废液回收装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化工设备技术领域，尤其涉及一种废液回收装置。
【背景技术】
[0002]近年来，以薄膜晶体管液晶显示器件为主的平板显示技术得到了迅猛发展，液晶显示面板已成为电器产业的核心器件。随着经济的高速发展及巨大的市场需求，中国已成为全球电脑电视显示器最大的生产基地。液晶显示面板生产过程中，在玻璃基板表面有清洗、镀膜、光刻、蚀刻和剥离等工序，其中在剥离工序中，对已经蚀刻出所需图形的基板，利用剥离液溶剂将覆盖于图形上的光刻胶剥离去除以便进行后续工序，这个剥离过程产生的废液即为废剥离液。
[0003]废剥离液的成分可分为三大类物质:①可回收利用的剥离液有效溶剂;②水及其它轻组分杂质;③光刻胶及其它重组分杂质。废剥离液一般采用精馏的方法进行回收，为避免高温加热导致热敏性剥离液溶剂分解，精馏操作需要在真空条件下进行，以降低精馏过程的溶剂沸点。但是由于光刻胶和其它高沸点物质存在，精馏操作过程中塔釜温度即使在高真空下也很容易超过热敏临界温度，因此在提高系统真空度的同时，还需要去除光刻胶及部分高沸点杂质，从而在精馏过程中降低精馏塔釜的温度，减少或避免剥离液的分解，最终达到尽可能提高剥离液回收率的目的。
[0004]传统的回收剥离液的装置，由依次连接的薄膜蒸发器、脱轻精馏塔和精制精馏塔组成。然而，该装置在使用时，首先，废剥离液先进入薄膜蒸发器，由于热敏温度的限制，薄膜蒸发器绝对压力要达到lkPa以下才能将剥离液有效溶剂成分蒸出进行分离回收，蒸出的气体中含水较多，需要配备带制冷机组的冷凝器才能将轻相完全冷凝下来。其次，废剥离液需要经过除重、脱轻和精制三道工序才能得到回收液，工艺流程较长，单位产品的能耗较尚ο
【实用新型内容】
[0005]基于此，有必要针对上述问题，提供一种能耗较低的废液回收装置。
[0006]—种废液回收装置，用于回收废液中的有效成分，包括第一精馏塔、第二精馏塔以及薄膜蒸发器；
[0007]所述第一精馏塔上设有废液进料口和第一重相出料口；
[0008]所述第二精馏塔上设有第二进料口、第二重相出料口和第二轻相出料口；
[0009]所述薄膜蒸发器上设有第三进料口和第三轻相出料口；
[0010]所述第一重相出料口与所述第二进料口相连通，所述第二重相出料口与所述第三进料口相连通，所述第三轻相出料口与所述第二进料口相连通；
[0011 ]所述废液进料口用于流入所述废液，所述第一重相出料口用于流出第一重相物料；
[0012]所述第二重相出料口用于流出第二重相物料;所述第三进料口用于流入所述第二重相物料，所述第三轻相出料口用于流出第三轻相物料；
[0013]所述第二进料口用于流入所述第一重相物料以及所述第三轻相物料，所述第二轻相出料口用于流出第二轻相物料，所述第二轻相物料为所述废液中的有效组分。
[0014]在其中一个实施方式中，所述第一精馏塔上还设有第一轻相出料口，所述第一轻相出料口用于排出第一轻相物料，所述第一轻相物料为所述废液中的轻组分杂质。
[0015]在其中一个实施方式中，所述薄膜蒸发器上还设有第三重相出料口，所述第三重相出料口用于排出第三重相物料，所述第三重相物料为所述废液中的重组分杂质。
[0016]在其中一个实施方式中，还包括第一冷凝器、第二冷凝器和第三冷凝器，所述第一冷凝器与所述第一精馏塔相连，所述第二冷凝器与所述第二精馏塔相连，所述第三冷凝器与所述薄膜蒸发器相连。
[0017]在其中一个实施方式中，所述废液为废剥离液，所述废剥离液中包含剥离液有效溶剂、水及光刻胶。
[0018]在其中一个实施方式中，所述第一精馏塔与所述第二精馏塔之间设有第一动力栗，所述第一动力栗用于将所述第一重相物料栗入所述第二精馏塔中；所述第二精馏塔与所述薄膜蒸发器之间设有第二动力栗，所述第二动力栗用于将所述第二重相物料栗入所述薄膜蒸发器中。
[0019]在其中一个实施方式中，还包括第一真空设备、第二真空设备和第三真空设备，所述第一真空设备与所述第一精馏塔相连，所述第二真空设备与所述第二精馏塔相连，所述第三真空设备与所述薄膜蒸发器相连。
[0020]在其中一个实施方式中，所述第一精馏塔的绝对压力为lOkPa，所述第二精馏塔的绝对压力为2kPa，所述薄膜蒸发器的绝对压力为1 kPa。
[0021]在其中一个实施方式中，所述第一精馏塔为板式精馏塔或填料精馏塔，所述第二精馏塔为板式精馏塔或填料精馏塔。
[0022]在其中一个实施方式中，所述薄膜蒸发器为刮膜蒸发器。
[0023]上述废液回收装置，第一精馏塔、第二精馏塔以及薄膜蒸发器依次连接，这种组合顺序的废液回收装置，废液进入第一精馏塔后，水及大部分的轻质杂质可通过第一精馏塔排出，这部分水及轻质杂质不需要带制冷的冷凝器冷凝。废液经过第一精馏塔精馏后，得到的第一重相物料进入第二精馏塔中，在第二精馏塔的轻相出料口即可收集到大部分的废液中的有效组分，即只需经过第一精馏塔的脱轻和第二精馏塔的精制两道工序后即可得到大部分的回收液。相比传统的回收剥离液的装置，具有工艺流程较短，单位产品的能耗较低的优点。特别适合从废剥离液中回收剥离液有效溶剂。
【附图说明】
[0024]图1为一实施方式的废液回收装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的【具体实施方式】的限制。
[0026]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是与另一个元件“相连”或“相连通”，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0027]请参阅图1，一实施方式的废液回收装置100，用于废液的回收，包括第一精馏塔
10、第二精馏塔20以及薄膜蒸发器30。
[0028]第一精馏塔10上设有废液进料口11和第一重相出料口 13。第二精馏塔20上设有第二进料口 21、第二重相出料口 23和第二轻相出料口 25。薄膜蒸发器30上设有第三进料口 31和第三轻相出料口 35。
[0029]第一重相出料口 13与第二进料口 21相连通，第二重相出料口 23与第三进料口 31相连通，第二轻相出料口 25与第二进料口 21相连通。
[0030]废液进料口11用于流入废液，经第一精馏塔10精馏后第一重相物料从第一重相出料口 13流出，并从第二进料口 21流入第二精馏塔20中，经第二精馏塔20精馏，第二轻相物料从第二轻相出料口 25中流出，第二轻相物料为废液中的有效组分。第二重相物料从第二重相出料口 23流出，并从第三进料口 31流入薄膜蒸发器30中，经薄膜蒸发器30的薄膜蒸发，第三轻相物料从第三轻相出料口 35排出又回流至第二进料口 21流入第二精馏塔20中。
[0031]具体的，第一精馏塔10可以为板式精馏塔或填料精馏塔，第二精馏塔20也可以为板式精馏塔或填料精馏塔。
[0032]具体的，薄膜蒸发器30可以为刮膜蒸发器。
[0033]废液通过第一精馏塔10后，水或其他轻组分的杂质与第一重相物料分离，水或其他轻组分的杂质以轻相物料的形式排出。第一重相物料中含有废液中的有效组分，通过第二进料口 21流入第二精馏塔20中，在第二精馏塔20中再次分离，废液中的大部分有效组分从第二轻相出料口 25流出。剩余的少部分有效组分随第二重相物料流入薄膜蒸发器30，在薄膜蒸发器30中分离，由于第三轻相出料口 35与第二精馏塔20上的第二进料口 21相连通，经过薄膜蒸发后的第三轻相物料又回流至第二精馏塔20中精馏，可再次收集到有效成分。
[0034]具体的，第一精馏塔10上还设有第一轻相出料口