1.一种大流量液态源供应装置，包括第一TMA源罐、第一TMA供应箱、推送吹扫气架、第二TMA供应箱和第二TMA源罐，其特征在于：所述第一TMA源罐与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源罐与第一TMA供应箱之间设有防火隔墙，所述第二TMA供应箱与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐、第二TMA源罐所在房间分别在源罐上方设置有用于监控TMA源瓶是否泄漏的烟雾感应器和光感应器，所述第一TMA供应箱与第二TMA供应箱通过管道连接至阀组箱。
2.根据权利要求1所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一TMA源罐包括第一TMA源瓶、第一环形收集槽，所述第一TMA源瓶位于所述第一环形收集槽内部，所述第一TMA源瓶通过管道与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源瓶上端设有第一进气口和第一液态源输出口；
所述第二TMA源罐包括第二TMA源瓶、第二环形收集槽，所述第二TMA源瓶位于所述第二环形收集槽内部，所述第二TMA源瓶通过管道与所述第二TMA供应箱连接，所述第二TMA源瓶上端设置有第二进气口和第二液态源输出口。
3.根据权利要求2所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一环形收集槽与第二环形收集槽底部均设有蛭石。
4.根据权利要求2所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一TMA供应箱包括第一推送气体进气口、第一排气口、第一吹扫气体进口，第一液态源出口，所述第一推送气体进气口与所述第一进气口之间依次设有第一推送气体隔离阀、第一推送气体压力传感器、第一进气阀，所述第一排气口与所述第一进气口之间设有第一排气单向阀、第一排气隔离阀、第一推送气体侧吹扫隔离阀、第一进气阀，所述第一吹扫气体进口与所述第一液态源输出口之间依次设有第一排气单向阀、第一吹扫进气隔离阀、第一工艺侧吹扫隔离阀、第一液态源输出阀，所述第一液态源出口与所述第一液态源输出口之间依次设有第一供液出口手动隔离阀、第一液体供应隔离阀、第一液体供应压力传感器、第一液态源输出阀，所述第一排气隔离阀上游端通过管道与所述第一吹扫进气隔离阀下游端连接。
5.根据权利要求2所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第二TMA供应箱包括第二推送气体进气口、第二排气口、第二吹扫气体进口，第二液态源出口，所述第二推送气体进气口与所述第二进气口之间依次设有第二推送气体隔离阀、第二推送气体压力传感器、第二进气阀，所述第二排气口与所述第二进气口之间设有第二排气单向阀、第二排气隔离阀、第二推送气体侧吹扫隔离阀、第二进气阀，所述第二吹扫气体进口与所述第二液态源输出口之间依次设有第二吹扫气体单向阀、第二吹扫进气隔离阀、第二工艺侧吹扫隔离阀、第二液态源输出阀，所述第二液态源出口与所述第二液态源输出口之间依次设有第二供液出口手动隔离阀、第二液体供应隔离阀、第二液体供应压力传感器、第二液态源输出阀，所述第二排气隔离阀上游段通过管道与所述第二吹扫进气隔离阀下游端连接。
6.根据权利要求4、权利要求5所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一TMA供应箱、第二TMA供应箱、内部上方内部上方均设有用于检测两个供应箱内部管路阀件是否泄漏的烟雾感应器、光感应器和温度感应器，所述第一TMA供应箱、第二TMA供应箱上分别设有排风调节阀和负压表。
7.根据权利要求1所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述推送吹扫气架包括真空泵排气口、第三推送气体口与第三吹扫气体进气口，所述第一TMA供应箱上的第一排气口与所述第二TMA供应箱上的第二排气口之间通过排气管道连接，所述真空泵排气口与所述排气管道连接，所述真空泵排气口与所述排气管道之间依次设有排气主单向阀、排气主隔离阀、排气压力传感器、测试口隔离阀，所述第一TMA供应箱上的第一推送气体进气口与所述第二TMA供应箱上的第二推送气体进气口之间通过推送气体管道连接，所述第三推送气体口与所述推送气体管道连接，所述第三推送气体口与所述推送气体管道之间依次连接有第一垫片式过滤器、推送气体进口手动阀、在线式纯化器、推送气体减压阀、推送气体压力表、推送气体安全泄压阀，所述第一TMA供应箱上的第一吹扫气体进气口与所述第二TMA供应箱上的第二吹扫气体进气口通过吹扫气体管道连接，所述第三吹扫气体进口与所述吹扫气体管道连接，所述第三吹扫气体出口与所述吹扫气体管道之间依次设有第二垫片式过滤器、吹扫气体减压阀、吹扫气体压力表、针孔微漏阀。