一种测漏装置的制作方法

本公开涉及漏液检测领域，并且更具体地涉及一种测漏装置。

背景技术：

APCVD机台装置内目前无漏水检测机制。当发生漏水情况时，不能及时发现，这可能会造成大量产品报废。由于APCVD机台内部温度较高，底部可达210℃，造成目前市场上已有的测漏装置无法在该环境下使用。

技术实现要素：

为了克服上述问题，本实用新型提供一种可以检测机台装置内存在漏水情况的测漏装置。

根据本实用新型的一方面，提供一种测漏装置，该测漏装置包括：

绝缘层外壳，绝缘层外壳由耐高温的绝缘材料制成，绝缘层外壳一端为封闭结构并且在靠近封闭端的侧壁上开设有槽口；

一对电极端子，一对电极端子位于绝缘层外壳内并且一对电极端子彼此不接触，每个电极端子的至少一部分区域从槽口外露；

导线，导线将每个电极端子连接到接线插头。

根据本实用新型的一个实施例，绝缘层外壳由聚四氟乙烯材料制成。

根据本实用新型的一个实施例，电极端子由钛、金或银制成。

根据本实用新型的一个实施例，绝缘层外壳为圆柱状，电极端子为棒状。

根据本实用新型的一个实施例，绝缘层外壳为分体式结构，分体式结构包括容纳电极端子的头部以及容纳导线的部分，两部分之间通过两节旋转接头可拆卸地连接。

根据本实用新型的一个实施例，与绝缘层外壳的封闭端相对的另一端通过耐高温胶密封。

根据本实用新型的一个实施例，插头为四线接插头，每个电极端子分别连接两根导线。

根据本实用新型的一个实施例，绝缘层外壳的直径为20mm，长度为300mm。

由于采用以上技术方案，本实用新型的测漏装置能够在高温环境下使用，并且能够有效检测到机台壳体内存在漏水情况，实现对机台冷却水漏水状况的实时监控。同时，本实用新型的测漏装置易于拆装、耐用、抗老化，满足实际使用需求。

附图说明

图1是根据一个实施例的本实用新型的测漏装置的示意图；

图2是根据一个实施例的与本实用新型的测漏装置配合使用的控制线路和控制装置的示意图。

100绝缘层外壳、110封闭端、120槽口、130开放端、200电极端子、300导线、400插头、C控制器、I输入线路、O输出线路、R检测电阻。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合具体实施例及附图，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的测漏装置的示意图。如图所示，该测漏装置包括圆柱状绝缘层外壳100、位于绝缘层外壳100内的一对棒状电极端子200和将电极端子连接到接线插头的导线300。

为了满足APCVD机台装置壳体底部高温环境的使用需求，该绝缘层外壳100由耐高温的绝缘材料制成。优选地，该材料能够在冷热交替的环境下使用，且具有良好的抗老化耐力，例如聚四氟乙烯材料。在不脱离本实用新型公开的构思的情况下，也可以想到其它合适的材料。

绝缘层外壳100一端为封闭结构(在本公开中也称为封闭端110)，并且在靠近封闭端110的侧壁上开设有槽口120。与封闭端110相对的一端为开放端130，开放端130通常利用耐高温胶密封。

一对电极端子200位于绝缘层外壳100内并且一对电极端子200彼此不接触以使其在槽口120中没有导电液体时保持为不通电状态。电极端子200中的每一个的至少一部分区域从槽口120裸露以保证在导电液体进入槽口120中时能够将一对电极端子200连通。由于机台外壳底部温度较高，因此，制作电极端子200的材料应具有高熔点，并且为了使电极端子200在介质中稳定存在，最好选用具有优异的抗腐蚀性能的材料，例如钛、金或银等。

导线300为耐高温导线，其连接电极端子200和插头400，插头400可接入侦测回路。

在本实用新型的一个优选实施例中，为了便于后期维护以及减少后续使用维护成本，绝缘层外壳100可以设置为分体式结构。如图1所示，分体式结构包括容纳电极端子200的头部以及容纳导线的部分，两部分之间通过两节旋转接头可拆卸地连接。根据本实用新型的教导，也可以使用其它连接方式。绝缘层外壳100的头部可以由直径变化的两部分构成，如图1所示，靠近封闭端110的部分直径较小。此处设计旨在配合injector内部结构，头部直径变小可以插到最底端，后面直径大一点可以结实耐用一点。

在本实用新型的一个优选实施例中，插头400为四线接插头，每个电极端子200分别连接两根导线300。

在本实用新型的一个优选实施例中，绝缘层外壳100的直径d为20mm，长度为300mm。

图2示出了与本实用新型的测漏装置配合使用的控制线路及控制器C，控制器C经由输出线路O将输出信号接入机台实现互锁。本实用新型的测漏装置在使用时将插头400与输入线路I上的接线端子(#1～4)连接，将测漏装置插入到机台外壳底部。当外壳内发生水泄露情况时，水会流入测漏装置的槽口120，进而将两个电极端子200导通，出现短路现象，控制器C监测到该短路信号之后，直接触发机台互锁，机台停止加载，有效避免产品被损坏。

此外，控制回路末端可以串有检测电阻R，当回路断路时控制器C进行报警，从而实现断路检测功能。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。