技术特征：
技术总结
本发明涉及一种微机械装置，具有第一衬底(11)、具有至少一个第一空腔(100)、具有通到第一空腔(100)的封闭的通道(1)，其中，通道穿过第一衬底(11)延伸。本发明的核心在于，通道(1)具有激光钻孔的第一部分区段(12)和等离子蚀刻的第二部分区段(13)，其中，等离子蚀刻的第二部分区段(13)具有通到第一空腔(100)的开口，其中，通道(1)在第一部分区段(12)中通过由至少第一衬底(11)的熔化物构成的熔化封口部(5)封闭。本发明还涉及用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法。
技术研发人员：J-P·施塔德勒;J·赖因穆特
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.08.11
技术公布日：2018.02.23