滞留空气去除方法，通过将顺流送液工序和逆流送液工序交替重复至少I次以上，能够去除在液体流通工序中残留在配管内的滞留空气。也就是说，通过顺流方向送液工序涂布液被卡在配管连结部的死角(凹凸部或弯曲部)而形成滞留空气，通过逆流送液工序涂布液在逆流方向进行输送，从而该滞留空气从一定方向(顺流方向)的推压中释放出来，被卡住的状态被解除而滞留空气沿逆流方向移动。此时，通过在顺流送液工序和逆流送液工序中输送至少比配管连结部中的最大容量多的涂布液，滞留空气能够通过接下来的送液工序(顺流送液工序或逆流送液工序)可靠地越过配管连结部。也就是说，通过再次沿顺流方向进行送液，滞留空气以与沿逆流方向的移动相应的量加速，越过凹凸部或弯曲部，与涂布液一同沿顺流方向被输送。即使假设在通过一次逆流方向的送液无法越过凹凸部或弯曲部的情况下，滞留空气也能够通过交替重复在顺流方向和逆流方向的送液而越过凹凸部或弯曲部，从而可以容易地从死角去除滞留空气。
[0015]根据本发明的涂布装置以及滞留空气去除方法，能够容易地去除配管内的滞留空气。
【附图说明】
[0016]图1是示意性地示出本发明的涂布装置的配管系统图。
[0017]图2是涂布装置主体的示意性的立体图。
[0018]图3是示出涂布装置的涂布单元的腿部附近的图。
[0019]图4是示出配管连结部中的死角和滞留空气的图，图4的(a)是示出通过涂布液填充工序刚刚对配管内填充涂布液后的图；图4的(b)是示出在逆流方向上进行送液的状态的图；图4的(c)是示出在顺流方向上进行送液的状态的图。
[0020]图5是示出本发明的滞留空气去除方法的流程图。
[0021]图6是现有的涂布装置的配管系统图。
[0022]图7是示出现有的配管连结部中的死角和滞留空气的图，图7的(a)是示出通过液体流通工序刚刚向配管内填充涂布液后的图；图7的(b)是示出从图7的(a)的状态进一步进行送液的状态的图。
[0023]标号说明
[0024]2:涂布液容器；3:涂布单元；4:配管；5:配管连结部；7:逆流送液装置；8:逆流用配管连结部；71:逆流用容器；72:送液加压装置(逆流用)。
【具体实施方式】
[0025]使用附图对本发明的实施方式进行说明。
[0026]图1是示意性地示出本发明的涂布装置的配管系统图。图2是涂布装置主体的示意性的立体图。图3是示出涂布装置的涂布单元的腿部附近的图。
[0027]如图1?图3所示，涂布装置I具有:用于蓄留涂布液的涂布液容器2 ;以及涂布装置主体10，其具有涂布单元3，该涂布单元3用于喷出从该涂布液容器2供给的涂布液。这些涂布液容器2和涂布装置主体10分别通过使多个配管4连结而连接起来，并且，在配管4彼此的连接部分通过阀和配管接头连结起来。在本发明中，将为了使配管4彼此连结而使用的阀和配管接头等总称为配管连结部5。并且，在涂布液容器2和涂布单元3之间设置有涂布液栗6，在从涂布液容器2向该涂布液栗6填充所需量的涂布液之后，使涂布液栗6工作，而从涂布装置主体10的涂布单元3喷出涂布液，从而在固定于涂布装置主体10的基板上形成涂布膜。
[0028]涂布液容器2用于蓄留作为形成在基板W上的涂布膜的材料的药液或抗蚀剂液等液状物(以下称之为涂布液)。涂布液容器2具有气泡去除机构而能够防止气泡等混入到蓄留的涂布液内。该涂布液容器2中设置有送液加压装置21，通过使该送液加压装置21工作，能够将涂布液容器2内的涂布液输送到下游侧。也就是说，在涂布液容器2的底面部连接有配管4，通过送液加压装置21对涂布液容器2内进行加压，从而能够将涂布液通过配管4输送到位于下游侧的涂布液栗6和涂布单元3等。在本实施方式中，作为送液加压装置21，向涂布液容器2内供给洁净干燥气体(CDA)，通过向涂布液容器2内供给CDA而对涂布液容器2内进行加压从而能够输送涂布液。另外，在涂布液容器2上设置有安全阀22，在对涂布液容器2内进行加压后，打开安全阀22，通过将涂布液容器2内恢复为大气压而将涂布液容器2内释放。
[0029]涂布装置主体10用于在基板W上形成药液或抗蚀剂液等液状物(以下称之为涂布液)的涂布膜，并且，该涂布装置主体10具有用于载置基板W的工作台11以及构成为能够相对于该工作台11在特定方向上移动的涂布单元3。
[0030]另外，涂布单元3用于将涂布液喷出至基板W上而形成涂布膜。该涂布单元3具有如图2和图3所示那样能够沿X轴方向移动的腿部31和在Y轴方向上延伸的接口部34，接口部34被支承为能够相对于保持在工作台11上的基板W接触或分离。该接口部34用于喷出涂布液从而在基板W上形成涂布膜。本实施方式的接口部34是具有单向延伸形状的柱状部件，其设置为与涂布单元3的腿部31的行进方向大致正交。另外，在该接口部34上形成有沿长度方向延伸的狭缝喷嘴34a，供给到接口部34的涂布液从狭缝喷嘴34a被均匀地喷出到整个长度方向上。
[0031]具体而言，在接口部34中形成有用于蓄留涂布液的歧管，能够暂时蓄留从涂布液供给口所供给的涂布液。也就是说，涂布液供给口与配管4连接，从下述的涂布液栗6输送来的涂布液通过涂布液供给口被供给到歧管内，通过进一步使涂布液栗6工作，歧管内的涂布液通过狭缝喷嘴34a被喷出。因此，通过在使涂布液从该狭缝喷嘴34a喷出的状态下使涂布单元3在X轴方向上行进，从而在基板W上的狭缝喷嘴34a的整个长度方向上形成具有一定厚度的涂布膜。
[0032]另外，在接口部34上形成有排气孔，通过进行排气处理而将蓄留在歧管内的涂布液中所包含的气泡和滞留空气等气体从排气孔排出。
[0033]另外，涂布液栗6将从涂布液容器2供给的涂布液输送到涂布装置主体10。该涂布液栗6与配管4连接，并通过作为T字形配管接头51的配管连结部5而与涂布液容器2和涂布单元3连通并连接。在本实施方式中，设置有注射栗，该注射栗能够通过抽吸动作容纳I张基板所需的量的涂布液，并且，通过喷出动作将涂布液输送到涂布装置主体10。
[0034]另外，涂布液容器2、涂布液栗6以及涂布装置10 (涂布单元3)是通过使多个配管4连结而连接的。具体而言，多个配管4通过阀和配管接头等配管连结部5被连结。在图1的例子中，配管4路径在直角弯曲的地方设置有L字形配管接头52，在与涂布液栗6的连接部分设置有T字形配管接头51。也就是说，根据需要设置适当的配管接头，从而形成将涂布液容器2、涂布液栗6以及涂布装置主体10连通的流路。
[0035]另外，在配管4的路径上设置有阀，在图1的例子中，在涂布液容器2和涂布液栗6之间设置有抽吸阀53，在涂布液栗6和涂布装置主体10之间设置有喷出阀54。这些抽吸阀53和喷出阀54例如使用膜片阀。通过对该抽吸阀53和喷出阀54进行开闭动作，能够切