一种应用于晶圆顶针长度检验的工装的制作方法

文档序号:11099073阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于晶圆顶针长度检验的工装,其特征在于,该工装包括工装本体,工装本体上设有第一检测边缘,第二检测边缘,第三检测边缘、第四检测边缘及立柱;所述第一检测边缘与第二检测边缘位于立柱的一侧并上下对应,第三检测边缘与第四检测边缘位于立柱的另一侧并上下对应,所述第一检测边缘与第二检测边缘之间为预设误差允许范围内晶圆顶针长度最小值检测区,所述第三检测边缘与第四检测边缘之间为预设误差允许范围内晶圆顶针长度最大值检测区。

2.如权利要求1所述的一种应用于晶圆顶针长度检验的工装,其特征在于,所述工装本体为工字型结构。

3.如权利要求1所述的一种应用于晶圆顶针长度检验的工装,其特征在于,所述第一检测边缘与第二检测边缘之间的距离小于第三检测边缘与第四检测边缘之间的距离。

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