀81被输送到涂布液容器2侧。此时，配管4内的空气被涂布液在逆流方向上推动而排出到涂布液容器2。接着，确认配管4内的送液情况，在从逆流用容器71到喷出阀54为止的配管内填充有涂布液的状态下，使逆流用容器71的加压送液装置停止，之后，打开安全阀73，将逆流用容器71释放至大气压。
[0043]接着，在向涂布液容器2内供给涂布液并对蓄留于涂布液容器2内的涂布液进行脱气处理之后，切换三通阀81使涂布液从涂布液容器2向涂布单元3侧流动。进而，使涂布液容器2的加压送液装置工作而在顺流方向上输送涂布液。也就是说，虽然有较多的空气存在于没有因之前沿逆流方向输送涂布液而被涂布液充满的部分、即比喷出阀54靠近涂布液容器2侧的位置，但通过从涂布液容器2沿顺流方向输送涂布液，涂布液与空气一同经过涂布单元3的歧管并从狭缝喷嘴被排出。由此，涂布液被填充到从涂布液容器2到逆流用容器71的配管4内。接着，在使涂布液容器的加压送液装置停止之后，打开安全阀22将涂布液容器2释放至大气压。
[0044]接着，通过步骤S2进行逆流送液工序。通过该逆流送液工序和接下来的顺流送液工序进行配管4内的滞留空气的去除。也就是说，通过上述的涂布液填充工序，存在于配管4内的空气被去除，并且，从涂布液容器2到逆流用容器71的配管4内几乎被涂布液填充。然而，空气容易滞留在配管连结部5的死角处从而形成少量滞留空气，因此，需要排除该滞留空气。
[0045]具体而言，将三通阀81设定为逆流方向，并设定为从逆流用容器71向涂布液容器2流动。接着，使逆流用容器71的送液加压装置72工作，沿逆流方向输送涂布液。此时，对送液量比配管连结部5的最大容量多的涂布液进行输送。这里，配管连结部5的容量是从作为配管连结部5的配管接头和阀等的一侧的与配管4的连结部分到另一侧的与配管4的连结部分的容量。接着，输送比配管4路径中使用的所有配管连结部5中最多的容量还多的涂布液。在图1的例子中，输送喷出阀54、抽吸阀53以及各配管接头中最多容量的涂布液。由此，滞留在死角的滞留空气的空气向逆流方向移动。
[0046]接着，通过步骤S3进行顺流送液工序。具体而言，使逆流用容器71的送液加压装置72停止并且释放安全阀73之后，将三通阀81切换为顺流方向即从涂布液容器2流动到涂布单元3侧。进而，使涂布液容器2的送液加压装置21工作从而沿顺流方向输送涂布液。对送液量比配管连结部5的最大容量多的涂布液进行输送。由此，能够将滞留空气91从配管连结部5的死角去除。也就是说，如图4所示，通过涂布液填充工序进行涂布液的输送，并且，如果在配管连结部5的死角9处形成滞留空气91，则滞留空气91