专利名称：探针组合体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在液晶显示面板那样的被检查体的电气试验中使用的探针组合体。
背景技术：
作为在液晶显示面板那样的平板状被检查体的电气试验中使用的探针组合体的1 种，有专利文献1所述的探针组合体。专利文献1所述的探针组合体包括支承片；多个探针，其分别具备沿带状的安装区域的前后方向(Y方向)延伸的前部区域和后部区域，该多个探针在安装区域的宽度方向 (Z方向)成为上下方向的状态下，以使安装区域相面对的方式并列配置在支承片的下侧； 细长的支承杆，其沿各上述探针的安装区域的厚度方向(X方向)贯穿该各上述探针的安装区域地延伸，且在两端部由支承片支承；一对带槽杆，其配置在支承片上而沿探针的排列方向(X方向)延伸。各带槽杆具有沿带槽杆的长度方向(X方向)隔开间隔地沿前后方向延伸且向下方开放的多个槽。支承杆的长度方向的端部收纳于板状的侧盖，该侧盖螺纹固定在支承片 (组块)的在探针的排列方向上的各端部。由此，探针利用支承杆和侧盖组装在支承片上。各探针在一方的面上具有覆盖该面的一部分的绝缘膜，另外，将自前部区域的前端部向下方突出的部分设为被按压在被检查体的电极上的前端针尖，将自后部区域的前端部向上方突出的部分设为被按压在片状连接器具的布线上的后端针尖。此外，探针的前部区域的一部分和后部区域的一部分分别收纳于一方及另一方的带槽杆的槽。由此，能够防止各探针的针尖区域沿带槽杆的长度方向位移，从而能够防止沿左右方向相邻的探针电接触。但是，出于机械强度的关系，带槽杆的槽的间距的缩小程度有限。然而，在上述以往的探针组合体中，由于将探针的前部区域收纳于共用的带槽杆的槽，所以必须在带槽杆上设置与探针相同数量的槽。因此，在上述以往的探针组合体中，无法在带槽杆上形成狭窄间距的槽，不能以狭窄间距配置探针。专利文献1 日本特开2007-303969号公报
发明内容
本发明的目的在于，提供一种不用缩小带槽杆的槽的间距就能以狭窄间距配置探针的探针组合体。本发明的探针组合体包括支承片；多个探针，其包括带状的安装区域、自该安装区域向前方延伸的前部区域、和自该前部区域向下方突出的前端针尖，该多个探针以上述安装区域的宽度方向成为上下方向的状态，以使上述安装区域相面对的方式并列配置在上述支承片的下侧；带槽杆，其配置在上述支承片的前端部下侧，具有沿左右方向隔开间隔且向下方开放的多个槽。沿左右方向相邻的至少2个探针的前部区域的至少一部分收纳于共用的第一槽。探针的收纳于上述共用的槽的至少1个前部区域也可以相对于上述安装区域沿左右方向及前后方向变形。各槽可以与左右方向及前后方向成角度地延伸。前部区域的至少一部分收纳于上述共用的槽的至少2个探针的前端针尖可以沿前后方向隔开间隔配置，也可以沿前后方向及左右方向隔开间隔配置。探针的收纳于上述共用的上述槽的前部区域的至少一部分也可以沿上下方向隔开有间隔。探针组合体还可以具有第2带槽杆，该第2带槽杆配置在上述支承片的后端部下侧，该第2带槽杆具有沿左右方向隔开间隔且向下方开放的多个第2槽。在该情况下，各探针还可以包括自上述安装区域向后方延伸的后部区域，和自该后部区域向上方突出的后端针尖，上述多个探针能够属于第1探针组和第2探针组中的任一个组，该第1探针组具有上述后部区域的至少一部分收纳于上述第2槽的多个第1探针，该第2探针组具有位于沿左右方向相邻的上述第1探针之间的多个第2探针。各第1探针还可以具有自上述后部区域向下方突出的突部，而且也可以将各第1探针的上述后部区域的至少一部分收纳于上述第 2槽。各第2探针的上述后部区域可以在位于该第2探针的左侧及右侧的第1探针的上述突部之间延伸。各第2槽也可以沿前后方向延伸，或与左右方向及前后方向成角度地延伸。上述第1槽和第2槽还可以分别向前后方向的一方侧及另一方侧开放。此外，探针组合体可以包括杆构件，其在上述第1探针和第2探针的安装区域的长度方向上隔开间隔配置的位置，沿该位置的厚度方向，贯穿该位置地延伸；侧盖，其为板状，收纳该杆构件的长度方向的各端部，该侧盖能拆卸地组装在上述支承片的侧部。各探针的上述前部区域也可以通过弹性变形而相对于上述安装区域变形。也可以上述前部区域中至少收纳于槽的部分电绝缘。在本发明的探针组合体中，由于沿左右方向相邻的至少2个探针的前部区域的至少一部分收纳于同一槽，因此在带槽杆上设置探针总数的二分之一以下的槽即可，能够减少槽间的隔壁的数量。因而，相应地能够缩小槽的间距，结果能以比以往窄的间距配置探针。当探针的收纳于上述同一槽的至少1个前部区域相对于上述安装区域沿左右方向及前后方向变形时，能够由槽间的隔壁按压该探针的前部区域。结果，能够维持该探针的前部区域的前端(针尖)相对于带槽杆的位置恒定。当各槽与左右方向及前后方向成角度地延伸时，各探针的前部区域也与左右方向及前后方向的槽的角度相对应地，相对于安装区域相对于左右方向及前后方向弯曲而延伸。这样，当前部区域相对于安装区域通过弹性变形而弯曲时，能够由槽间的隔壁按压前部区域被收纳在同一槽中的探针中的一方的探针的前部区域，由该一方的探针的前部区域按压另一方的探针的前部区域上。结果，即使在带槽杆与前部区域之间存在游隙，也能维持各前部区域的前端(针尖)相对于带槽杆的位置恒定。
图1是表示使用了本发明的探针组合体的第1实施例的探针单元的一实施例的图。图2是分解表示图1所示的探针组合体的分解立体图。图3是在卸下了侧盖的状态下从斜前方看去的图1所示的探针组合体的图。图4是在卸下了侧盖的状态下从斜后方看去的图1所示的探针组合体的图。图5是表示第1带槽杆及第2带槽杆与两种探针的位置关系的图。图6的㈧是图5的6A-6A剖面图，⑶是图5的6B-6B剖面图。图7是图3中的7部分的放大图。图8是图4中的8部分的放大图。图9是表示第1带槽杆及第2带槽杆与一方的探针的位置关系的图。图10是表示第1带槽杆及第2带槽杆与另一方的探针的位置关系的图。图11的(A)是表示支承片和第1带槽杆及第2带槽杆的一实施例的图，(B)是第 1带槽杆的仰视图，(C)是第2带槽杆的仰视图。图12是表示两种探针的位置关系的图。图13的㈧是探针的俯视图，⑶是表示第1探针的一实施例的图，(C)是表示第 2探针的一实施例的图。图14是表示探针组合体的第2实施例中的两个探针的位置关系的图。图15是表示在第2实施例中使用的第3探针的一实施例的图。图16是图14中的16部分的放大图。图17是图14的左视图。图18是第2实施例的仰视图。图19是表示探针组合体的第3实施例中的两个探针的位置关系的图。
图20是第3实施例的仰视图。图21是表示探针组合体的第4实施例的3个探针的位置关系的图。图22是第4实施例的仰视图。
具体实施例方式关于用语在本发明中，在图1中，将上下方向称作上下方向或Z方向，将左右方向称作以探针的前部区域侧为前方的前后方向或Y方向，将纸的背面方向称作左右方向或X方向。但是，上述方向依据支承在工作台那样的面板承受部上的被检查体的姿势而不同。因此，探针单元和探针组合体在本发明所述的上下方向(Z方向)实际为上下方向、上下颠倒、倾斜方向等任一方向的状态下，安装在试验装置上而进行使用。探针单元的实施例参照图1，探针单元10用在局部表示在图1和图5中的被检查体12的点亮检查中。被检查体12是封入有液晶的液晶显示面板，为长方形的形状，而且被检查体12在至少与长方形的2个边相对应的缘部以规定间距形成有多个电极14。各电极14形成为沿与配置有该电极14的缘部正交的X方向或Y方向延伸的带状。探针单元10包括板状的探针基座16，其安装在试验装置的主体框架(未图示)上；支承台18，其以沿左右方向延伸的状态配置在探针基座16的前端部上侧；多个探针装置20(在图1中表示1个)，其沿左右方向隔开间隔地载置在支承台18上；板状的中继基座22，其配置在探针基座16上；中继基板M，其配置在中继基座22上。探针基座16在沿被检查体12的配置有电极14的1个缘部的长度方向(在图示的例子中为左右方向)延伸，且厚度方向为上下方向的状态下，直接安装在上述主体框架上， 或借助板状基座那样的适当的构件安装在上述主体框架上。支承台18利用沿左右方向延伸的板状的主体部18a，和自主体部18a的左右方向的端部向下方延伸的一对腿部18b、18b，形成为门形。由此，支承台18具有向前方、后方和下方开放的空间26 (参照图1)。利用从下方向上方贯穿探针基座16的沿左右方向分开的位置从而与腿部18b、18b螺纹接合的一对螺纹构件(未图示)，将支承台18安装在探针基座16上。在图示的例子中，多个探针装置20共用支承台18。因而，探针装置20沿左右方向分开地安装在主体部18a上。但是，也可以每1个探针装置20设置1个支承台18，每2个探针装置20设置1个支承台18，或每3个探针装置20设置1个支承台18。各探针装置20包括探针组合体30 ；支承组块32，其支承探针组合体30 ；连结组块34，其对支承组块32进行支承；结合组块36，其支承在支承组块32的下侧，将探针组合体30组装在支承组块32上；连接组块38，其配置在支承组块32与结合组块36之间，且安装在支承组块32的下侧。如图2 图4所示，探针组合体30将利用导电性材料制成板状的多个第1探针40 和多个第2探针42，以沿左右方向隔开间隔且沿前后方向延伸的状态，交替配置于第1带槽杆46和第2带槽杆48，第1带槽杆46和第2带槽杆48沿前后方向隔开间隔地组装在块状的支承片44的下侧。至少外周面具有电绝缘性的杆构件50、52以贯穿状态贯通于第1探针40及第2 探针42。第1探针40及第2探针42利用杆构件50、52，收纳上述杆构件50、52的各端部的板状的侧盖M，和位于侧盖M的外侧的板状的另一侧盖56，组装在支承片44上。各第1探针40如图13的⑶所示，包括板状的针主体部即安装区域40a，其形成为矩形；前部区域40b，其自安装区域40a向前方呈悬臂梁状一体地延伸；后部区域40c， 其自安装区域40a向后方呈悬臂梁状一体地延伸；前端针尖40d，其自前部区域40b的前端向下方一体地延伸；后端针尖40e，其自后部区域40c的后端向上方一体地延伸；舌片状的突部40f，其自后部区域40c向下方突出且沿前后方向延伸。各第2探针42如图13的(C)所示，形成为包括如下构件的叶片型针，即，板状的针主体部即安装区域42a，其形成为矩形；前部区域42b，其自安装区域4 向前方呈悬臂梁状一体地延伸；后部区域42c，其自安装区域42a向后方呈悬臂梁状一体地延伸；前端针尖 42d，其自前部区域42b的前端向下方一体地延伸；后端针尖42e，其自后部区域42c的后端向上方一体地延伸。但是，各第2探针42并不具有与第1探针40的突部40f相对应的突部。前部区域40b和后部区域40c具有比安装区域40a的宽度尺寸小的宽度尺寸，前部区域42b和后部区域42c具有比安装区域42a的宽度尺寸小的宽度尺寸，而且前部区域 40b和后部区域40c自安装区域40a的所对应的前端下部或后端中央部呈悬臂梁状延伸，前部区域42b和后部区域42c自安装区域4 的所对应的前端下部或后端中央部呈悬臂梁状延伸。前端针尖40d、42d和后端针尖40e、4&形成为三角形，且前端尖锐。第1探针40在安装区域40a的中央部具有供杆构件50贯穿的圆形的通孔40g，并且在安装区域40a的前部具有供杆构件52贯穿且比通孔40g小的圆形的通孔40h，第2探针42在安装区域42a的中央部具有供杆构件50贯穿的圆形的通孔42g，并且在安装区域 42a的前部具有供杆构件52贯穿且比通孔42g小的圆形的通孔42h。第1探针40和第2探针42具有相同的厚度尺寸，而且在左右方向的各表面具有电绝缘膜。至少前部区域40b和后部区域40c能够相对于所对应的安装区域40a弹性变形， 至少前部区域42b和后部区域42c能够相对于所对应的安装区域4 弹性变形。如图2 图4及图9 图11等所示，支承片44由具有电绝缘性的陶瓷和合成树脂等制成，而且在后端部下侧具有向下方、左侧和右侧开放的槽，即凹部64(参照图2)。第1带槽杆46和第2带槽杆48由具有电绝缘性的陶瓷和合成树脂等制成。位于前方的第1带槽杆46利用螺纹固定、粘接等适当的方法安装在支承片44的前端部下侧，位于后方的第2带槽杆48利用螺纹固定、粘接等适当的方法安装在支承片44的后端部下侧。第1带槽杆46具有自前端部上表面向上方突出而沿左右方向延伸的抵接部 66 (参照图2、图9和图10)，使抵接部66与支承片44的前表面下部抵接。由此，决定第1 带槽杆46和支承片44的在前后方向上的位置。第2带槽杆48具有自前端部上表面向上方突出而沿左右方向延伸的抵接部 68 (参照图2、图9和图10)，将抵接部68插入到支承片44的凹部64中，使抵接部68与形成凹部64的朝向前方的面抵接。由此，决定第2带槽杆48和支承片44的在前后方向上的位置。如图5 图11等所示，第1带槽杆46具有多个第1槽60 (参照图11的⑶)，该第1槽60沿左右方向隔开间隔，与前后方向和左右方向成角度地倾斜延伸。第2带槽杆48 具有沿左右方向隔开间隔且沿前后方向延伸的多个第2槽62(参照图11的(C))。第1槽 60和第2槽62均形成为向前后方向两侧及下方开放的槽。各第1槽60具有与第1探针40的前部区域40b及第2探针42的前部区域42b的厚度尺寸大致相同的、沿左右方向的宽度尺寸，从而能在使第1探针40的前部区域40b及第2探针42的前部区域42b沿上下方向位移了的状态下收纳该前部区域40b、42b。各第2槽62具有与第1探针40的后部区域40c的左右方的厚度尺寸大致相同的、沿左右方向的宽度尺寸，从而能够收纳第1探针40的后部区域40c。第1槽60和第2 槽62以相同的间距形成于所对应的带槽杆46或带槽杆48。杆构件50、52在图示的例子中具有圆形的截面形状，而且由陶瓷那样的硬质的电绝缘性材料形成。但是，上述杆构件50、52也可以是利用电绝缘性材料包覆导电性材料而成的构件，而且也可以具有矩形、六边形等多边形那样的其他的横截面形状。在后者的情况下，供上述杆构件贯穿的各探针和各侧盖的通孔也具有与上述杆构件的截面形状相同的形状。杆构件50贯通在第一探针40的通孔40g和第二探针42的通孔42g中，并且将杆构件50的各端部收纳在设于内侧的侧盖M的孔Ma(参照图2)中而由该侧盖M支承。同样，杆构件52贯通在第一探针40的通孔40h和第二探针42的通孔42h中，并且将杆构件52的各端部收纳在设于内侧的侧盖M的孔Mb (参照图2)中而支承于该侧盖M。第1探针40和第2探针42以安装区域40a、42a的厚度方向为左右方向且沿左右方向交替配置的状态，并列配置在第1带槽杆46和第2带槽杆48上。各第1槽60如图5、图6的㈧和图7所示，在使1组的第1探针40和第2探针 42的前部区域40b、42b的一部分沿上下方向分开的状态下，收纳该前部区域40b、42b的一部分。各第2槽62收纳1个第1探针40的后部区域40c的一部分。各第2探针42的后部区域42c在相邻的两个第1探针40的突部40f之间延伸。各第1探针40的前部区域40b在第1槽60内与左右方向及前后方向成角度地延伸。各第1探针40的后部区域40c在第2槽62内沿前后方向延伸。各第1探针40的前端针尖40d在第1槽60的前方位置向下方延伸。各第1探针40的后端针尖40e自第2槽 62向后方突出，突部40f自第2槽62向下方突出。各第2探针42的前部区域42b以前端针尖42d自第1槽60的前后方向的中途向下方突出的状态，在第1槽60内，在第1探针40的前部区域40b的高度位置的下侧沿前后方向延伸。各第2探针42的后部区域42c以后端针尖42e自第2槽62向后方突出而向上方延伸的方式，在相邻的第1探针40的突部40f之间沿前后方向延伸。第1探针40的前端针尖40d的位置位于第2探针42的前端针尖42d的前方，第1 探针40的后端针尖40e的位置位于第2探针42的后端针尖42e的前方。因此，第1探针 40的前端针尖40d和第2探针42的前端针尖42d沿前后方向空有间隔，第1探针40的后端针尖40e和第2探针42的后端针尖4 沿前后方向空有间隔，可以使第1探针40和第 2探针42的前后方向的长度尺寸，特别是有效电长度形成为相同的尺寸。根据①前端针尖40d以与相对于前后方向的第1槽60的角度θ (参照图11的 (B))相同的角度相对于前后方向倾斜延伸；及②前端针尖40d位于前端针尖42d前方的结构得知，第1探针40的前端针尖40d和第2探针42的前端针尖42d在左右方向上也空有间隔。侧盖M、56利用电绝缘材料或导电性材料制作成板状。如图2所示，将贯通在探针的通孔40g、42g中的杆构件50的端部收纳在通孔Ma中，将贯通在探针的通孔40h、4^! 中的杆构件52的端部收纳在通孔Mb中，从而位于内侧的各侧盖M以能够使探针40、42 位移的方式支承探针40、42。利用螺栓那样的销状的多个螺纹构件65(参照图1和图2)将侧盖54、56能拆卸地安装在支承片44的左右方向的侧面上，该螺纹构件65贯穿沿上述侧盖M、56的前后方向隔开间隔的位置而与支承片44螺纹接合。另外，利用定位销72 (参照图1)将侧盖M相对于支承片44进行定位，该定位销 72贯穿沿前后方向隔开间隔地设在侧盖M和支承片44上的多个通孔70 (参照图2)，到达沿前后方向隔开间隔地设在另一方侧的侧盖M上的其他的多个通孔70 (参照图2)。这样，第1探针40和第2探针42利用杆构件50、52、侧盖M、56、螺纹构件65和定位销72等，能分离地组装在支承片44上，第1探针40和第2探针42的左右方向及前后方向的位置被定位。通过将杆构件50、52组装在侧盖M、56上，将第1带槽杆46和第2带槽杆48组装在支承片44上，将侧盖M、56组装在支承片44上，能够将各探针组装保持于支承片44。
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在附图中，表示了相邻的探针沿左右方向隔开较大间隔的配置方式，但实际上探针的排列间距很小。探针的数量、厚度尺寸、排列间距和带槽杆的槽的数量、配置间距、宽度尺寸，根据被检查体的种类、特别是电极的配置间距和宽度尺寸的不同而不同。将第1探针40和第2探针42以上述状态安装在带槽杆46、48上，与由此形成的组合体并列或在该组合体的前后方，将两个带槽杆46、48以上述状态安装在支承片44上， 然后利用螺纹构件65将侧盖M、56以上述状态安装在支承片44上，从而能够组合形成探针组合体30。再次参照图1，将支承组块32利用板状的2个支承部32a、32b制作成L字形的截面形状。连结组块；34利用安装在支承台18上的主体部34a，和自主体部3 的上部向前方延伸的延伸部34b，形成为倒L字形的形状。结合组块36被适当的结合器具78安装于支承组块32的支承部32b的下侧，探针组合体30利用螺纹构件那样的适当的结合器具(未图示)组装在结合组块36的下侧，该螺纹构件自上方向下方贯穿结合组块36而与支承片44螺纹接合。结合器具78在图示的例子中表示成例如日本特愿2009-174248所述的构件，但也可以是沿上下方向贯穿支承组块32的支承部32b而与结合组块36螺纹接合的螺纹构件。利用一对导轨80和引导件82，支承组块32能沿上下方向移动地与连结组块34的主体部34a的前表面相连结，上述一对导轨80沿左右方向隔开间隔且沿上下方向延伸，弓丨导件82在两个导轨80之间沿上下方向延伸，并且支承组块32利用螺栓84能调整上下方向的位置地与连结组块34的延伸部34b相连结。两个导轨80是线性导轨，引导件82是线性引导件。两个导轨80安装在支承组块 32的支承部3 的后端面上。与此相对，引导件82以能使两个导轨80相对于引导件82沿上下方向移动的方式，配置在左右方向的两个导轨80之间，而且引导件82安装在连结组块 34的主体部34a的前端面上。螺栓84从上方向下方贯穿连结组块34的延伸部34b，而且螺栓84与形成于支承组块32的螺纹孔86螺纹接合。支承组块32被沿左右方向隔开间隔地配置的一对压缩螺旋弹簧88 (在图1中表示其中一个)向下方施力。各压缩螺旋弹簧88配置在板状的钢板弹簧92与支承组块32的支承部3 之间， 该钢板弹簧92利用多个螺纹构件90 (在图1中表示其中之一)安装在连结组块34的延伸部34b上。由此，通过调整螺栓84向连结组块34的延伸部34b的旋入量，不但能够调整支承组块32的高度位置，还能调整探针组合体30的高度位置。钢板弹簧92具有供螺丝刀那样的工具的前端部从上方插进而调整螺栓84的旋转量的通孔92a。由此，不用自连结组块34拆卸钢板弹簧92，就能不仅调整支承组块32的高度位置，还能调整探针组合体30的高度位置，因此容易进行该种高度位置的调整作业。连结组块34利用多个螺栓94(在图1中表示1个)能拆卸地安装在支承台18上， 该螺栓94从上方向下方贯穿连结组块34的主体部3 而与支承台18的主体部18a螺纹接合。中继基座22以厚度方向为上下方向的状态，利用未图示的多个螺纹构件配置在探针基座16上。中继基板M是具有分别与探针装置20的探针相对应的多条布线(未图示)的布线基板。中继基板M的布线利用每个探针装置20所具有的片状的电连接器具100与对应的探针电连接。连接组块38在支承组块32的下侧沿左右方向延伸，而且连接组块38配置在结合组块36的后端部上侧与支承组块32的后端部下侧之间。连接组块38利用沿左右方向隔开间隔配置的多个螺纹构件(未图示)，能分离地安装在支承组块32的下侧。电连接器具100具有沿前后方向延伸的多条布线，而且电连接器具100包括片状的第1布线区域102，其自探针装置20向后方延伸；片状的第2布线区域104，其自第1布线区域102向后方延伸。第1布线区域102具有沿左右方向隔开间隔而沿前后方向延伸的多个第1布线(未图示)，第2布线区域104具有沿左右方向隔开间隔而沿前后方向延伸的多个第2布线(未图示)。第1布线区域102是挠性印刷布线电路(FPC)、引板(TAB)或挠性印刷布线电路和引板组合而成的复合电路片。第2布线区域是挠性印刷布线电路(FPC)。第1布线区域 102位于结合组块36的下侧，而且第1布线区域102将驱动被检查体12的集成电路(未图示)配置在中间区域，此外第1布线区域102在结合组块36的下侧向后方延伸。如图1所示，将第1布线区域102的前端部以第1布线的前端部暴露于下方的状态维持在结合组块36的下表面上。由此，在组合成探针装置20的状态下，各探针的后端针尖e被第1布线的前端部按压而与第1布线电连接(参照图5)。如图1所示，通过将第1布线区域102在结合组块36的后端部向上方及前方折返成横着的U字形，从而以第1布线区域102的第1布线的后端部暴露于上方的状态，将第1 布线区域102的后端部维持在结合组块36的上表面上。如图1所示，在第2布线区域104的前端部位于第1布线区域102的折返部的上方的状态下，以及在第2布线区域104的第2布线的前端部位于连接组块38的下方的状态下，将第2布线区域104的前端部维持在连接组块38的下表面上。由此，在组合成探针装置20的状态下，第1布线区域102的第1布线的后端部和第2布线区域104的第2布线的前端部彼此按压而电连接。第2布线区域104自连接组块38的后端与探针基座16的前端之间被引导向探针基座16的上侧，而且通过支承台18的空间沈而进一步在探针基座16上向后方延伸。第2布线区域104利用设在第2布线区域104的后端的连接器(未图示)与中继基板M结合。该连接器具有借助电连接器具100的布线与对应的探针装置20的探针相连接的多个端子。这些端子与中继基板M的上述的布线相连接。中继基板M的布线与产生试验信号的电路(未图示)相连接。试验信号自上述电路经由电连接器具100而供给到探针，驱动(点亮)被检查体12。在探针组合体30中，由于将沿左右方向相邻的2个探针40、42的前部区域40b、 42b的至少一部分，以前端针尖40d、42d沿前后方向隔开间隔配置的状态，收纳在相对于左右方向及前后方向倾斜延伸的第1槽60中，所以在第1带槽杆46上设置探针总数的二分之一以下的第1槽60即可。因此，能够减少第1槽60间的隔壁的数量，因而相应地能够缩小第1槽60的间距。同样，由于使各第2探针42的后部区域42c位于相邻的2个探针40的突部40f 之间，所以在第2带槽杆48上设置探针总数的二分之一以下的第2槽62即可。因此，能够减少第2槽62间的隔壁的数量，因此相应地能够缩小第2槽62的间距。
这样，采用探针组合体30，与以往的探针组合体相比，不用缩小槽的间距就能以狭窄间距配置探针40、42。另外，在探针组合体30中，由于各第1槽60与左右方向及前后方向成角度地延伸，所以探针40、42的前部区域40b、42b也相对于安装区域40a、42a，相对于左右方向及前后方向弹性变形而弯曲延伸。因此，前部区域40b、42b的至少一部分被收纳在同一第1槽 60中的探针40、42的前端针尖40d、42d，与上述前端针尖40d、42d沿前后方向隔开间隔的结构相结合，而沿左右方向分开。当前部区域40b、42b相对于安装区域40a、4h弹性变形从而弯曲时，将前部区域被收纳在同一第1槽60中的探针40、42中的一方的探针的前部区域被第1槽60间的隔壁按压，另一方的探针的前部区域被上述一方的探针的前部区域按压。结果，即使第1带槽杆 46与前部区域之间存在游隙，也能维持各前部区域的前端(针尖)相对于第1带槽杆46的位置恒定。当第1槽60的相对于前后方向的角度θ (参照图11)过小时，前部区域相对于安装区域的弹性变形量减少，一方的探针的前部区域向第1槽60间的隔壁按压的按压力，和另一方的探针的前部区域向该一方的探针的前部区域按压的按压力变得过小。结果，各前端针尖相对于第1带槽杆46的位置变得不稳定。相反，当角度θ过大时，前部区域相对于安装区域的变形量变得过大，前部区域可能折损。结果，可以将第1槽60相对于前后方向的角度θ设为3度 60度，优选为5度 30度。但是，角度θ不但根据前端针尖40d、42d在左右方向及前后方向的各方向上的目标位置而定，还根据被检查体的电极在左右方向及前后方向的各方向上的位置而定。在探针组合体30中，通过使各探针具有电绝缘膜，来维持沿左右方向相邻的探针的电绝缘性。但是，也可以代替将绝缘膜设在各探针的厚度方向的两面上地，将电绝缘片配置在相邻的探针之间，也可以将电绝缘膜仅设在相邻的探针所接触的范围内，例如前部区域、后部区域和突部。在上述实施例中，将2个探针40、42的前部区域40b、42b配置在各第1槽60中， 但也可以将1个探针的前部区域配置在1个第1槽中，也可以以第1探针、第2探针、第1 探针的排列方式、第1探针、第2探针、第1探针、第2探针的排列方式，将3个以上的探针的前部区域配置在各第1槽中。也可以代替使各第2探针42的后部区域42c通过突部40f之间地，使各第2探针 42的后部区域42c的一部分位于对应的第2槽62中。第2槽62也与第1槽60同样，也可以相对于左右方向及前后方向成角度地延伸。参照图14 图18，探针组合体110使用多个图13的(C)所示的第2探针42和多个图15所示的第3探针112。各第3探针112除了在前部区域112b设有倒U字形的弯曲部112i的结构以外，其他结构与图13的(B)所示的第1探针40同样地形成。因此，各第3探针112包括板状的针主体部即安装区域112a，其形成为矩形；前部区域112b，其自安装区域11 向前方呈悬臂梁状一体地延伸；后部区域112c，其自安装区域11 向后方呈悬臂梁状一体地延伸；前端针尖112d，其自前部区域112b的前端向下方一体地延伸；后端针尖112e，其自后部区域112c的后端向上方一体地延伸；舌片状的突部112f，其自后部区域112c向下方突出，并且沿前后方向延伸；通孔112g、lia!；电绝缘膜(未图示)。探针组合体110除了如下结构以外，其他结构与使用第1探针40和第2探针42 的探针组合体30的构造相同，即，①第2探针42的前部区域42b和第3探针112的前部区域112b在第1槽60内与左右方向及前后方向成角度地延伸；②前部区域112b在比弯曲部 112 靠前端侧处在前部区域42b的上方延伸。前端针尖112d的位置位于前端针尖42d的前方，后端针尖11 的位置位于后端针尖4 的前方。因此，前端针尖112d和前端针尖42d沿前后方向空有间隔，后端针尖11 和后端针尖4 沿前后方向空有间隔。采用探针组合体110，与探针组合体30相同，与以往相比，也不用缩小槽的间距就能以狭窄间距配置探针40、42，而且可以将第2探针42和第3探针112的前后方向的长度尺寸、特别是有效电长度形成为相同尺寸。上述实施例均使第1槽60相对于左右方向及前后方向构成角度，但也可以如图19 和图20所示的探针组合体120那样，仅将第1槽60形成为沿前后方向延伸的构造。在探针组合体120中，使第1探针40的前部区域40b相对于安装区域40a弹性变形，与旁边的第2探针42的前部区域42b —起配置在同一个第1槽60中。另外，上述实施例均将2个探针40、42的前部区域40b、42b，或2个探针42、112的前部区域42b、112b配置在同一第1槽60中，但也可以如图21和图22所示的探针组合体 130那样，将3个以上的探针132、134、136的前部区域13沘、1；3413、13乩配置在同一个第1 槽60中。在图21和图22所示的探针组合体130中，探针132、134、136以如下状态配置，即， 在前部区域132b、134b和后部区域132c、134c中弹性变形而将前部区域132b、134b、136b 收纳在同一第1槽60中，且将后部区域132c、134c、136c收纳在同一第2槽中的状态。前部区域132b、i;34b、136b分别位于上段、中段和下段，后部区域132c、l!Mc、136c 分别位于上段、中段和下段。前端针尖132d位于前端针尖134d的前方，前端针尖134d位于前端针尖136d的前方，后端针尖13 位于后端针尖13 的前方，后端针尖13 位于后端针尖136e的前方。采用探针组合体120、130，与探针组合体30、110同样，与以往相比，也不用缩小槽的间距就能以狭窄间距配置探针40、42，而且可以将第2探针42和第3探针112的前后方向的长度尺寸、特别是有效电长度形成为相同尺寸。产业上的可利用性本发明不仅能够应用在封入有液晶的液晶显示面板的电气试验所用的探针组合体中，还能应用在液晶显示面板用玻璃基板那样的其他平板状被检查体的电气试验所用的探针组合体中。本发明并不限定于上述实施例，只要不脱离权利要求所述的主旨，可以进行各种变更。附图标记说明10、探针单元；12、被检查体；14、被检查体的电极；16、探针基座；18、支承台；20、 探针装置；30、探针组合体；40、42、第1探针及第2探针；40a、42a、安装区域；40b、42b、前部区域；40c、42c、后部区域；40d、42d、前端针尖；40e、42e、后端针尖；40f、突部；40g、42g、通孔；44、支承片；46、48、第1带槽杆及第2带槽杆；50、52、杆构件力4、56、侧盖；60、62、第1 槽及第 2 槽；110、120、130、探针组合体；112、132、134、130、探针；112aU32aU34aU36a,$ 装区域；112b、132b、134b、136b、前部区域；112c、132c、134c、136c、后部区域；112d、132d、 134d, 136d、前端针尖；11加、132e、13如、136e、后端针尖。
权利要求
1.一种探针组合体，其包括 支承片；多个探针，其包括带状的安装区域、自该安装区域向前方延伸的前部区域、和自该前部区域向下方突出的前端针尖，该多个探针以上述安装区域的宽度方向成为上下方向的状态，以使上述安装区域相面对的方式并列配置在上述支承片的下侧；带槽杆，其配置在上述支承片的前端部下侧，具有沿左右方向隔开间隔且向下方开放的多个槽，沿左右方向相邻的至少2个探针的前部区域的至少一部分收纳于共用的第一槽。
2.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，探针的收纳于上述共用的槽的至少1个前部区域相对于上述安装区域沿左右方向及前后方向变形。
3.根据权利要求1所述的探针组合体，其中， 各槽与左右方向及前后方向成角度地延伸。
4.根据权利要求1所述的探针组合体，其中， 各槽沿前后方向延伸。
5.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，前部区域的至少一部分收纳于上述共用的槽的至少2个探针的前端针尖沿前后方向隔开间隔配置。
6.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，前部区域的至少一部分收纳于上述共用的槽的至少2个探针前端针尖沿前后方向及左右方向隔开间隔配置。
7.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，探针的收纳于上述共用的上述槽的前部区域的至少一部分沿上下方向隔开有间隔。
8.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，该探针组合体还具有第2带槽杆，该第2带槽杆配置在上述支承片的后端部下侧，该第 2带槽杆具有沿左右方向隔开间隔且向下方开放的多个第2槽；各探针还包括自上述安装区域向后方延伸的后部区域，和自该后部区域向上方突出的后端针尖；上述多个探针能够属于第1探针组和第2探针组中的任一个组，该第1探针组具有上述后部区域的至少一部分收纳于上述第2槽的多个第1探针，该第2探针组具有位于沿左右方向相邻的上述第1探针之间的多个第2探针；各第1探针还具有自上述后部区域向下方突出的突部，而且各第1探针的上述后部区域的至少一部分收纳于上述第2槽；各第2探针的上述后部区域在位于该第2探针的左侧及右侧的第1探针的上述突部之间延伸。
9.根据权利要求8所述的探针组合体，其中，各第2槽沿前后方向延伸，或与左右方向及前后方向成角度地延伸。
10.根据权利要求8所述的探针组合体，其中，上述第1槽和第2槽分别还向前后方向的一方侧及另一方侧开放。
11.根据权利要求9所述的探针组合体，其中， 该探针组合体还包括杆构件，其在上述第1探针和第2探针的安装区域的长度方向上隔开间隔配置的位置， 沿该位置的厚度方向，贯穿该位置地延伸；侧盖，其为板状，收纳该杆构件的长度方向的各端部，该侧盖能拆卸地组装在上述支承片的侧部。
12.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，各探针的上述前部区域通过弹性变形而相对于上述安装区域变形。
13.根据权利要求1所述的探针组合体，其中，上述前部区域中至少收纳于槽的部分是电绝缘的。
全文摘要
本发明提供一种不用缩小带槽杆的槽的间距就能以狭窄间距配置探针的探针组合体。探针组合体包括支承片；多个探针，其包括带状的安装区域、自该安装区域向前方延伸的前部区域、和自该前部区域向下方突出的前端针尖，该多个探针在上述安装区域的宽度方向成为上下方向的状态下，以使上述安装区域相面对的方式并列配置在上述支承片的下侧；带槽杆，其配置在上述支承片的前端部下侧，该带槽杆具有沿左右方向隔开间隔且向下方开放的多个槽。沿左右方向相邻的至少2个探针的前部区域的至少一部分收纳在共用的槽中。
文档编号G01R1/073GK102565470SQ201110400368
公开日2012年7月11日 申请日期2011年12月5日 优先权日2010年12月3日
发明者久我智昭, 小笠原树理, 广田英辉 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司