一种集成电路机械手测试结果记录方法与流程

本发明涉及集成电路半导体器件测试技术领域，尤其涉及一种集成电路机械手测试结果记录方法。

背景技术：

在集成电路半导体器件测试中，机械手通常用于成品测试。有别于晶圆测试，成品电路通常没有像晶圆那样有批号、片号、坐标等这种明显的标识以用于测试数据的溯源。类似晶圆测试中使用的map图，在成品测试中也需要一个文件来记录晶圆测试的map图。目前测试机械手测试完成后，只能将芯片按照不同的bin分到多个tray盘中，无法对芯片进行溯源跟踪，测试机测试完成，对应的数据无法对应到每个数据上。

技术实现要素：

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种集成电路机械手测试结果记录方法，其中，具体技术方案为：

定义左上角第一个坐标为(1,1)，依次，第一行第二个为(2,1)，第二行第一个为(1,2)，以此生成坐标系统；

每个文件的第一部分记录为该traymap的基本信息，记录信息及格式如下：

traymap文件版本：c

tray盘编号：s

tray盘批号：s

tray盘开始测试时间：unixtime

tray盘结束测试时间：unixtime

机械手编号：s

操作工编号：s

调用的配置文件信息：s

traymap最大行号(x方向)：c

traymap最大列号(y方向)：c

每个bin统计数量：shortshort

c表示一个byte，支持从0～255；

s由一位长度和最大255个c组成，其中第一位的长度也为一个c，表示后面共有多少个c；

unixtime时间戳是自1970年1月1日(00:00:00gmt)以来的秒数，它也被称为unix时间戳(unixtimestamp)，换算后使用4个byte的空间来存储；

binsummay：用两个short(2个byte来表示，最大支持65535)，第一个short表示bin号，第二个short表示数量；

如下：

0x010x010x410x010x420x5b0xf90x560xdd0x5b0xf90x570x1f

0x010x430x010x440x010x450x090x050x000x010x000x050x00

0x020x000x040x000x030x000x070x000x020x000x01

traymap文件版本：1

tray盘编号：a

tray盘批号：b

tray盘开始测试时间：2018/11/2421:49:17

tray盘结束测试时间：2018/11/2421:50:23

机械手编号：c

操作工编号：d

调用的配置文件信息：e

traymap最大行号(x方向)：9

traymap最大列号(y方向)：5

binsummay：bin1＝5,bin2＝4

文件的第二部分表示了每个坐标处测试结果；

行号(x)：c

列号(y)：c

测试开始时间：unixtime

测试结束时间：unixtime

bin：short

电路测试状态：c，其中00表示该位置没有电路，01表示已测试，02表示未测试；

如下：

0x010x010x5b0xf90x560xdd0x5b0xf90x560xff0x000x010x01

行号(x)：1

列号(y)：1

测试开始时间：2018/11/2421:49:17

测试结束时间：2018/11/2421:49:51

bin：1

电路测试状态：已测试；

0x010x020x5b0xf90x570x000x5b0xf90x570x0f0x000x020x01

行号(x)：1

列号(y)：2

测试开始时间：2018/11/2421:49:52

测试结束时间：2018/11/2421:50:07

bin：2

依次表示每个坐标上芯片的测试结果；

电路测试状态：已测试。

上述的集成电路机械手测试结果记录方法，其中：每个s最大支持255个字符，表示为0x030x610x620x63，第一个0x03表示字符长度为3，之后的0x610x620x63换算成ascii表示字符abc。

上述的集成电路机械手测试结果记录方法，其中：这种文件记录方法使用小的存储空间来表示traymap，同时，只需要读取头信息就可获得summary信息，方便分析测试结果。

traymap文件包含两部分记录，第一部分包含整个tray盘整体信息，包含traymap文件版本、该tray盘的编号、该tray盘对应的产品的批号，该tray盘的开始测试时间、结束测试时间，机械手编号、操作工编号、调用的配置文件信息、traymap的坐标范围、summary信息；第二部分包含每个测试芯片的信息，包含芯片在tray盘上的坐标、测试开始时间、测试结束时间、bin、电路测试状态。

本发明相对于现有技术具有如下有益效果：本发明涉及到traymap记录方法，包含每个tray盘中所有芯片的测试时间、测试bin、总测试时间等。根据这个记录文件可以方便的分析测试结果，并且根据这个traymap文件可以溯源测试机生成该芯片的详细datalog。

附图说明

图1为定义的xy坐标方向示意图。

具体实施方式

晶圆测试：使用测试设备测试在晶圆上的待测芯片。

成品测试：使用测试设备测试封装完成的成品电路。

tray盘：用于存放成品电路的容器。

datalog：测试的详细数据，包含被测器件的在晶圆上的坐标、测试项名称，测试值、测试条件、判断条件等。

本方法适用于集成电路半导体器件测试。

如附图1所示，定义左上角第一个坐标为(1,1)，依次，第一行第二个为(2,1)，第二行第一个为(1,2)，以此生成坐标系统；每个文件的第一部分记录为该traymap的基本信息，记录信息及格式如下：

traymap文件版本：c

tray盘编号：s

tray盘批号：s

tray盘开始测试时间：unixtime

tray盘结束测试时间：unixtime

机械手编号：s

操作工编号：s

调用的配置文件信息：s

traymap最大行号(x方向)：c

traymap最大列号(y方向)：c

每个bin统计数量：shortshort

c表示一个byte，支持从0～255；

s由一位长度和最大255个c组成，其中第一位的长度也为一个c，表示后面共有多少个c，也就是说，每个s最大支持255个字符，如0x030x610x620x63，第一个0x03表示字符长度为3，之后的0x610x620x63换算成ascii表示字符abc。

unixtime时间戳是自1970年1月1日(00:00:00gmt)以来的秒数，它也被称为unix时间戳(unixtimestamp)，换算后使用4个byte的空间来存储。

binsummay：用两个short(2个byte来表示，最大支持65535)，第一个short表示bin号，第二个short表示数量；

如下：

0x010x010x410x010x420x5b0xf90x560xdd0x5b0xf90x570x1f

0x010x430x010x440x010x450x090x050x000x010x000x050x00

0x020x000x040x000x030x000x070x000x020x000x01

traymap文件版本：1

tray盘编号：a

tray盘批号：b

tray盘开始测试时间：2018/11/2421:49:17

tray盘结束测试时间：2018/11/2421:50:23

机械手编号：c

操作工编号：d

调用的配置文件信息：e

traymap最大行号(x方向)：9

traymap最大列号(y方向)：5

binsummay：bin1＝5,bin2＝4

文件的第二部分表示了每个坐标处测试结果。

行号(x)：c

列号(y)：c

测试开始时间：unixtime

测试结束时间：unixtime

bin：short

电路测试状态：c，其中00表示该位置没有电路，01表示已测试，02表示未测试

如下：

0x010x010x5b0xf90x560xdd0x5b0xf90x560xff0x000x010x01

行号(x)：1

列号(y)：1

测试开始时间：2018/11/2421:49:17

测试结束时间：2018/11/2421:49:51

bin：1

电路测试状态：已测试

0x010x020x5b0xf90x570x000x5b0xf90x570x0f0x000x020x01

行号(x)：1

列号(y)：2

测试开始时间：2018/11/2421:49:52

测试结束时间：2018/11/2421:50:07

bin：2

依次表示每个坐标上芯片的测试结果；

电路测试状态：已测试；

这种文件记录方法可以使用更小的存储空间来表示traymap，同时，只需要读取头信息就可以获得summary信息，更方便的分析测试结果。

虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本发明的保护范围当以权利要求书所界定的为准。