本发明涉及一种密封装置，具体地一种用于在真空泵壳体和电子驱动器壳体之间密封的密封装置。
背景技术：
涡轮分子泵（TMP）被用在诸如质谱仪和扫描电子显微镜的许多设备中，以实现设备正确地操作所需的低压力。
容纳操作涡轮分子泵马达和内部电子设备所需的电子驱动器的壳体能够定位成或者远离TMP罩壳，或者直接连接到TMP罩壳。随着电子电路变得更小，更多的TMP被制造成驱动器壳体直接连接到TMP罩壳。
为了保护被容纳在壳体内的驱动器电子设备免受来自周围环境的颗粒和湿气的影响，密封元件必须定位于驱动器将附接于其的涡轮分子泵罩壳的外表面部分与将附接于泵罩壳的所述外表面部分的电子驱动器壳体的内表面部分之间。
目前，用两种方式实现用以保护以防止颗粒和湿气的进入的密封。
第一种方法是使用密封泡沫，当将两个元件附接在一起时，所述密封泡沫被施加在泵罩壳和驱动器壳体之间。这初始地提供极好的密封，但如果需要移除驱动器壳体，例如以维修TMP，则当重新附接这两个元件时，在能够重新施加新泡沫之前，必须将泡沫残留物从驱动器壳体和TMP的表面完全移除。此外，如果在生产中施加了密封泡沫，则在时常已知其在运输中被损坏，从而形成进入驱动器壳体的泄漏路径。
第二种已知方法是在外TMP罩壳表面和/或内驱动器壳体表面中形成密封凹槽，以便接收密封件从而在这两个元件之间实现密封。然而，密封元件进入复杂的三维、非平面密封凹槽的定位是耗时的，并且需要高的技术水平以在不挤压或损坏该密封件的情况下实现正确的密封。而且，如果需要移除驱动器壳体，则该密封件必须被重新定位在凹槽中，从而为该过程增添相当多的时间。
技术实现要素：
因此，本发明提供一种用于在真空泵（诸如涡轮分子泵）罩壳的非平面外表面部分和壳体的非平面内表面部分之间密封的密封装置，所述壳体将可移除地附接到该真空泵罩壳的所述外表面部分，所述密封装置包括密封件载体和密封件，所述密封件从密封件载体的周边延伸并连接到密封件载体的周边，所述密封件载体的周边被成形为与真空泵罩壳的外表面部分和壳体的内表面部分的非平面形状相符合。
通过使密封装置具有密封件载体，且所述密封件载体被成形为符合TMP罩壳以及电子驱动器壳体的内表面两者的通常复杂的三维、非平面表面相符合，能够重复地实现泵的这两部分之间的有效密封而没有与先前的密封方法相关联的问题。
附图说明
现在将参照附图进一步描述本发明的实施例，附图中：
图1说明性地示出根据本发明的密封装置；
图2说明性地示出根据本发明的实施例，抵靠驱动器壳体的内部非平面表面部分定位的密封装置；
图3说明性地示出涡轮分子泵的用于接收图2的抵靠驱动器壳体的内表面部分定位的密封装置的对应非平面表面部分。
具体实施方式
参考图1到3：
密封装置2包括密封件载体4，其至少在其周边边缘形成或成形成与驱动器壳体12的复杂三维非平面内表面部分44以及涡轮分子泵罩壳24的复杂三维非平面外表面部分46两者相符合或者匹配。
密封装置2也包括密封件6，其从载体4的周边边缘延伸并且连接到载体4的周边边缘。因此，当密封装置2被放置在泵罩壳24和驱动器壳体12之间时，使密封件6与罩壳表面部分46和壳体表面部分44两者紧密接触，以便在驱动器壳体12和泵罩壳24之间密封。也就是说，从密封件载体4的周边边缘延伸的密封件6与外罩壳部分和内壳体部分两者协作，以在其间形成密封。
根据本实用新型的包括密封件载体4和密封件6的密封装置2的使用使得能够在涡轮分子泵和电子驱动器壳体之间快速地组装和可靠地密封。
密封件载体4可由任何合适的材料形成，所述材料能够大致维持驱动器壳体12的内表面部分44以及涡轮分子泵罩壳24的外表面部分46的形状，同时允许一定程度的柔性，以确保能够适应载体本身或载体将被放置在其间的各个设备的公差中的差异。例如，可以通过用玻璃填料注塑成型来使用诸如聚对苯二甲酸丁二醇酯的热塑性工程聚合物，使得至少其外边缘或周边与涡轮分子泵罩壳的外表面部分和壳体的内表面部分的非平面形状相符合或匹配。
密封件6可由任何合适的密封材料形成，例如被注塑成型于密封件载体的周边边缘上的热塑性聚酯弹性体。该密封件也可以是用粘合剂或其他合适的连接手段被固定到密封件载体的周边边缘的合适的密封材料，使得当维修该驱动器或涡轮分子泵时，一旦允许快速移除和更换密封装置，其仅需要被附接到复杂的三维载体形状。
该密封件载体也可以允许从泵罩壳到电子设备的一定程度的热传递，使得能够经由电子冷却回路通过载体从泵（马达等）移除热。密封件载体4包括至少一个电馈通（8、10、48），以便允许线缆通过密封装置2从涡轮分子泵马达（未示出）被传送到壳体12中的电子驱动器。
密封装置2也可代替上文描述的密封泡沫或配合的密封件中的任一者对现有驱动器壳体和TMP罩壳组合进行改造。
尽管本文已经参照附图详细公开了本发明的说明性实施例，但是将理解的是，本发明不限于该精确实施例，并且在不背离由所附权利要求及其等效物所限定的本发明的范围的情况下，本领域技术人员能够在其中实现各种变化和改型。
附图标记
2—密封装置
4—密封件载体
6—密封件
8—馈通
10—馈通
12—驱动器壳体
16—固定位置
18—固定位置
44—密封表面
24—涡轮分子泵壳体
46—密封表面
48—馈通
66—固定位置。