技术总结
本实用新型公开了一种大流量液态源供应装置，包括TMA源罐、TMA供应箱、推送吹扫气架、TMA供应箱和TMA源罐。本实用新型方便大包装源瓶的就位固定，方便操作；同时也适合于后续更大容量包装的源瓶接入系统使用；使用大容量包装的源瓶，大大减少了更换源瓶次数，减低了人工操作工作量同时降低了安全风险源，提高了系统安全性；使用本实用新型可以有效减少了换瓶次数，可以保证同一源罐内的TMA质量均匀一致，尽可能长时间保持电池片的良率一致性；且本实用新型在源瓶与设备之间增加了防火隔墙，提升安全性，当源罐发生紧急情况时，不会损坏设备及内部的阀件仪表。
技术研发人员：沈一林;孙效义;吴海华
受保护的技术使用者：至砾机电设备(上海)有限公司
技术研发日：2018.08.24
技术公布日：2019.11.05