一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法与流程

文档序号:11992440阅读:来源:国知局
技术总结
一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法,先在基底表面涂覆水溶胶粘附层,然后在水溶胶粘附层上通过光刻工艺获取微纳米图形化的光刻胶,再在光刻胶表面通过刮涂法得到微纳米颗粒图形化,去除光刻胶,得到微纳米颗粒的图形化模板;将聚合物涂覆在衬底表面,然后对衬底进行预加热;将图形化模板表面的微纳米颗粒接触并嵌入聚合物;再提拉图形化模板,使聚合物被拉伸为微纳米柱阵列,然后对衬底加热使微纳米柱阵列固化;再加热图形化模板,使微纳米颗粒脱离水溶胶粘附层,得到顶端带有微纳米颗粒的微纳米柱阵列;最后将微纳米柱阵列顶端的微纳米颗粒去除,获得聚合物微纳米柱阵列,本发明具有操作简单、成本低、周期短的优点。

技术研发人员:蒋维涛;刘红忠;雷彪;陈邦道;史永胜;尹磊
受保护的技术使用者:西安交通大学
文档号码:201610211929
技术研发日:2016.04.06
技术公布日:2017.03.29

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