探针及具备探针的电子设备的制作方法

本发明涉及探针及具备该探针的电子设备。

背景技术：

半导体装置或LSI(Large Scale Integration)等中，在其制造工序中，使用具备探针的电子设备进行通电试验，进行是否正常发挥功能的确认。在该通电试验中使用的电子设备中，通常使用两端的触点沿着同一直线进行往复移动的所谓的直线型的探针。

但是，上述的通电试验将半导体装置等检查对象物和检查装置利用探针进行电连接。但是，随着检查装置及检查对象物的多样化，难以将检查对象物和检查装置直线性地连接，利用直线型探针进行应对变得困难的情况不断增加。作为解决这种课题的一个方法，提出了两端的触点沿着不同的直线分别往复移动的所谓的偏置型的探针。

作为上述偏置型的探针，例如具有专利文献1中记载的探针。该探针具备：与外部端子接触的接触部、与接触部相连的波纹管形状的弹性部、与弹性部相连的连接部、设于连接部的连接端子。而且，接触部和连接端子以不在同一直线上往复移动的方式，经由连接部使连接端子偏置即错开。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2004-138405号公报

发明所要解决的课题

但是，上述的探针中，进行小型化时，弹性部的间隔变窄，如果要得到充分的行程，则弹性部变长，因此，存在不适于小型化的问题。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本发明的课题在于，提供一种适于小型化的探针及具备该探针的电子设备。

用于解决课题的方案

为了解决所述课题，本发明的探针具备：至少一个螺旋弹簧，其沿着中心线进行伸缩；第一触点，其配置在与所述中心线平行的第一直线上；第二触点，其配置在与所述中心线一致的第二直线上，所述第一、第二触点通过(经由)所述螺旋弹簧的弹簧力可往复移动地被支承，并且相互直接导通。

发明效果

根据本发明的探针，具备：沿着中心线进行伸缩的至少一个螺旋弹簧、配置在与中心线平行的第一直线上的第一触点、配置在与中心线一致的第二直线上的第二触点，第一、第二触点通过螺旋弹簧的弹簧力可往复移动地被支承，并且相互直接导通。由此，能够得到适于小型化的探针。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，具备：一个所述螺旋弹簧；第一柱塞，其具有：沿着所述第二直线设置且插入所述螺旋弹簧的一端的第一插入部、具有所述第一触点的第一接触部、以与所述第一插入部和所述第一接触部交叉的方式连结的中间部、设于所述第一插入部与所述中间部之间且与所述螺旋弹簧的中心线方向的一端接触的支承部；第二柱塞，其具有：插入所述螺旋弹簧的另一端且沿着所述第二直线设置的第二插入部、具有所述第二触点的第二接触部、设于所述第二插入部与所述第二接触部之间且与所述螺旋弹簧的中心线方向的另一端接触的支承部。

根据本实施方式，第一柱塞具有以与第一插入部和第一接触部交叉的方式连结的中间部。由此，能够得到适于小型化的探针。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，所述第一插入部及所述第一接触部和所述中间部以比0度大且45度以下的角度交叉。

根据本实施方式，与第一插入部及第一接触部和中间部以比45度大的角度交叉的探针相比较，在将探针收纳于检查单元的壳体时，不会与邻接的其它探针干涉，可以缩窄能配置的间隔。另外，在收纳于检查单元的壳体的状态下向壳体内按压第一柱塞时，能够降低作用于第一柱塞的负载，能够得到具有设计那样的动作特性的探针。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，所述中间部具有弯曲的形状。

根据本实施方式，能够以弯曲的形状构成中间部。因此，能够扩展探针的设计的自由度。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，具备沿着两条平行的中心线进行伸缩的第一、第二螺旋弹簧，所述第一螺旋弹簧的中心线为所述第一直线，所述第二螺旋弹簧的中心线为所述第二直线。

根据本实施方式，具备两个螺旋弹簧，因此，与具有一个螺旋弹簧的探针相比较，能够得到较高的弹簧负荷。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，具备：第一柱塞，其具有：沿着所述第一直线设置且插入所述第一螺旋弹簧的一端的第一插入部、具有配置在所述第一直线上的所述第一触点的第一接触部、设于所述第一插入部与所述第一接触部之间且与所述第一螺旋弹簧的中心线方向的一端接触的支承部；第二柱塞，其具有：沿着所述第二直线设置且插入所述第二螺旋弹簧的一端的第二插入部、具有配置在所述第二直线上的所述第二触点的第二接触部、设于所述第二插入部与所述第二接触部之间且与所述第二螺旋弹簧的中心线方向的一端接触的支承部；第三柱塞，其具有：沿着所述第一直线设置且插入所述第一螺旋弹簧的另一端的第三插入部、沿着所述第二直线设置且插入所述第二螺旋弹簧的另一端的第四插入部、以与所述第三插入部和所述第四插入部交叉的方式连结的中间部。

根据本实施方式，具备第三柱塞，该第三柱塞具有沿着第一直线设置且插入第一螺旋弹簧的另一端的第三插入部、沿着第二直线设置且插入第二螺旋弹簧的另一端的第四插入部、以与第三插入部和第四插入部倾斜地交叉的方式连结的中间部。由此，能够得到适于小型化的探针。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，所述第三插入部及所述第四插入部和所述中间部以比0度大且45度以下的角度交叉。

根据本实施方式，与第三插入部及第四接触部和中间部以比45度大的角度交叉的探针相比较，在将探针收纳于检查单元的壳体时，不会与邻接的其它探针干涉，可以缩窄能配置的间隔。另外，在收纳于检查单元的壳体的状态下，向壳体内按压第一、第二柱塞时，能够降低作用于第三柱塞的负载，能够得到具有设计那样的动作特性的探针。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，所述柱塞具有比所述螺旋弹簧更高的刚性。

根据本实施方式，能够得到具有设计那样的动作特性的探针。

作为本发明的实施方式，也可以设为如下结构，即，所述柱塞通过电铸法形成。

根据本实施方式，能够容易得到适于小型化的探针。

另外，本发明的电子设备具备所述探针和收纳该探针的壳体，所述第一、第二柱塞利用所述螺旋弹簧分别对所述壳体施力。

根据本发明的电子设备，能够得到具备适于小型化的探针的电子设备。

具体实施方式

图1是具备本发明第一实施方式的探针的检查单元的一例的立体图；

图2是表示去除图1所示的检查单元的一部分的状态的立体图；

图3是沿着图1的III－III线的剖面图；

图4是本发明第一实施方式的探针的立体图；

图5是图4所示的探针的V向视图；

图6是图4所示的探针的VI向视图；

图7是图4所示的探针的分解立体图；

图8是具备本发明第二实施方式的探针的检查单元的一例的立体图；

图9是表示去除图8所示的检查单元的一部分的状态的立体图；

图10是本发明第二实施方式的探针的立体图；

图11是图10所示的探针的XI向视图；

图12是图10所示的探针的XII向视图；

图13是图10所示的探针的分解立体图；

图14是具备本发明第三实施方式的探针的检查单元的一例的立体图；

图15是表示去除图14所示的检查单元的一部分的状态的立体图；

图16是本发明第三实施方式的探针的立体图；

图17是图16所示的探针的XVII向视图；

图18是图16所示的探针的XVIII向视图；

图19是图16所示的探针的分解立体图；

图20是具备本发明第四实施方式的探针的检查单元的一例的立体图；

图21是表示去除图20所示的检查单元的一部分的状态的立体图；

图22是沿着图20所示的XXII－XXII线的剖面图；

图23是本发明第四实施方式的探针的立体图；

图24是图23所示的探针的XXIV向视图；

图25是图23所示的探针的XXV向视图；

图26是图23所示的探针的分解立体图；

图27是具备本发明第五实施方式的探针的检查单元的一例的立体图；

图28是表示去除图27所示的检查单元的一部分的状态的立体图；

图29是本发明的第五实施方式的探针的立体图；

图30是图29所示的探针的XXX向视图；

图31是图29所示的探针的XXXI向视图；

图32是图29所示的探针的分解立体图。

具体实施方式

以下，参照附图说明具备本发明的探针的检查单元的实施方式。此外，以下的说明中，在说明附图中表示的结构方面，使用“上”、“下”、“左”、“右”等的表示方向的术语、及包含它们的其它术语，但使用这些术语的目的是为了通过附图容易理解实施方式。因此，这些术语仅表示实际使用本发明的实施方式时的方向，不应利用这些术语，限定性地解释专利请求范围所记载的发明的技术范围。

(第一实施方式)

图1是具备本发明第一实施方式的探针的检查单元的一例的立体图，图2是表示去除图1所示的检查单元的一部分的状态的立体图，图3是沿着图1的III－III线的剖面图。

如图1～图3所示，作为电子设备的一例的检查单元1具备壳体和收纳于壳体内的第一实施方式的探针30。壳体由壳体主体10和覆盖壳体主体10的壳体盖20构成，在壳体主体10收纳有探针30。

如图2所示，壳体主体10俯视具有将正方形的四边的角进行倒角的平面形状。在该壳体主体10的上面的大致中央设有凹部11。

在凹部11的底面设有多个用于收纳探针30的收纳部12。该收纳部12在从壳体主体10的上面观察的俯视下具有圆形状，沿着图2所示的X、Y方向相互分离地配置。另外，在收纳部12的底面分别设有用于使探针30的一端突出的触点开口部13。该触点开口部13俯视具有比收纳部12小的直径。此外，在俯视下，X方向是与壳体主体10的一边平行的方向，Y方向是与X方向正交的方向。

如图1所示，壳体盖20俯视具有与壳体主体10相同的平面形状。如图3所示，在该壳体盖20的底面的大致中央设有凹部21。

凹部21具有与壳体主体10的凹部11相同形状的开口，且以在将壳体盖20安装于壳体主体10的状态下，与壳体主体10的凹部11一致的方式配置。另外，在该凹部21的底面设有多个用于使探针30的另一端突出的触点开口部22。该触点开口部22与壳体主体10的凹部11的收纳部12同样，沿着图2所示的X、Y方向相互分离地配置。另外，如图3所示，触点开口部22以如下方式配置，在将壳体盖20安装于壳体主体10的状态下，通过触点开口部22的中心且与壳体盖20的上面正交的直线和通过设于壳体主体10的底面的触点开口部13的中心且与壳体主体10的底面正交的直线平行，且具有间隔L1。

图4是第一实施方式的探针30的立体图。图5是图4的探针的V向视图，图6是图4的探针的VI向视图。另外，图7是图4的探针的分解立体图。

如图4～图7所示，第一实施方式的探针30具备第一柱塞40、第二柱塞50和螺旋弹簧60。第一、第二柱塞40、50分别具有导电性，例如通过电铸法形成。

如图7所示，第一柱塞40具有：被夹持部41、与被夹持部41相连的中间部42、与中间部相连的接触部43，且以大致相同的厚度H1形成。此外，被夹持部41是第一插入部的一例，接触部43是第一接触部的一例。

被夹持部41具有矩形的平板形状，在其宽度较宽面上设有矩形状的导向槽44。该导向槽44从被夹持部41的前端(图7的下端)向与中间部42相连的基端(图7的上端)延伸。另外，如图7所示，导向槽44具有比第二柱塞50的厚度H2大的宽度W7。

中间部42向相对于被夹持部41的长边方向成45度的方向延伸。即，如图5所示，被夹持部41的中心线A1和中间部42的中心线A2构成θ1＝45度的角度。在中间部42的被夹持部41侧设有与螺旋弹簧60的一端(图7的上端)接触的支承部的一例的螺旋弹簧支承部45。该螺旋弹簧支承部45具有比被夹持部41的宽度W1大的宽度W2。另外，在中间部42的接触部43侧设有壳体支承部47。如图3所示，该壳体支承部47从接触部43的宽度W3方向的两侧突出，且具有比壳体盖20的触点开口部22的直径大的宽度W6。此外，被夹持部41的中心线A1与螺旋弹簧60的中心线C1一致。

接触部43具有大致矩形的平板形状，在其前端设有作为第一触点的一例的具有倒V字形状的触点46。该接触部43相对于被夹持部41的长边方向平行地延伸，并且向相对于中间部42的长边方向成45度的方向延伸。即，如图5所示，被夹持部41的中心线A1和接触部43的中心线A3平行，且中间部42的中心线A2和接触部43的中心线A3构成θ2＝45度的角度，中间部42以与被夹持部41和接触部43倾斜地交叉的方式连结。此外，图7所示的接触部43的宽度W3具有与被夹持部41的宽度W1大致相同的尺寸。

如图7所示，第二柱塞50具有接触部51和设于该接触部51的基端(图7的上端)的第一、第二弹性片52、53，以大致相同的厚度H2形成。此外，接触部51是第二接触部的一例，第一、第二弹性片52、53是第二插入部的一例。

接触部51具有大致矩形的平板形状，在其前端(图7的下端)设有作为第二触点的一例的具有V字形状的触点54。另外，在接触部51的基端，与螺旋弹簧60的另一端(图7的下端)接触的支承部的一例的螺旋弹簧支承部55向接触部51的宽度W4方向的两侧突出设置。

此外，接触部51将其触点54配置在第一柱塞40的被夹持部41的中心线A1上。即，如图5所示，在与螺旋弹簧60的中心线C1平行的第一直线即接触部43的中心线A3上配置有作为第一触点的第一柱塞40的触点46，在与螺旋弹簧60的中心线C1一致的第二直线即接触部51的中心线A1上配置有作为第二触点的第二柱塞50的触点54。

第一、第二弹性片52、53从接触部51的基端(图7的上端)沿着接触部51的长边方向，隔开间隔相互平行地延伸。另外，第一、第二弹性片52、53以具有比第一柱塞40的厚度H1大的间隔的方式，分别配置于接触部51的基端的宽度W4方向的两端。即，在接触部51的宽度W4方向，第一、第二弹性片52、53以外向面间的距离与接触部51的宽度W4大致相等，且内向面间的距离比第一柱塞40的厚度H1大的方式设置。另外，第一、第二弹性片52、53的长度不同，第一弹性片52比第二弹性片53短。

在第一弹性片52的前端，朝向第二弹性片53突出设置有导向突起56。另外，在第二弹性片53的前端，朝向第一弹性片52突出设置有接触突起57。该接触突起57以在将第一弹性片52的导向突起56与第一柱塞40的导向槽44嵌合的状态下，相对于第一柱塞40的被夹持部41总是接触的方式被配置。

螺旋弹簧60由例如碳钢或不锈钢构成，如图5、图6所示，具有比第一柱塞40的被夹持部41的宽度W1(图7所示)及第二柱塞50的宽度W4(图7所示)略大的内径。另外，螺旋弹簧60具有与第一柱塞40的螺旋弹簧支承部45的宽度W2(图7所示)及第二柱塞50的设置有螺旋弹簧支承部55的部分的宽度W5(图7所示)大致相同的外径。

此外，螺旋弹簧60以在图3所示的状态即、使第一柱塞40和第二柱塞50相互组合并收纳于检查单元1的壳体的初始状态下，采用被压缩的状态的方式调整弹簧长度。

接着，对具备第一实施方式的探针30的检查单元1的组装工序进行说明。

最初，组装探针30。首先，从螺旋弹簧60的一侧向螺旋弹簧60的内部，将第一柱塞40从被夹持部41侧插入，另一方面，从螺旋弹簧60的另一侧向螺旋弹簧60的内部，将第二柱塞50从第一、第二弹性片52、53侧插入。此时，如图6所示，第一、第二柱塞40、50以与第一柱塞40的宽度较宽面和第二柱塞50的宽度较宽面正交的方式插入。

当将第一、第二柱塞40、50插入螺旋弹簧60的内部时，在第二柱塞50的第一、第二弹性片52、53之间插入第一柱塞40的被夹持部41，被夹持部41由第一弹性片52和第二弹性片53夹持。而且，当将第一、第二柱塞40、50进一步插入螺旋弹簧60的内部时，第二柱塞50的导向突起56与第一柱塞40的导向槽44嵌合，而将第一、第二柱塞40、50连结。由此，探针30的组装完成。在已组装的状态下的探针30中，第二柱塞50的第二弹性片53的接触突起57总是与第一柱塞40的被夹持部41的基端侧(图7的导向槽44的上侧)接触。

探针30的组装完成时，将该探针30从第二柱塞50侧插入壳体主体10的收纳部12。然后，反复进行组装探针30的工序和将组装的探针30插入壳体主体10的收纳部12的工序，将探针30插入壳体主体10的全部的收纳部12时，将壳体盖20安装于壳体主体10，检查单元1的组装工序结束。

接着，对收纳于检查单元1的探针30的动作进行说明。

如图3所示，初始状态的探针30在将第一柱塞40的触点46从壳体盖20的触点开口部22突出，且将第二柱塞50的触点54从壳体主体10的触点开口部13突出的状态下，收纳于检查单元1的壳体。在该初始状态下，第一柱塞40通过螺旋弹簧支承部45受到螺旋弹簧60的恢复力，并经由壳体支承部47压接于壳体盖20。另外，第二柱塞50通过螺旋弹簧支承部55受到螺旋弹簧60的恢复力，并经由螺旋弹簧支承部55压接于壳体主体10。

此外，第一柱塞40的接触部43的中心线A3与通过壳体盖20的触点开口部22的中心且与壳体盖20的上面正交的直线一致，第一柱塞40的被夹持部41(第二柱塞50的接触部51)的中心线A1与通过壳体主体10的收纳部12的中心且与壳体主体10的底面正交的直线一致。

当按压第一、第二柱塞40、50的触点46、54，且向检查单元1的壳体内压入第一、第二柱塞40、50时，第一弹性片52的导向突起56沿着第一柱塞40的导向槽44开始滑动移动。此时，第一柱塞40的触点46沿着接触部43的中心线A3进行移动，且第二柱塞50的触点54沿着接触部51的中心线A1进行移动。另外，经由第一柱塞40的螺旋弹簧支承部45及第二柱塞50的螺旋弹簧支承部55，将施加于第一、第二柱塞40、50的力向螺旋弹簧60传递，并使其压缩。

当向检查单元1的壳体内进一步压入第一、第二柱塞40、50时，第一柱塞40的导向槽44和第二柱塞50的导向突起56接触，或将第一柱塞40的触点46及第二柱塞50的触点54压入壳体内，第一、第二柱塞40、50的滑动移动停止。然后，当释放施加于第一、第二柱塞40、50的触点46、54的力时，通过螺旋弹簧60的恢复力，第一柱塞40朝向壳体盖20施力，第二柱塞50朝向壳体主体10施力，恢复成图3所示的初始状态。这样，第一柱塞40的触点46及第二柱塞50的触点54通过螺旋弹簧60的弹簧力可往复移动地被支承。

第一实施方式的探针30中，第一、第二柱塞40、50分别具有比螺旋弹簧60高的刚性，并利用螺旋弹簧60吸收第一、第二柱塞40、50的移动量。因此，即使第一柱塞40的触点46和第二柱塞50的触点54未在同一直线上，也可以将施加于各触点46、54的力直接传递至螺旋弹簧60。

此外，优选被夹持部41的中心线A1及接触部43的中心线A3与中间部42的中心线A2构成的角θ1、θ2比0度大且45度以下。如果被夹持部41的中心线A1及接触部43的中心线A3与中间部42的中心线A2构成的角θ1、θ2超过45度，则向壳体内按压第一柱塞时，对第一柱塞40施加的负载(弯矩)变大。因此，被夹持部41和中间部42的连结部分会变形，第一柱塞和壳体主体的凹部的表面接触，且得不到探针的设计上必要的负荷的可能性变高。

第一实施方式的探针30的第一柱塞40中，被夹持部41的中心线A1和接触部43的中心线A3平行，且被夹持部41的中心线A1及接触部43的中心线A3和中间部42的中心线A2分别构成45度的角度。因此，向壳体内按压第一柱塞40时，可降低施加于第一柱塞40的负载，可避免第一柱塞40和壳体主体10的凹部11的表面的接触。由此，可以得到具有设计那样的动作特性的探针30。另外，例如，与在被夹持部41的中心线A1及接触部43的中心线A3和中间部42的中心线A2构成90度的角度的情况相比较，将探针30收纳于检查单元1的壳体时，不会与邻接的其它探针30干涉，可以缩窄可配置的间隔。

另外，将第二柱塞50的导向突起56嵌合组装于第一柱塞40的导向槽44的状态的探针30中，第二柱塞50的第二弹性片53的接触突起57总是与第一柱塞40的被夹持部41的基端侧(图7的导向槽44的上侧)接触。因此，可以在第一、第二柱塞40、50之间得到较高的接触稳定性。

另外，第一、第二柱塞40、50的移动通过第二柱塞50的导向突起56沿着导向槽44进行滑动移动而进行。因此，可以精确地检测第一柱塞40的被夹持部41和第二柱塞50的接触突起57接触的接触位置。

另外，第一实施方式的探针30利用螺旋弹簧60，使第一、第二柱塞40、50的触点46、54恢复成图3所示的初始状态。因此，即使使探针30小型化，也容易得到探针30的设计上必要的弹簧的负荷。进而，可缩短第一、第二柱塞40、50间的导通路径，因此，与柱塞具有波纹管形状的弹性部的探针相比，可降低导通时的阻抗。

(第二实施方式)

图8～图13是表示第二实施方式的探针230及具备第二实施方式的探针230的检查单元201的一例的图。该第二实施方式中，对与第一实施方式相同的部分标注相同的参照符号并省略说明，对与第一实施方式不同的点进行说明。此外，检查单元201为电子设备的一例。

如图10～图13所示，第二实施方式的探针230在第一柱塞140的中间部242沿着相对于被夹持部41的长边方向成90度的方向延伸，且接触部43沿着相对于中间部142的长边方向成90度的方向延伸的点上，与第一实施方式的探针30不同。即，探针230以如下方式构成，即，被夹持部41的中心线A1和中间部242的中心线A7构成θ1＝90度的角度，中间部242的中心线A7和接触部43的中心线A3构成θ2＝90度的角度。

这样，第一柱塞240具有成为θ1＝90度、θ2＝90度的中间部242，因此，可以抑制图11所示的探针230的长度L3，同时增长第一柱塞240的触点46和第二柱塞50的触点54之间的距离L4。

此外，第二实施方式的探针230中，第一柱塞140具有导电性，例如通过电铸法形成。

另外，第二实施方式的探针230中，在将探针230收纳于检查单元201的壳体内的初始状态下，中间部242与壳体盖20接触。即，第一柱塞240受到螺旋弹簧60的恢复力，经由中间部242压接于壳体盖20。因此，未设置与第一实施方式的探针30的壳体支承部47相当的结构。

(第三实施方式)

图14～图19是表示第三实施方式的探针330及具备第三实施方式的探针330的检查单元301的一例的图。该第三实施方式中，对与第一实施方式相同的部分标注相同的参照符号并省略说明，对与第一实施方式不同的点进行说明。此外，检查单元301为电子设备的一例。

如图16～图19所示，第三实施方式的探针330在第一柱塞340的中间部342以图16的XVII向视具有波形的平面形状(即，弯曲的形状)的点上，与第一实施方式不同。

中间部342由与被夹持部41相连的第一弯曲部347、与第一弯曲部347相连且与接触部43相连的第二弯曲部348构成。第一、第二弯曲部347、348以如下方式构成，即，在图17所示的Z方向上，第一弯曲部347的顶点P1及第二弯曲部348的顶点P2位于中间部342的螺旋弹簧支承部45和壳体支承部47之间。

这样，将第一、第二弯曲部347、348的顶点P1、P2配置在壳体支承部47和螺旋弹簧支承部45之间，因此，按压第一柱塞340的触点46，且向检查单元301的壳体内压入第一柱塞340时，即使中间部342弹性变形，也能够避免壳体主体10的凹部11或壳体盖20的凹部21的表面与中间部342接触的情况。

此外，第三实施方式的探针330中，第一柱塞340具有导电性，例如通过电铸法形成。

(第四实施方式)

图20～图26是表示第四实施方式的探针430及具备第四实施方式的探针430的检查单元401的一例的图。该第四实施方式中，对与第一实施方式相同的部分标注相同的参照符号并省略说明，对与第一实施方式不同的点进行说明。此外，检查单元401为电子设备的一例。

如图20～图22所示，检查单元401具备：壳体主体10、覆盖壳体主体10的壳体盖420、收纳于壳体主体10内的第四实施方式的探针430。利用壳体主体10和壳体盖420构成壳体。

如图20所示，壳体盖420俯视具有与壳体主体10相同的平面形状。如图22所示，该壳体盖420在其底面的大致中央具有用于收纳探针430的多个收纳部423。从底面方向观察壳体盖420的仰视时，该收纳部423具有圆形状，沿着图21所示的X、Y方向，相互分离地配置。另外，在该收纳部423的底面分别设有触点开口部22。该触点开口部22具有比收纳部423小的直径。另外，如图22所示，触点开口部22以如下方式构成，即，在将壳体盖420安装于壳体主体10的状态下，通过触点开口部22的中心且与壳体盖420的上面正交的直线和通过设于壳体主体10的底面的触点开口部13的中心且与壳体主体10的底面正交的直线平行，且具有间隔L2。

如图23～图26所示，第四实施方式的探针430具备第一柱塞70、第二柱塞80、第三柱塞90、第一、第二螺旋弹簧61、62。第一～第三柱塞70、80、90分别具有导电性，例如通过电铸法形成。

如图26所示，第一、第二柱塞70、80具有接触部51和第一、第二弹性片52、53，且具有与第一实施方式的第二柱塞50相同的形状及结构。此外，第一柱塞70的接触部51、触点54及第一、第二弹性片52、53分别是第一接触部、第一触点及第一插入部的一例，第二柱塞80的接触部51、触点54及第一、第二弹性片52、53分别是第二接触部、第二触点及第二插入部的一例。另外，第一柱塞70的接触部51的中心线A4与第一螺旋弹簧61的中心线C4一致，第二柱塞80的接触部51的中心线A6与第二螺旋弹簧62的中心线C6一致。

如图26所示，第三柱塞90具有第一被夹持部91、与第一被夹持部91相连的中间部92、与中间部92相连的第二被夹持部93。第一、第二被夹持部91、93具有与第一实施方式的第一柱塞40的被夹持部41相同的形状及结构，且相互平行地延伸。即，第一被夹持部91的中心线A4和第二被夹持部93的中心线A6平行。此外，第一被夹持部91为第三插入部的一例，第二被夹持部93为第四插入部的一例。

中间部92以与第一、第二被夹持部91、93倾斜地交叉的方式连结。即，如图24所示，第一、第二被夹持部91、93的中心线A4、A6与中间部92的中心线A5构成θ＝45度的角度。另外，在中间部92的两端分别设有螺旋弹簧支承部45。

接着，对具备第四实施方式的探针430的检查单元401的组装工序进行说明。

首先，从第一螺旋弹簧61的一端侧向其内部，将第一柱塞70从第一、第二弹性片52、53侧插入，从第一螺旋弹簧61的另一端侧向其内部，插入第三柱塞90的第一被夹持部91。另外，从第二螺旋弹簧62的一端侧向其内部，将第二柱塞80从第一、第二弹性片52、53侧插入，且从第二螺旋弹簧62的另一端侧向其内部插入第三柱塞90的第二被夹持部93。此时，如图25所示，第一、第二柱塞70、80和第三柱塞90以第一、第二柱塞70、80的宽度较宽面和第三柱塞90的宽度较宽面正交的方式插入。

当将第一～第三柱塞70、80、90分别插入第一、第二螺旋弹簧61、62的内部时，在第一柱塞70的第一、第二弹性片52、53之间插入第三柱塞90的第一被夹持部91，第一被夹持部91由第一柱塞70的第一、第二弹性片52、53夹持。另外，在第二柱塞80的第一、第二弹性片52、53之间插入第三柱塞90的第二被夹持部93，第二被夹持部93由第二柱塞80的第一、第二弹性片52、53夹持。而且，当将第一～第三柱塞70、80、90进一步插入第一、第二螺旋弹簧61、62的内部时，第一柱塞70的第一弹性片52的导向突起56与第三柱塞90的第一被夹持部91的导向槽44嵌合，第二柱塞80的第一弹性片52的导向突起56与第三柱塞90的第二被夹持部93的导向槽44嵌合，从而组装探针430。

当组装探针430时，将该探针430插入壳体主体10的收纳部12。然后，反复进行组装探针430，且将组装的探针430插入壳体主体10的收纳部12的工序，当在壳体主体10的所有的收纳部12中插入探针430时，将壳体盖420安装于壳体主体10，检查单元401的组装工序结束。

接着，对收纳于检查单元401的状态的探针430的动作进行说明。

如图22所示，收纳于检查单元401的初始状态的探针430在第一柱塞70的触点54从壳体盖420的触点开口部22突出，且第二柱塞80的触点54从壳体主体10的触点开口部13突出的状态下，收纳于检查单元401的壳体。在该初始状态下，第一柱塞70通过螺旋弹簧支承部55受到第一螺旋弹簧61的恢复力，经由螺旋弹簧支承部55压接于壳体盖420。另外，第二柱塞80通过螺旋弹簧支承部55受到第二螺旋弹簧62的恢复力，并经由螺旋弹簧支承部55压接于壳体主体10。

此外，第一柱塞70的中心线A4和通过壳体盖420的收纳部423的中心且与壳体盖420的上面正交的直线一致，第二柱塞80的中心线A6和通过壳体主体10的收纳部12的中心且与壳体主体10的底面正交的直线一致。

当按压第一、第二柱塞70、80的触点54，且向检查单元401的壳体内压入第一、第二柱塞70、80时，第一、第二柱塞70、80的第一弹性片52的导向突起56沿着第三柱塞90的导向槽44开始滑动移动。此时，第一柱塞70的触点54沿着第一柱塞70的中心线A4移动，第二柱塞50的触点54沿着第二柱塞80的中心线A6移动。经由第一、第二柱塞70、80的螺旋弹簧支承部55，施加于第一、第二柱塞70、80的力向第一、第二螺旋弹簧61、62传递，并使其被压缩。

当向检查单元401的壳体内进一步压入第一、第二柱塞70、80时，第一柱塞70的导向突起56和第三柱塞90的第一被夹持部91的导向槽44接触，第二柱塞80的导向突起56和第三柱塞90的第二被夹持部93的导向槽44接触，或将第一柱塞40的触点46及第二柱塞50的触点54压入壳体内，由此，第一、第二柱塞70、80的移动停止。然后，当释放施加于第一、第二柱塞70、80的触点54的力时，通过第一、第二螺旋弹簧61、62的恢复力，第一柱塞70朝向壳体盖420施力，第二柱塞80朝向壳体主体10施力，并恢复成图22所示的初始状态。这样，第一、第二柱塞70、80的触点54通过螺旋弹簧61、62的弹簧力可往复移动地被支承。

第四实施方式的探针430中，具有两个螺旋弹簧61、62，因此，相比较于具有一个螺旋弹簧的探针，可以得到较高的弹簧负荷。

另外，第四实施方式的探针430中，第一～第三柱塞70、80、90分别具有比螺旋弹簧61、62高的刚性，利用螺旋弹簧61、62吸收第一～第三柱塞70、80、90的移动量。因此，即使第一、第二柱塞70、80的触点54不在同一直线上，也可以将施加于各触点54的力直接传递至螺旋弹簧61、62。

(第五实施方式)

图27～图32是表示第五实施方式的探针530及具备第五实施方式的探针530的检查单元501的一例的图。该第五实施方式中，对与第一，第四实施方式相同的部分标注相同的参照符号并省略说明，对与第四实施方式不同的点进行说明。此外，检查单元501为电子设备的一例。

如图29～图32所示，第五实施方式的探针530在第三柱塞190的中间部192沿着相对于第一、第二被夹持部91、93的长边方向成90度的方向延伸的点上与第四实施方式不同。即，第一、第二被夹持部91、93的中心线A4、A6与中间部192的中心线A8构成θ＝90度的角度。

这样，第三柱塞190具有成为θ＝90度的中间部192，因此，可以抑制图30所示的探针530的长度L3，同时，增长第一柱塞70的触点54和第二柱塞80的触点54之间的距离L4。

此外，第五实施方式的探针530中，第三柱塞190具有导电性，例如通过电铸法形成。

(其它实施方式)

第一～第五实施方式中，第一弹性片52的导向突起56只要与导向槽44嵌合，且与导向槽44嵌合时在导向槽44内能限制各柱塞的滑动移动即可，形状、大小等可以适当选择。

第一～第五实施方式中，第二弹性片53的接触突起57根据设计可适当选择形状或大小等。通过变更接触突起57的形状等，可以调整相对于第二弹性片53的各被夹持部的弹力。

第一～第五实施方式中，将第一弹性片52与第二弹性片53的长度差L2以具有与导向槽44的长度L1大致相同尺寸的方式形成，但不限于此。第一弹性片和第二弹性片的长度差只要是导向槽的长度以上即可，可适当变更。

第一～第五实施方式中，将各柱塞的厚度设为相同，但不限于此。各柱塞的厚度也可以适当变更。另外，也可以使厚度根据各柱塞的部分不同而各异。

第一～第五实施方式的各柱塞也可以根据设计进行镀敷、涂敷等的表面处理。

第一～第五实施方式的各柱塞通过电铸法形成，但不限于此。只要是可形成第一～第五实施方式的各柱塞的方法，就可以任意选择。

第一～第五实施方式中，在接触部43、51的中心设有触点46、54，但不限于此。可以设于接触部43、51的一端的任意位置。

在第一～第三实施方式中，在第一柱塞40设有被夹持部41，在第二柱塞50设有第一、第二弹性片52、53，在第四、第五实施方式中，在第一、第二柱塞70、80设有第一、第二弹性片52、53，在第三柱塞90设有第一、第二被夹持部91、93，但不限于此。例如，第一～第三实施方式中，也可以在第一柱塞设置第一、第二弹性片，在第二柱塞设置被夹持部，在第四、第五实施方式中，在第一、第二柱塞设置被夹持部，在第三柱塞90设置第一、第二弹性片。

另外，如果可能，则在第一～第三实施方式中，也可以在第二柱塞50设置中间部42及接触部43，在第四、第五实施方式中，在第一、第二柱塞70、80设置中间部42及接触部43。

本发明的探针中，作为插入部，组合使用被夹持部41及第一、第二弹性片52、53，但不限于此。如果是从螺旋弹簧的两端插入时，相互可以滑动移动且可导通的插入部，则可任意采用。

第一～第五实施方式及变形例中叙述的构成要素也可以适当组合，另外，当然也可以适当选择、置换或删除。

产业上的可利用性

本发明的探针可适用于例如IC用测试插座等电子设备。

符号说明

1、201、301、401、501 检查单元(电子设备)

10 壳体主体

11 凹部

12 收纳部

13 触点开口部

20、420 壳体盖

21 凹部

22 触点开口部

423 收纳部

30、230、330、430、530 探针

40、140、240 第一柱塞

41 被夹持部(第一插入部)

42 中间部

43 接触部(第一接触部)

44 导向槽

45 螺旋弹簧支承部(支承部)

46 触点(第一触点)

47 壳体支承部

50 第二柱塞

51 接触部(第二接触部，第八方面中，第一接触部)

52 第一弹性片(第二插入部，第八方面中，第一插入部和第二插入部)

53 第二弹性片(第二插入部，第八方面中，第一插入部和第二插入部)

54 触点(第二触点，第八方面中，第一触点和第二触点)

55 螺旋弹簧支承部(支承部)

56 导向突起

57 接触突起

60 螺旋弹簧

61 螺旋弹簧

62 螺旋弹簧

70 第一柱塞

80 第二柱塞

90、190 第三柱塞

91 第一被夹持部(第三插入部)

92、192 中间部

93 第二被夹持部(第四插入部)

A1 被夹持部41的中心线(第二直线)

A2 中间部42的中心线

A3 接触部43的中心线(第一直线)

A4 接触部51、第一被夹持部91的中心线

A5 中间部92的中心线

A6 接触部51、第二被夹持部93的中心线

A7 中间部242的中心线

A8 中间部192的中心线

C1 螺旋弹簧60的中心线

C4 螺旋弹簧61的中心线(第一直线)

C6 螺旋弹簧62的中心线(第二直线)