具有膜管屏蔽件的电镀装置的制作方法

技术特征：

技术总结
电镀装置具有一或更多个环状膜管，这一或更多个环状膜管充当电场屏蔽件，以在工件的周边处提供有利的镀覆特性。这些环状膜管可用具有不同的传导性的流体填充，以如期望地改变屏蔽效应而用于电镀不同类型的基板。可选地，这些环状膜管可提供于该装置的容器中的扩散体板材中或上。

技术研发人员：保罗·R·麦克休;格雷戈里·J·威尔逊;罗伊·沙维夫
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.01.19
技术公布日：2017.09.26